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气体检测中基于MEMS技术的近红外光谱仪设计
被引量：
4
1
作者
苏雷龙
蒋书波
+3 位作者
程明霄
何野
徐波
李晟
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第10期120-122,共3页
根据传统近红外光谱仪的不足,利用MEMS微镜设计了近红外光谱仪的光路,并给出了仪器的设计框架,设计了仪器的上位机程序;利用单色仪和29.4%的甲烷气体样品和对样机进行测试,实验结果表明:在10～35℃内,仪器波长稳定性小于2 nm,并能够观...
根据传统近红外光谱仪的不足,利用MEMS微镜设计了近红外光谱仪的光路,并给出了仪器的设计框架,设计了仪器的上位机程序;利用单色仪和29.4%的甲烷气体样品和对样机进行测试,实验结果表明:在10～35℃内,仪器波长稳定性小于2 nm,并能够观测到甲烷在1650 nm附近吸光度约为0.01的吸收峰。MEMS技术应用在近红外光谱仪中,对于气体检测是可行的,并且能够使仪器做到便携式。
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关键词
MEMS微镜
气体分析
便携式
近红外光谱仪
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职称材料
题名
气体检测中基于MEMS技术的近红外光谱仪设计
被引量：
4
1
作者
苏雷龙
蒋书波
程明霄
何野
徐波
李晟
机构
南京工业大学自动化与电气工程学院精密仪器研究所
南京工业大学
高技术
研究
院
江苏英特神斯科技有限公司
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011年第10期120-122,共3页
文摘
根据传统近红外光谱仪的不足,利用MEMS微镜设计了近红外光谱仪的光路,并给出了仪器的设计框架,设计了仪器的上位机程序;利用单色仪和29.4%的甲烷气体样品和对样机进行测试,实验结果表明:在10～35℃内,仪器波长稳定性小于2 nm,并能够观测到甲烷在1650 nm附近吸光度约为0.01的吸收峰。MEMS技术应用在近红外光谱仪中,对于气体检测是可行的,并且能够使仪器做到便携式。
关键词
MEMS微镜
气体分析
便携式
近红外光谱仪
Keywords
MEMS micro-mirror
gas analysis
portable type
NIR spectrometer
分类号
TP212.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
气体检测中基于MEMS技术的近红外光谱仪设计
苏雷龙
蒋书波
程明霄
何野
徐波
李晟
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2011
4
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