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塑料基体低温沉积ITO薄膜的研究
被引量：
5
1
作者
李世涛
乔学亮
陈建国
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004年第11期3-5,共3页
综述了塑料基体低温沉积ITO薄膜国内外的最新研究现状,并指出了现在存在的问题,认为实现低温沉积、保证薄膜的光电性能和改善薄膜表面质量是3个关键技术。同时结合自己的研究工作,提出了相应的解决方法和建议。
关键词
塑料
基体
沉积
ITO薄膜
研究
国内外
光电性能
表面质量
改善
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职称材料
题名
塑料基体低温沉积ITO薄膜的研究
被引量：
5
1
作者
李世涛
乔学亮
陈建国
机构
华中科技大学国家模具技术重点实验室表面实验室
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004年第11期3-5,共3页
基金
国防预研基金(51410020401JW0504)
文摘
综述了塑料基体低温沉积ITO薄膜国内外的最新研究现状,并指出了现在存在的问题,认为实现低温沉积、保证薄膜的光电性能和改善薄膜表面质量是3个关键技术。同时结合自己的研究工作,提出了相应的解决方法和建议。
关键词
塑料
基体
沉积
ITO薄膜
研究
国内外
光电性能
表面质量
改善
Keywords
ITO films
plastic substrate
low temperature
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
塑料基体低温沉积ITO薄膜的研究
李世涛
乔学亮
陈建国
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2004
5
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