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掺入SiO_2纳米颗粒对厚膜ZnO气敏传感器气敏性能的影响 被引量:11
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作者 孙迎伟 胡木林 周志刚 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期799-802,共4页
利用丝网印刷技术,制备出掺入SiO2和未掺入SiO2的ZnO厚膜气敏传感器,测试对甲醇和乙醇的气敏性能,并用场发射扫描电子显微镜(FESEM)来分析表征气敏膜的微观形貌。结果表明SiO2的掺入有效地抑制了ZnO晶粒的长大。在工作温度为400~450℃... 利用丝网印刷技术,制备出掺入SiO2和未掺入SiO2的ZnO厚膜气敏传感器,测试对甲醇和乙醇的气敏性能,并用场发射扫描电子显微镜(FESEM)来分析表征气敏膜的微观形貌。结果表明SiO2的掺入有效地抑制了ZnO晶粒的长大。在工作温度为400~450℃时,SiO2的掺入显著提高了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度,而在工作温度为200~350℃时,SiO2的掺入明显抑制了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度。另外,SiO2的掺入使气敏传感器的响应时间显著延长了。最后,讨论了厚膜气敏传感器的气敏机理。 展开更多
关键词 ZNO 掺SiO2的Zn 厚膜 气敏传感器
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金属氧化物半导体气敏传感器稳定性研究进展 被引量:10
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作者 周志刚 胡木林 李鄂胜 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期52-56,共5页
金属氧化物半导体(MOS)气敏传感器的稳定性是气敏器件实用化进程中最具有挑战性的因素。影响器件稳定性的主要因素包括颗粒尺寸、颈部宽度、微裂纹、电极、湿度和温度的变化。颗粒的长大和颗粒间颈部尺寸的变化降低了耗尽层对总电阻变... 金属氧化物半导体(MOS)气敏传感器的稳定性是气敏器件实用化进程中最具有挑战性的因素。影响器件稳定性的主要因素包括颗粒尺寸、颈部宽度、微裂纹、电极、湿度和温度的变化。颗粒的长大和颗粒间颈部尺寸的变化降低了耗尽层对总电阻变化的贡献;微裂纹的加剧使器件的电阻发生漂移,并且为水蒸气、氧气和待测气体扩散到敏感膜内部提供便捷的通道;电极的退化影响电极与气敏材料之间的接触电阻Rc;温度和湿度的改变使气体的吸附、脱附、反应活性和电子迁移率等都发生变化,因而器件的稳定性得不到保证。在机理分析的基础上,分别介绍了提高器件稳定性的方法。 展开更多
关键词 气敏传感器 金属氧化物半导体 稳定性
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纳米ZnO浆料的制备研究 被引量:2
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作者 周志刚 周春红 胡木林 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1102-1107,共6页
浆料的制备是采用丝网印刷工艺制备金属氧化物半导体气敏传感器过程中的关键。浆料由有机载体、功能相和玻璃相组成。有机载体包括溶剂和助剂,通过比较不同溶剂组分的配比和不同含量助剂的添加得出松油醇、丁基卡必醇醋酸酯和邻苯二甲... 浆料的制备是采用丝网印刷工艺制备金属氧化物半导体气敏传感器过程中的关键。浆料由有机载体、功能相和玻璃相组成。有机载体包括溶剂和助剂,通过比较不同溶剂组分的配比和不同含量助剂的添加得出松油醇、丁基卡必醇醋酸酯和邻苯二甲酸二丁酯按质量比为6∶3∶1组成的混合溶剂及添加物的质量分数分别为:乙基纤维素6%、司班85 4%和1,4-丁内酯1%,添加使有机载体获得良好的层次挥发性和流变性。采用优化的有机载体作为溶剂,分别以纳米ZnO和硼硅酸盐玻璃为功能相和玻璃相并按94∶6的比例混合,考察了纳米ZnO的尺寸、固液相比和印刷后的流平时间对气敏浆料印刷性能的影响,试验发现针对商业纳米ZnO(100 nm),固液比例为6.5∶3.5,印刷后流平30 min为宜。 展开更多
关键词 厚膜 浆料 丝网印刷 ZNO
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