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题名DXS-3型扫描电镜的电子光学系统设计
被引量：1
- 1
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作者
王其美
沈一骑
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机构
南京江南光学仪器厂
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1990年第3期257-257,共1页
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文摘
一、概述扫描电子显微镜是一种大型精密电子光学仪器,具有分辨本领高,图像立体感强,能对各种信息进行综合分析等优点,在冶金、地质、矿物、半导体、医学、生物等领域得到了广泛的应用。 DXS-3型扫描电镜分辨本领为60A,需要有优良电子光学系统。我们考虑电子光学系统总缩小倍数为5000倍左右,并要求探针电流大于10<sup>-12</sup>A。我们采用锥形栅极的常规钨阴极电子枪和四极透镜系统。聚光镜系统由一个双间隙、单线包聚光镜和一个单间隙、单线包聚光镜组成。物镜采用常规针孔物镜。二、磁透镜的设计磁透镜是电子光学系统的关键部件。
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关键词
设计
扫描电镜
电子光学系统
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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题名DXS-3扫描电子显微镜
被引量：2
- 2
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作者
王其美
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机构
南京江南光学仪器厂
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1990年第3期256-256,共1页
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文摘
一、DXS-3扫描电镜是我国首次自行设计研制的电脑控制的高性能扫描电镜。该产品涉及精良的电子光学系统,高稳定度的高压和透镜电源,电脑控制,多功能扫描显示线路,高真空技术及自动控制系统,微米级精密机械,高灵敏度信号探测系统,低噪声宽频带信号放大和处理系统,字符显示,照相记录等技术。二、在研制DXS-3扫描电镜时首先考虑用户普遍关心和迫切需要解决的课题,即仪器技术先进性,性能稳定性和使用方便性。我们采用了计算机辅助设计的方法设计电子光学系统。采用了模块式电脑控制结构控制电气系统。在总体设计中做了适当安排,可派生出不同用户需要的系列产品。
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关键词
DXS-3型
扫描电镜
微机控制
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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题名电镜自动真空系统的微机控制
- 3
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作者
贾学俊
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机构
南京江南光学仪器厂
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1990年第3期272-272,共1页
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文摘
电镜真空系统的自动控制一般采用逻辑电路控制和微机控制。在目前国内所拥有的进口电镜中,都是采用逻辑控制。我们在研制DXS-3型高性能扫描电镜中对这两种控制方法进行了分析,我们认为:微机控制采用的是大规模集成电路,电路简单,成本较低,维修方便;由于采用的软件控制,故能够灵活地设置抽气状态,且通用性强。 DXS-3型扫描电镜的真空系统,具有上台和下台两种抽真空方式,同时还配备有上样品室和下样品室两种换样气锁室的予抽真空系统和枪室换灯丝予抽真空系统(见图1)。
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关键词
电镜
真空系统
微机控制
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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