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基于纳米/微米VO2红外探测器光电响应对比研究
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作者 何少伟 黄鹰 +3 位作者 戴君 赖建军 王兴治 易新建 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第z1期186-188,共3页
新型纳米结构的二氧化钒(VO2)热敏薄膜具有平均粒度为8 nm和在半导体相区电阻温度系数(TCR)为-6%~7%/K.而通常用于非致冷红外探测器的VO2具有微米结构,粒度为1~2μm、TCR约为-2%/K.采用同样的器件设计,制备了基于纳米结构和微米结构的... 新型纳米结构的二氧化钒(VO2)热敏薄膜具有平均粒度为8 nm和在半导体相区电阻温度系数(TCR)为-6%~7%/K.而通常用于非致冷红外探测器的VO2具有微米结构,粒度为1~2μm、TCR约为-2%/K.采用同样的器件设计,制备了基于纳米结构和微米结构的VO2薄膜128元线列器件,并对两种器件的光电性能进行了对比研究.测试结果表明:基于纳米结构VO2的器件响应率较基于微米结构的VO2器件高近3倍,前者器件的探测性能较后者得到了明显的改善. 展开更多
关键词 纳米材料 红外探测 二氧化钒 薄膜 微测辐射热计
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