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飞秒激光加工铌酸锂晶体:原理与应用 被引量:3
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作者 周超 马嘉男 +4 位作者 顼晓仪 徐钏 张勇 祝世宁 肖敏 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2020年第3期69-83,共15页
由于具有超短的脉冲宽度和极高的峰值强度,飞秒激光微加工是一种有效的材料加工方法,已广泛应用于光子集成器件的加工。铌酸锂晶体具有优异的电光、非线性光学和压电特性,是集成光学和导波光学中常见的材料。本文综述了飞秒激光对铌酸... 由于具有超短的脉冲宽度和极高的峰值强度,飞秒激光微加工是一种有效的材料加工方法,已广泛应用于光子集成器件的加工。铌酸锂晶体具有优异的电光、非线性光学和压电特性,是集成光学和导波光学中常见的材料。本文综述了飞秒激光对铌酸锂晶体的处理,重点介绍了飞秒激光加工的物理原理及其制备的铌酸锂基光子器件的最新进展。飞秒激光技术使铌酸锂晶体在微纳光子学领域具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 飞秒激光 铌酸锂 波导 非线性光子晶体 激光
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