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题名金属有机化合物化学气相淀积含钛硬质涂层的性能研究
被引量：1
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作者
周定为
韩杰
袁渭康
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机构
华东化工学院联合反应工程研究所技术化学物理研究室
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出处
《华东化工学院学报》
CSCD
1990年第4期370-375,共6页
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文摘
在用文题淀积方法制备出氮化钛、碳氮化钛和碳氮氧化钛硬质涂层的基础上,用表面分析手段分别进行了成分、结构分析、形貌观察和硬度测定。结果表明:以二乙胺基钛为原料可分别在773K和973K淀积氮化钛和碳氮化钛涂层;用钛酸异丙酯和钛酸丁酯可分别在973K和1073K获得碳氮氧化钛涂层。所得的涂层表面光洁度高、与基体附着性好、硬度满足实用要求。相比于普通化学气相淀积方法,本法在制备硬质涂层上有两大优点:(1)淀积温度降低,扩大了基体的选用范围;(2)固溶体涂层的获得扩大了涂层的适用范围。
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关键词
氮化钛
化学气相淀积
硬质涂层
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Keywords
chemical vapour deposition
titanium nitride
coating
determination
titanium carbonitride
titanium oxycarbonitride
metallo-organic compound
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分类号
O614.411
[理学—无机化学]
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题名金属有机化合物化学气相淀积含钛硬质涂层的过程研究
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作者
周定为
韩杰
陈敏恒
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机构
华东化工学院联合反应工程研究所技术化学物理研究室
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出处
《华东化工学院学报》
CSCD
1990年第4期365-370,共6页
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文摘
在垂直冷壁CVD反应器中进行了文题的探索性研究。以二乙胺基钛(Ti(NEt_2)_4)为源,在不锈钢或硬质合金基体上完成了氮化钛(TiN)和碳氮化钛(Ti(C,N))硬质薄膜低温下的淀积。发现(TiN)和(Ti(C,N))分别在773K和973K下形成;在操作范围内整个反应器流场由自由对流控制;反应过程由表面过程控制;反应活化能为235 kJ/mol;二乙胺基钛反应级数为1级。进行了热力学计算,提出了反应历程假设。结果表明:用二乙胺基钛进行MOCVD淀积含钛硬质薄膜可以降低温度,以扩大基体的选用范围,为获得硬质薄膜提供了一条新的途径。
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关键词
氮化钛
硬质涂层
化学气相淀积
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Keywords
chemical vapour deposition
titanium nitride
metallo-organic chemical vapour deposition
hardcoatings
titanium carbonitride
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分类号
O614.411
[理学—无机化学]
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题名晶胞常数法测定Fe-Y分子筛骨架含铁量
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作者
周瑞明
贺鹤勇
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机构
华东化工学院联合反应工程研究所技术化学物理研究室
复旦大学化学系
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出处
《华东化工学院学报》
CSCD
1990年第4期397-401,共5页
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文摘
提出以X射线衍射法测量晶胞常数α_0与化学分析测定硅铝比相结合,定量测定Fe-Y分子筛骨架中铁含量Fe(s)。得到了经验公式:
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关键词
沸石分子筛
晶格
晶胞常数法
铁
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Keywords
iron
lattice
zeolite
determination
X-ray diffraction
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分类号
TQ424.25
[化学工程]
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