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热丝法沉积金刚石膜工艺参数优化的微观机理与预测
被引量：
1
1
作者
戚学贵
陈则韶
+3 位作者
徐宏
王学生
候峰
谭晓勇
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期159-163,共5页
弄清化学气相沉积金刚石膜的机理对优化工艺参数具有指导意义。在前期工作中,作者辨析了氢原子、甲基和乙炔在金刚石膜沉积中的作用。本文建立了两个微观指标,即甲基浓度和氢原子与乙炔浓度的比值,分别对应生长金刚石和刻蚀非金刚石碳...
弄清化学气相沉积金刚石膜的机理对优化工艺参数具有指导意义。在前期工作中,作者辨析了氢原子、甲基和乙炔在金刚石膜沉积中的作用。本文建立了两个微观指标,即甲基浓度和氢原子与乙炔浓度的比值,分别对应生长金刚石和刻蚀非金刚石碳。通过对CH和CHO反应气氛的模拟,讨论了这两个指标与灯丝温度、气源组成和气压的关系,并构建了含氧气氛生长金刚石的CHO三元相图。对热丝法沉积金刚石膜的工艺参数的优化选择进行了机理分析与预测,为工业化生产金刚石膜提供了参考。
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关键词
金刚石膜
热丝化学气相沉积
参数优化
相图
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职称材料
题名
热丝法沉积金刚石膜工艺参数优化的微观机理与预测
被引量：
1
1
作者
戚学贵
陈则韶
徐宏
王学生
候峰
谭晓勇
机构
华东理工大学机械工程学院化机所
中国科学技术
大学
工程
科学
学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期159-163,共5页
基金
国家自然科学基金(No.59976038).
文摘
弄清化学气相沉积金刚石膜的机理对优化工艺参数具有指导意义。在前期工作中,作者辨析了氢原子、甲基和乙炔在金刚石膜沉积中的作用。本文建立了两个微观指标,即甲基浓度和氢原子与乙炔浓度的比值,分别对应生长金刚石和刻蚀非金刚石碳。通过对CH和CHO反应气氛的模拟,讨论了这两个指标与灯丝温度、气源组成和气压的关系,并构建了含氧气氛生长金刚石的CHO三元相图。对热丝法沉积金刚石膜的工艺参数的优化选择进行了机理分析与预测,为工业化生产金刚石膜提供了参考。
关键词
金刚石膜
热丝化学气相沉积
参数优化
相图
Keywords
Diamond film,Hot-fiament chemical vapor deposition,Parameter optimization,Phase diagram
分类号
O484 [理学—固体物理]
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
热丝法沉积金刚石膜工艺参数优化的微观机理与预测
戚学贵
陈则韶
徐宏
王学生
候峰
谭晓勇
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
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