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题名新型无碳前体在高k氧化物薄膜化学气相沉积上的应用
被引量：2
- 1
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作者
邵起越
袁涛
李爱东
董岩
方峰
蒋建清
刘治国
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机构
东南大学材料科学与工程学院
华飞彩色显示系统有限公司
南京大学材料科学与工程系
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期574-577,共4页
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基金
国家自然科学基金项目资助项目(90101030,60276020)
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文摘
通过一种简便可行的合成工艺,成功合成了3种具有良好挥发性的无碳前体:无水硝酸钛、硝酸锆和硝酸铪。以这些无水金属硝酸盐为前体,采用化学气相沉积(CVD)工艺成功淀积了具有良好介电性能的3种高介电常数(high-k)氧化物薄膜:TiO2、ZrO2和HfO2薄膜。这类不含碳的金属前体能直接在Si衬底上气相沉积,无需引入氧化气体,且沉积温度较低,可避免低介电常数界面层生成,在化学气相沉积栅介质薄膜方面独具优势。
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关键词
无水硝酸盐
化学气相沉积(CVD)
高介电常数(high—k)栅介质
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Keywords
anhydrous nitrate
chemical vapor deposition （CVD）
high-k
gate dielectric
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分类号
TN304
[电子电信—物理电子学]
O484.1
[理学—固体物理]
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题名对称格式的认知解释
被引量：14
- 2
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作者
殷志平
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机构
华飞彩色显示系统有限公司
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出处
《语言科学》
2004年第3期89-95,共7页
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文摘
本文试图从认知角度对对称格式作出解释。对称格式与非对称格式对比,在语义和句法上表现出许多特殊性,这是因为,从完型心理学上讲,对称格式是一种完型结构,是一个整体;对称格式整体意义具有数量特征并含有夸张色彩,其认知基础是对不确定的主观量的临摹。
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关键词
对称格式
语义
句法
汉语语法
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Keywords
symmetry constructions
quantity of iconicity
Gestalt structure
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分类号
H146.3
[语言文字—汉语]
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题名不能成句的主谓短语
被引量：13
- 3
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作者
殷志平
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机构
华飞彩色显示系统有限公司
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出处
《汉语学习》
北大核心
2002年第6期19-24,共6页
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文摘
考察语言事实发现 ,有些主谓短语 ,带上语调和完句成分后并不能实现为独立的句子。文章讨论了六类不能成句的主谓短语 ,考察了主语部分和谓语部分的特点 ,并分析了不能成句的主谓短语在句法、语义和语用等方面的原因 ,据此列出了主谓短语自足成句的层级体系。
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关键词
主谓短语
成句
自足度
表述性
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Keywords
subject predicate phrase
sentence accomplishment
degree of self sufficiency
indicative
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分类号
H146.3
[语言文字—汉语]
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题名电力参数计量表IQ200的电源电路与维修
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作者
王均
张靖
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机构
华飞彩色显示系统有限公司
东南大学
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出处
《现代电子技术》
2007年第22期180-182,共3页
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文摘
介绍了美国Culter-Hammer公司的IQ200电力参数计量表的功能特点。为便于分析,对易发生故障的电源部分据实物电路板测绘出了电路原理图。对在实际运行中的电源板无输出的故障给出了分析,结论是PWM(脉冲宽度调制)控制器UC3845的电源端的电解电容器容量衰减及电容耗散因数变大是导致UC3845欠压锁定的原因。
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关键词
IQ200
开关电源
UC3845
PWM
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Keywords
IQ200
switching power supply
UC3845
PWM
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分类号
TM930.7
[电气工程—电力电子与电力传动]
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