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题名大气红外波段的片上集成式偏振光谱成像器件
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作者
周健宇
李全民
王劲
黄胜弟
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机构
南京波长光电科技股份有限公司
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024年第4期42-50,共9页
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文摘
红外探测与遥感是气象观测的核心技术,红外辐射探测仪作为气象卫星的重要载荷,主要用于大气温度、湿度的定量化探测,其探测精度取决于光谱和偏振测量的通道数。常见的技术方案是通过组合滤光片与偏振片转轮实现光谱和偏振的探测,这造成了系统体积大、功耗高、通道数少的问题。发展片上集成式偏振光谱成像器件是解决上述问题的有效方法,已有研究主要采用薄膜谐振腔或共振微结构的阵列化方案,但二者都无法兼顾光谱和偏振选择的要求。有鉴于此,提出了一种基于薄膜微结构耦合调控的设计新思路,以13μm附近的大气红外波段为例,实现了片上集成式的偏振光谱成像,6个通道的平均透过率和消光比分别达到了94%和30。该器件有望在将来被广泛应用于偏振光谱成像领域中,同时,由于该器件对基底折射率并不敏感,基底的选择也会更加自由。
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关键词
大气红外
片上集成
薄膜微结构
偏振光谱成像
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Keywords
atmospheric infrared
on-chip integrated
thin film microstructure
polarization spectral imaging
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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