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声学超构材料技术实用化的进展
被引量：
8
1
作者
刘乐
黄唯纯
+5 位作者
钟雨豪
赵涵
解龙翔
颜学俊
卢明辉
陈延峰
《中国材料进展》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第1期57-68,21,共13页
声学超构材料是当前声学和材料学一个热门的研究领域。声学超构材料可定义为:通过对材料在特征物理尺度上进行人工设计制备,使其具有超越常规材料的声学性能的一种人工序构的复合材料。其亚波长特性、超常声学性能以及颠覆性应用的可能...
声学超构材料是当前声学和材料学一个热门的研究领域。声学超构材料可定义为:通过对材料在特征物理尺度上进行人工设计制备,使其具有超越常规材料的声学性能的一种人工序构的复合材料。其亚波长特性、超常声学性能以及颠覆性应用的可能吸引了学界和工程界的关注。21世纪以来,随着增材制造技术的发展,声学超构材料的实验室加工与制备问题得以解决,然而,声学超构材料的工程应用仍然面临着批量制造困难、使用场景不明、生产成本高昂等方面的严峻挑战。介绍了各类常见的声学超构材料及其研究现状,讨论各类声学超构材料实用化面临的困难和挑战,简述声学超构材料研究和实验的最新方法,最后展望了未来声学超构材料实用化研究的方向。
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关键词
超构材料
声学材料
吸声超构材料
隔声超构材料
水声超构材料
声学黑洞
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职称材料
柔性复合模板压印技术制备图形化蓝宝石衬底
2
作者
宋宝生
林亮
+2 位作者
戴明
徐叶龙
卢明辉
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第9期581-585,共5页
图形化蓝宝石衬底(PSS)技术对提高发光二极管(LED)的内量子效率和光提取效率具有重要意义。研究了一种采用柔性复合模板压印制备图形化蓝宝石衬底的技术,其工艺流程主要包括三步图形转移。首先,在蓝宝石衬底上沉积二氧化硅,并在二氧化...
图形化蓝宝石衬底(PSS)技术对提高发光二极管(LED)的内量子效率和光提取效率具有重要意义。研究了一种采用柔性复合模板压印制备图形化蓝宝石衬底的技术,其工艺流程主要包括三步图形转移。首先,在蓝宝石衬底上沉积二氧化硅,并在二氧化硅膜层上旋涂压印胶,利用紫外光固化压印技术实现模板结构向压印胶层转移。再通过电感耦合等离子体刻蚀的方法将压印胶层的结构转移到二氧化硅膜层,并以二氧化硅为掩模湿法腐蚀蓝宝石衬底形成图形结构。最后,去除二氧化硅后即可获得图形化蓝宝石衬底。实验证明,在柔性复合模板纳米压印技术制备的图形化蓝宝石衬底上生长的LED,其光致发光谱的强度比无图形结构衬底上生长的LED明显增强。
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关键词
图形化蓝宝石衬底
柔性复合模板
紫外光固化纳米压印
电感耦合等离子体刻蚀
湿
法腐蚀
光致发光谱
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职称材料
题名
声学超构材料技术实用化的进展
被引量：
8
1
作者
刘乐
黄唯纯
钟雨豪
赵涵
解龙翔
颜学俊
卢明辉
陈延峰
机构
南京大学材料科学与工程系固体微结构物理国家重点实验室
现代
工程
与应用
科学
学院
南京大学
人工
微结构
科学与
技术协同创新中心
出处
《中国材料进展》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第1期57-68,21,共13页
基金
国家自然科学基金资助项目(21674003,91427304)
科技部“973”计划项目(2014CB643504)。
文摘
声学超构材料是当前声学和材料学一个热门的研究领域。声学超构材料可定义为:通过对材料在特征物理尺度上进行人工设计制备,使其具有超越常规材料的声学性能的一种人工序构的复合材料。其亚波长特性、超常声学性能以及颠覆性应用的可能吸引了学界和工程界的关注。21世纪以来,随着增材制造技术的发展,声学超构材料的实验室加工与制备问题得以解决,然而,声学超构材料的工程应用仍然面临着批量制造困难、使用场景不明、生产成本高昂等方面的严峻挑战。介绍了各类常见的声学超构材料及其研究现状,讨论各类声学超构材料实用化面临的困难和挑战,简述声学超构材料研究和实验的最新方法,最后展望了未来声学超构材料实用化研究的方向。
关键词
超构材料
声学材料
吸声超构材料
隔声超构材料
水声超构材料
声学黑洞
Keywords
metamaterials
acoustic materials
sound absorption metamaterials
sound insulation metamaterials
under-water acoustic metamaterials
acoustic black hole
分类号
TB34 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
柔性复合模板压印技术制备图形化蓝宝石衬底
2
作者
宋宝生
林亮
戴明
徐叶龙
卢明辉
机构
南京大学材料科学与工程系固体微结构物理国家重点实验室
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第9期581-585,共5页
基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2012CB921503)
文摘
图形化蓝宝石衬底(PSS)技术对提高发光二极管(LED)的内量子效率和光提取效率具有重要意义。研究了一种采用柔性复合模板压印制备图形化蓝宝石衬底的技术,其工艺流程主要包括三步图形转移。首先,在蓝宝石衬底上沉积二氧化硅,并在二氧化硅膜层上旋涂压印胶,利用紫外光固化压印技术实现模板结构向压印胶层转移。再通过电感耦合等离子体刻蚀的方法将压印胶层的结构转移到二氧化硅膜层,并以二氧化硅为掩模湿法腐蚀蓝宝石衬底形成图形结构。最后,去除二氧化硅后即可获得图形化蓝宝石衬底。实验证明,在柔性复合模板纳米压印技术制备的图形化蓝宝石衬底上生长的LED,其光致发光谱的强度比无图形结构衬底上生长的LED明显增强。
关键词
图形化蓝宝石衬底
柔性复合模板
紫外光固化纳米压印
电感耦合等离子体刻蚀
湿
法腐蚀
光致发光谱
Keywords
patterned sapphire substrate
flexible hybrid mold
LIV curable nanoimprint lithogra-phy
inductively coupled plasma etching
wet etching
photoluminescence spectrum
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
声学超构材料技术实用化的进展
刘乐
黄唯纯
钟雨豪
赵涵
解龙翔
颜学俊
卢明辉
陈延峰
《中国材料进展》
CAS
CSCD
北大核心
2021
8
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职称材料
2
柔性复合模板压印技术制备图形化蓝宝石衬底
宋宝生
林亮
戴明
徐叶龙
卢明辉
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013
0
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职称材料
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