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题名CCD图像传感器的微透镜阵列设计与实验研究
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作者
柯才军
易新建
赖建军
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机构
华中科技大学光电工程系
华中科技大学图像处理与智能控制国家重点实验室
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第2期186-189,共4页
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基金
国家八六三高技术发展计划资助项目(4132 10 30 2 0 4 )
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文摘
为了最大程度地改善CCD图像传感器的填充因子 ,进行了用于与CCD集成的微透镜阵列的光学优化设计 ,并与实验结果进行了对比。测试结果表明 ,所设计的透镜阵列使CCD的填充因子提高 2 .9倍 ,相对光谱响应增加了 0 .2。所设计的透镜对于改善CCD入射信号光的光强分布、提高光利用效率 。
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关键词
CCD传感器
光学设计
微透镜阵列
填充因子
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Keywords
microlens array
fill factor
CCD image sensor
optical design
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分类号
TN202
[电子电信—物理电子学]
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题名提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究
被引量：11
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作者
柯才军
易新建
赖建军
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机构
华中科技大学光电系
华中科技大学图像处理与智能控制国家重点实验室
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2004年第2期209-212,共4页
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基金
国家863高技术发展计划资助项目(41321030204)
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文摘
为了提高可见光CCD图像传感器的探测灵敏度,提出了516×516元石英微透镜阵列的设计方法,并简要介绍了其制作工艺。测量结果表明,所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓、较好的几何尺寸均匀性和光学性能,大幅度地提高了CCD图像传感器的填充因子。
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关键词
微透镜阵列
填充因子
CCD
反应离子刻蚀
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Keywords
Charge coupled devices
Data reduction
Fused silica
Image processing
Reactive ion etching
Sensors
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分类号
TN2
[电子电信—物理电子学]
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题名高有效孔径比面阵石英微透镜阵列研究
被引量：2
- 3
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作者
柯才军
易新建
赖建军
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机构
华中科技大学光电系
华中科技大学图像处理与智能控制国家重点实验室
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期52-55,共4页
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基金
国家863高技术发展计划资助项目(41321030204)
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文摘
为了提高可见光CCD图像传感器的填充因子从而提高CCD的信噪比,在石英基片上制作了516×516元的微透镜阵列。本文对石英微透镜阵列的制作工艺过程进行了详细讨论。最后的测量结果表明所制作的微透镜阵列有优良的表面轮廓和较好的几何尺寸均匀性。其实测有效孔径比可达到92.8%,极大提高了微透镜阵列的聚光效率。
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关键词
有效孔径比
CCD
图像传感器
石英微透镜阵列
反应离子刻蚀
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Keywords
effective aperture ratio
fused silica microlens
CCD sensor
RIE
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分类号
TN256
[电子电信—物理电子学]
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