期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅰ.SnO_2薄膜的制备过程动力学
被引量：
3
1
作者
姚光辉
韩杰
袁渭康
《华东化工学院学报》
CSCD
1990年第3期245-249,共5页
利用化学气相淀积方法,在载玻片上淀积二氧化锡薄膜,研究了过程的动力学特征,考察了不同操作参数对淀积速率的影响。建立了淀积速率与反应气体分压的关系式,并初步提出了淀积过程的反应原理。
关键词
二氧化锡
薄膜
化学气相淀积
在线阅读
下载PDF
职称材料
SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅱ.SnO_2薄膜的结构和气敏性能
2
作者
姚光辉
周瑞明
+1 位作者
韩杰
陈敏恒
《华东化工学院学报》
CSCD
1990年第3期249-255,共7页
研究了用化学气相淀积方法制备的SnO_2薄膜的组成。晶体结构和气敏性能。发现薄膜为多晶结构,在薄膜生长过程中,(200)、(110)晶面择优生长;薄膜对H_2的气敏灵敏度随温度的升高而增加,并存在一合适的工作温度范围:100～250℃。
关键词
二氧化锡
化学气相淀积
薄膜
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅰ.SnO_2薄膜的制备过程动力学
被引量：
3
1
作者
姚光辉
韩杰
袁渭康
机构
华东化工学院联合化学反应工程研究所技术化学物理室
出处
《华东化工学院学报》
CSCD
1990年第3期245-249,共5页
基金
国家自然科学基金
编号 2870342
文摘
利用化学气相淀积方法,在载玻片上淀积二氧化锡薄膜,研究了过程的动力学特征,考察了不同操作参数对淀积速率的影响。建立了淀积速率与反应气体分压的关系式,并初步提出了淀积过程的反应原理。
关键词
二氧化锡
薄膜
化学气相淀积
Keywords
chemical vapor deposition
tin oxide
thin film
kinetics
分类号
O614.432 [理学—无机化学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅱ.SnO_2薄膜的结构和气敏性能
2
作者
姚光辉
周瑞明
韩杰
陈敏恒
机构
华东化工学院联合化学反应工程研究所技术化学物理室
出处
《华东化工学院学报》
CSCD
1990年第3期249-255,共7页
基金
自家自然科学基金
编号 2870342
文摘
研究了用化学气相淀积方法制备的SnO_2薄膜的组成。晶体结构和气敏性能。发现薄膜为多晶结构,在薄膜生长过程中,(200)、(110)晶面择优生长;薄膜对H_2的气敏灵敏度随温度的升高而增加,并存在一合适的工作温度范围:100～250℃。
关键词
二氧化锡
化学气相淀积
薄膜
Keywords
chemical vapor deposition
tin oxide
thin film
structure
gas sensitivity
分类号
O614.432 [理学—无机化学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅰ.SnO_2薄膜的制备过程动力学
姚光辉
韩杰
袁渭康
《华东化工学院学报》
CSCD
1990
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅱ.SnO_2薄膜的结构和气敏性能
姚光辉
周瑞明
韩杰
陈敏恒
《华东化工学院学报》
CSCD
1990
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
