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基于频闪法的MEMS动静态测试系统 被引量:3
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作者 王青玲 向东 +2 位作者 何开华 吴娟 万淼 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期27-31,36,共6页
为了对MEMS器件的3D形貌、垂向位移与形变、共振频率等特性进行精确的非接触式的测量,研制了一种基于激光频闪法的MEMS动静态测试系统。该系统以改进了的泰曼干涉仪为核心,采用激光照明,结合五步相移算法,获得MEMS器件静态表面的3D形貌... 为了对MEMS器件的3D形貌、垂向位移与形变、共振频率等特性进行精确的非接触式的测量,研制了一种基于激光频闪法的MEMS动静态测试系统。该系统以改进了的泰曼干涉仪为核心,采用激光照明,结合五步相移算法,获得MEMS器件静态表面的3D形貌图。使激光频闪的频率与MEMS器件驱动信号源频率一致可以获得相对“冻结”不变的3D形貌。改变频闪激光相对于MEMS器件驱动信号源的相对相位延时,可以获得周期内的MEMS器件离面运动轨迹等参数。本文设计并实现了与该系统配套的数据处理软件。该系统对于离面运动的测量精度可达1nm,最高测试频率可达500kHz。通过对可变形反射镜的测试验证了该系统的可靠性与通用性。 展开更多
关键词 微机电系统 特性测试 频闪成像 相对延时
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长脉冲高能激光能量测试技术的研究 被引量:22
2
作者 黎高平 王雷 +4 位作者 杨照金 于帅 赵宝珍 胡容 孔小健 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期1111-1114,共4页
用锥形腔量热式激光能量计 ,测量了在不同脉冲宽度条件下 ,脉冲激光能量和激光吸收腔温升之间的关系 ,并用传统的方法得到不同激光能量对应的温升 ,并按照有关公式计算得到激光能量 ,结果表明实际激光能量和按传统方法计算得到的激光能... 用锥形腔量热式激光能量计 ,测量了在不同脉冲宽度条件下 ,脉冲激光能量和激光吸收腔温升之间的关系 ,并用传统的方法得到不同激光能量对应的温升 ,并按照有关公式计算得到激光能量 ,结果表明实际激光能量和按传统方法计算得到的激光能量之间存在较大的差距 ;我们从理论上分析了由于热辐射、热传导影响 ,得出锥形吸收腔时间温度曲线关系的数学模型 ;用该数学模型对测量得到温度时间曲线进行最小二乘法拟合 ,拟合曲线和实际曲线非常吻合 ;通过该曲线我们对测量结果进行修正 ,和传统数据处理方法比较 。 展开更多
关键词 长脉冲高能激光 量热式激光能量计 热辐射 热传导 锥形吸收腔
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基于VO_2薄膜非致冷红外探测器性能研究 被引量:15
3
作者 陈长虹 易新建 +1 位作者 张静 熊笔峰 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期136-138,共3页
用微电子工艺制备了 V O2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96 K的环境温度中测试了该探测器对 8- 12 μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压 ,结果显示该探测器在调制频率为 30 Hz时可以实现探测率 D*=1.89× 10 8cm H z1 /2W- 1 ,热时间常... 用微电子工艺制备了 V O2 溅射薄膜红外探测器 ,在 2 96 K的环境温度中测试了该探测器对 8- 12 μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压 ,结果显示该探测器在调制频率为 30 Hz时可以实现探测率 D*=1.89× 10 8cm H z1 /2W- 1 ,热时间常数 τ=0 .0 展开更多
关键词 测辐射热探测器 探测率 黑体响应率 噪声电压 VO2薄膜非致冷红外探测器 微电子工艺
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相变型VO_2薄膜的制备及其特性的研究 被引量:7
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作者 周少波 王双保 +1 位作者 陈四海 易新建 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期27-30,共4页
利用反应离子束溅射和后退火工艺制备一种新的相变型VO2薄膜,对该薄膜进行电学测试、XRD和光学透过率的测试。这种工艺制备出的相变型VO2薄膜相变温度更接近室温,XRD显示这种薄膜中有VO2、V2O5成分的存在。对这种薄膜的光学透过率测试表... 利用反应离子束溅射和后退火工艺制备一种新的相变型VO2薄膜,对该薄膜进行电学测试、XRD和光学透过率的测试。这种工艺制备出的相变型VO2薄膜相变温度更接近室温,XRD显示这种薄膜中有VO2、V2O5成分的存在。对这种薄膜的光学透过率测试表明,低温下薄膜的透过率是高温下薄膜透过率的近5倍。通过实验可以看出,氧气分压、退火温度、退火时间是影响制备新型相变型VO2薄膜的重要因素。 展开更多
关键词 VO2 薄膜 反应离子束溅射 相变特性 薄膜制备
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基于标量衍射理论下的球面折射微透镜对高斯光束的准直研究(英文) 被引量:2
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作者 陈长虹 易新建 +1 位作者 张静 赵兴荣 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期355-358,共4页
本文应用瑞利 -索末菲标量衍射理论分析了具有球面轮廓的折射微透镜对激光器输出高斯光束的准直特性 .数值结果显示 ,在最佳准直条件下 ,高斯光束经过球面折射微透镜准直后的传输是一个振荡过程 ;同时 ,如果不考虑微透镜的衍射效率 ,当... 本文应用瑞利 -索末菲标量衍射理论分析了具有球面轮廓的折射微透镜对激光器输出高斯光束的准直特性 .数值结果显示 ,在最佳准直条件下 ,高斯光束经过球面折射微透镜准直后的传输是一个振荡过程 ;同时 ,如果不考虑微透镜的衍射效率 ,当球面折射微透镜的F数越大 ,高斯光束经过准直变换后的远场发散角越小 . 展开更多
关键词 微光学 折射微透镜 高斯光束 准直 标量衍射理论 激光器
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一种保证EPON中DBA公平性的算法 被引量:2
6
作者 刘武 胡保民 +1 位作者 刘德明 卢曦 《光通信研究》 北大核心 2006年第5期38-40,共3页
动态带宽分配是以太网无源光网络(EPON)系统的一个重要研究领域,文章提出一种在EPON系统中保证动态带宽分配公平性的新型算法。该算法计算量适中,同时兼顾了动态带宽分配的效率和公平性。文中通过推导给出了最优算法,并在模拟流量下进... 动态带宽分配是以太网无源光网络(EPON)系统的一个重要研究领域,文章提出一种在EPON系统中保证动态带宽分配公平性的新型算法。该算法计算量适中,同时兼顾了动态带宽分配的效率和公平性。文中通过推导给出了最优算法,并在模拟流量下进行了仿真,通过与已有算法的对比,证明其有很好的性能。 展开更多
关键词 以太网无源光网络 动态带宽分配 服务质量 自相似性
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改进的PCVD工艺制造高掺硼材料的性能研究
7
作者 童维军 刘德明 +1 位作者 汪洪海 罗杰 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2006年第5期52-55,共4页
介绍了一种用于制造光纤的高掺硼石英材料的性能。简单回顾基本的工艺条件和关键工艺参数之后,主要讨论材料性能,如玻璃结构、折射率、粘度、热膨胀系数和残余应力等。另外还介绍了两种高掺硼光棒的性能。
关键词 硼掺杂 应力棒 保偏光纤 PCVD 石英玻璃
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CCD图像传感器的微透镜阵列设计与实验研究
8
作者 柯才军 易新建 赖建军 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期186-189,共4页
为了最大程度地改善CCD图像传感器的填充因子 ,进行了用于与CCD集成的微透镜阵列的光学优化设计 ,并与实验结果进行了对比。测试结果表明 ,所设计的透镜阵列使CCD的填充因子提高 2 .9倍 ,相对光谱响应增加了 0 .2。所设计的透镜对于改善... 为了最大程度地改善CCD图像传感器的填充因子 ,进行了用于与CCD集成的微透镜阵列的光学优化设计 ,并与实验结果进行了对比。测试结果表明 ,所设计的透镜阵列使CCD的填充因子提高 2 .9倍 ,相对光谱响应增加了 0 .2。所设计的透镜对于改善CCD入射信号光的光强分布、提高光利用效率 。 展开更多
关键词 CCD传感器 光学设计 微透镜阵列 填充因子
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利用VFW实时视频实现精确调焦
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作者 谭佐军 陈海清 吴鹏 《华中农业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期367-369,共3页
基于智能化测量仪的研制 ,就如何利用VFW实时视频 ,人工调节计算机判别 ,方便的实现精确调焦进行了探讨和研究 ,为图像测量系统图像的采集和处理提供方法。
关键词 图像测量 调焦 VFW 实时视频
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