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氯离子敏感场效应晶体管电极的研制
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作者 廖永忠 郑忠 李翠荣 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1993年第1期78-82,共5页
本文采用两个场效应管并联的芯片,在其中一个的栅区以聚酰亚胺膜作为参比膜,另一个的栅区以氯化银膜作为氯离子敏感膜,制成氯离子敏感场效应晶体管(Cl^--ISFET)。采用差分测试法对氯离子进行测试,其线性响应范围是1.0~1.0×10^(-5)... 本文采用两个场效应管并联的芯片,在其中一个的栅区以聚酰亚胺膜作为参比膜,另一个的栅区以氯化银膜作为氯离子敏感膜,制成氯离子敏感场效应晶体管(Cl^--ISFET)。采用差分测试法对氯离子进行测试,其线性响应范围是1.0~1.0×10^(-5)mol·L^(-1),响应时间小于5秒,24小时漂移小于1mv/hr,连续使用寿命75天。 展开更多
关键词 氯离子 场效应晶体管 电极
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