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题名基于像散的光学元件厚度非接触测量研究
被引量：6
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作者
李潇潇
张志恒
张效宇
曹杰君
曹兆楼
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机构
南京信息工程大学大气海洋光学探测重点实验室
南京信息工程大学物理与光电工程学院光电工程系
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第6期741-746,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61605081)
江苏省自然科学基金资助项目(BK20150929)
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文摘
为了解决光学工厂低成本高精度检测光学元件厚度的实际问题,采用像散法厚度测量技术搭建了测量系统,并进行了理论分析和实验验证.该系统通过柱面镜引入像散形成长宽比与厚度相关的椭圆光斑,基于实时图像处理获得元件厚度,具有较高的测量效率,最后使用商用玻璃平片及平凹透镜进行了测量实验.结果表明,该系统测量不确定度在置信概率95%时小于2μm,中心厚测量范围为25mm,能够满足目前一般加工公差要求;该装置操作简单、精度高、成本低,可用于测量透明及不透明材料,适用范围较广.该装置为企业提供了一种低成本、非接触、高精度的厚度测量方案,适合中小型光学加工企业使用,具有广阔的应用前景.
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关键词
测量与计量
非接触测量
像散
厚度测量
图像处理
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Keywords
measurement and metrology
non-contact measurement
astigmatism
thickness measurement
image processing
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分类号
TH741
[机械工程—光学工程]
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