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利用二波耦合实现微振动测量被引量：2: 1; 作者赵书安冯少彤 +2 位作者王小芳聂守平王鸣《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期49-50,共2页; 利用光的干涉原理,分析了应用光折变晶体记录干涉条纹在准实时、离面小振幅振动时的测量方法,并给出了计算机模拟结果。结果表明此方法简单且易实现,精度高。; 关键词全息微振动测量光干涉光折变晶体; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS薄膜弹性模量及残余应力提取的数值算法被引量：3: 2; 作者戎华陈涵王鸣《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期431-434,共4页; 材料弹性模量、残余应力的在线提取,已成为MEMS领域中日益迫切的需要。文中首先简要介绍现有的一些主要的材料参数提取方法,然后提出了一种无需静电作用下两端固支梁吸合电压的显式解析表达式,而是利用决定静电作用固支梁弯曲挠度的微... 展开更多; 关键词材料参数测量数值算法吸合电压; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法被引量：1: 3; 作者戎华黄庆安王鸣《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期311-314,共4页; 提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取MEMS薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及弹性模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速、精确计算.考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲,提高了吸合电压的计算精度.实... 展开更多; 关键词悬臂梁吸合电压平均应力梯度弹性模量; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS薄膜平均应力梯度及等效弹性模量在线提取方法被引量：1: 4; 作者戎华王鸣《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1527-1530,共4页; 薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及薄膜的弹性模量对器件性能有重要影响.提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及等效弹性模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速精确计算.考虑了悬... 展开更多; 关键词悬臂梁吸合电压平均应力梯度弹性模量; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名利用二波耦合实现微振动测量被引量：2: 1; 作者赵书安冯少彤王小芳聂守平王鸣; 机构南京师范大学光电技术江苏省重点实验室; 出处《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期49-50,共2页; 基金本课题的研究得到人事部留学回国人员基金江苏省教育厅自然科学基金(05KJBl40065)的资助; 文摘利用光的干涉原理,分析了应用光折变晶体记录干涉条纹在准实时、离面小振幅振动时的测量方法,并给出了计算机模拟结果。结果表明此方法简单且易实现,精度高。; 关键词全息微振动测量光干涉光折变晶体; Keywords holography small vibration measurement optical interference photorefractive crystal; 分类号 TP274.4 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS薄膜弹性模量及残余应力提取的数值算法被引量：3: 2; 作者戎华陈涵王鸣; 机构南京师范大学光电技术江苏省重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期431-434,共4页; 基金江苏省自然科学基金资助(BK2006223) 东南大学MEMS教育部重点实验室开放研究基金资助项目; 文摘材料弹性模量、残余应力的在线提取,已成为MEMS领域中日益迫切的需要。文中首先简要介绍现有的一些主要的材料参数提取方法,然后提出了一种无需静电作用下两端固支梁吸合电压的显式解析表达式,而是利用决定静电作用固支梁弯曲挠度的微分方程直接计算吸合电压,再提取材料参数的算法。避免了在推导吸合电压的显式表达式过程中可能引入的误差,有利于保证材料参数测量的精度。模拟结果表明这种算法速度快、精度高,对实际应用有较好的参考价值。; 关键词材料参数测量数值算法吸合电压; Keywords material property extracting numerical method pull-in voltage; 分类号 O484.2 [理学—固体物理] O484.5 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法被引量：1: 3; 作者戎华黄庆安王鸣; 机构南京师范大学光电技术江苏省重点实验室东南大学MEMS教育部重点实验室; 出处《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期311-314,共4页; 基金江苏省自然科学基金(No.BK2006223); 文摘提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取MEMS薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及弹性模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速、精确计算.考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲,提高了吸合电压的计算精度.实际模拟表明该测量方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中材料参数的在线测量.; 关键词悬臂梁吸合电压平均应力梯度弹性模量; Keywords cantilever pull-in voltage average stress gradient elastic modulus; 分类号 O484.2 [理学—固体物理] O484.5 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS薄膜平均应力梯度及等效弹性模量在线提取方法被引量：1: 4; 作者戎华王鸣; 机构南京师范大学光电技术江苏省重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1527-1530,共4页; 基金江苏省自然科学基金资助(BK2006223); 文摘薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及薄膜的弹性模量对器件性能有重要影响.提出了一种利用静电作用下悬臂梁的吸合电压提取薄膜沿厚度方向的平均应力梯度及等效弹性模量的方法,该方法的关键在于实现悬臂梁吸合电压的快速精确计算.考虑了悬臂梁由应力梯度引起的沿宽度方向的弯曲及实现其固定端接近理想固支的方法,提高了吸合电压的计算精度.实际模拟表明该测量方法计算速度快、精度高,能够应用于实际工艺过程中材料参数的在线测量.; 关键词悬臂梁吸合电压平均应力梯度弹性模量; Keywords cantilever pull-in voltage average stress gradient elastic modulus; 分类号 O484.2 [理学—固体物理] O484.5 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	利用二波耦合实现微振动测量	赵书安冯少彤王小芳聂守平王鸣	《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心	2006	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	MEMS薄膜弹性模量及残余应力提取的数值算法	戎华陈涵王鸣	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	MEMS薄膜平均应力梯度及弹性模量在线提取方法	戎华黄庆安王鸣	《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	MEMS薄膜平均应力梯度及等效弹性模量在线提取方法	戎华王鸣	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2006	1	在线阅读下载PDF 职称材料