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题名水松纸激光打孔技术研究
被引量：14
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作者
韩要轩
陈培锋
周卓尤
陈泽民
张向明
邓国华
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机构
华中科技大学激光工程研究院
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期330-333,共4页
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文摘
讨论了用连续CO2 激光器对水松纸打孔的原理和实现方案 ,就其中一种方案的打孔结果进行分析 ,指出激光打孔时影响打孔水松纸透气度的一些因素。
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关键词
打孔
水松纸
透气度
CO2激光器
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Keywords
perforating
tipping paper
permeability
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TN248.
[电子电信—物理电子学]
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题名单片机控制的激光标刻机
被引量：5
- 2
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作者
雷建设
黄肇明
郭振华
李又生
刘斌波
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机构
上海大学通信与信息工程学院
华中科技大学激光工程研究院
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期140-143,共4页
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文摘
给出了用于工业领域的单片机控制的激光标刻机的原理和实现方法 ,以及单片机控制系统的硬件与接口程序。
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关键词
激光标刻机
单片机
控制系统
计算机控制
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Keywords
laser marking single chip microcomputer control system
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名射频CO_2激光陶瓷基板划片机
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作者
侯廉平
陈陪峰
陈清明
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机构
华中科技大学激光工程研究院
武汉金石凯激光技术有限公司
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第6期54-56,共3页
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文摘
介绍了RFCO2 激光器及陶瓷基板划片的特点。分析了RFCO2 激光陶瓷基板划片的机理 ;给出了整机总体设计方案。对导光系统的激光束进行了模拟 ,给出了导光系统的光路图及聚焦镜焦平面处的光斑尺寸及能量分布图。
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关键词
射频
CO2激光
陶瓷基板
划片机
激光划片
二氧化碳
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Keywords
ceramic substrate,laser scribing,RF CO 2 laser
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分类号
TG665
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用
被引量：3
- 4
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作者
黄河
朱晓
朱长虹
朱广志
李跃松
张沛
万承华
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机构
华中科技大学激光工程研究院
清溢精密光电有限公司
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期330-332,共3页
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文摘
为了对光掩模版亮场缺陷进行修补,采用激光化学气相沉积的方法,利用功率密度为1.3×108W/cm2的355nm紫外激光诱导Cr(CO)6分解,在1.5 s内获得了光掩模亮场区域附着力强、消光比高的金属Cr膜。结果表明,在开放的环境下,采用高功率密度、短作用时间的方法能够得到高质量的沉积薄膜,满足了微电子行业中对掩模版修复的要求。
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关键词
激光技术
光化学
光掩模修复
激光化学气相沉积
开放式
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Keywords
laser technique
photochemistry
photomask repair
laser induced chemical vapor deposition （LCVD）
open air
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分类号
TQ034
[化学工程]
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