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LP-MOCVD生长InGaAlP外延层In组分控制的动力学分析 被引量:1
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作者 文尚胜 范广涵 +1 位作者 廖常俊 刘颂豪 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期175-178,共4页
本文分析了低压转盘MOCVD生长室中气流的流动特征,首次提出了在高温(700℃左右)下生长InGaAlP外延层时,抑制In组分脱吸附的“动压力模型”.解释了托盘转速和生长压力等生长参数对In组分控制的影响.
关键词 低压有机金属化学气相外延 INGAALP 铟组分 控制 外延层生长 动力学分析
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LP-MOCVD生长InGaAlP外延层中In并入效率的研究
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作者 文尚胜 范广涵 +1 位作者 廖常俊 刘颂豪 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期45-48,共4页
分析了In原子在InGaAlP外延生长表面的扩散、并入及脱附过程 ,给出了In并入外延层的效率表达式 .依据该表达式 ,解释了生长速率、生长温度及生长压力等生长参数对LP_MOCVD生长InGaAlP外延层中In组分的影响 .
关键词 低压金属有机化合物气相外延 并入效率 In组分 LP-MOCVD INGAALP
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MOCVD AIGaInP LED外延片源气开关程序的研究
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作者 文尚胜 范广涵 +1 位作者 廖常俊 刘颂豪 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期51-54,共4页
详细分析了 MOCVD AIGaInP LED外延片中 V族源的空流保护作用、Ⅲ族源的存储效应以及 Mg掺杂的延迟和记忆效应。设计出了合理实用的源气开关程序,它有利于生长无定带隙夹层、突变异质结界面的AIGaInP LED... 详细分析了 MOCVD AIGaInP LED外延片中 V族源的空流保护作用、Ⅲ族源的存储效应以及 Mg掺杂的延迟和记忆效应。设计出了合理实用的源气开关程序,它有利于生长无定带隙夹层、突变异质结界面的AIGaInP LED外延片。 展开更多
关键词 有机金属化合物汽相淀积 开关程序 发光二极管 外延片 AIGalnPLED
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调制掺杂同型结对HB-LED工作电压的影响
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作者 文尚胜 范广涵 +1 位作者 廖常俊 刘颂豪 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期278-280,共3页
根据电化学 C-V测量 AlGaInP外延片获得的载流子浓度深度分布数据,以及其 LED外延片封装后的工作电压,计算了其中B+-N与P+-P两种同型结的接触电势差,指出调制掺杂同型结的掺杂浓度分布是影响LED工作电压的... 根据电化学 C-V测量 AlGaInP外延片获得的载流子浓度深度分布数据,以及其 LED外延片封装后的工作电压,计算了其中B+-N与P+-P两种同型结的接触电势差,指出调制掺杂同型结的掺杂浓度分布是影响LED工作电压的另一大因素,并提出了进一步降低 LED工作电压的有效措施. 展开更多
关键词 调制掺杂 同型结 接触电势差 高亮度发光二极管 工作电压
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用于UHB-LED的AlGaAs/AlAs DBR光学性质的研究 被引量:1
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作者 曹明德 范广涵 +1 位作者 廖常俊 刘鲁 《华南师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2002年第1期90-94,共5页
从光学传输矩阵出发 ,研究了用于超高亮度发光二极管的AlGaAs/AlAs布拉格反射器光学性质 ,并分析了材料吸收、组分漂移和层厚偏差对布拉格反射器光学性质的影响 .
关键词 UHB-LED AlGaAs/AlAs DBR 光学性质 光学传输矩阵 布拉格反射器 超高亮度发光二极管 反射率 折射率 缘砷衬底
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