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题名高选择性常温NH_3传感器
被引量：2
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作者
孔祥霞
孙良彦
平田光寿
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机构
北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司
千业工业大学电子工程系
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出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第8期78-80,共3页
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文摘
采用MEMS技术,如KOH腐蚀、光刻、溅射金属等技术,在硅片、玻璃等材料上制得平面式微传感器管芯,此结构具有微型化、低功耗、一致性好、适宜大批量生产的优点。敏感材料的采用不同于传统无机物,而是以苯胺为原料,合成高分子聚合物———聚苯胺,此敏感材料不需要加热源,其电阻在室温下与NH3浓度成一定函数关系,可以测得空气中较低含量的NH3。聚苯胺的另一个显著优点是高选择性,实验表明,高达1000×10-6(气体体积分数)的H2,CH4,CO,C4H10,C2H5OH的灵敏度远低于50×10-6(NH3气体体积分数)的灵敏度。
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关键词
聚苯胺
NH3传感器
气体传感器
氨气
敏感材料
选择性
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Keywords
poly-aniline
ammonia gas sensor
selectivity
normal temperature
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分类号
TP212.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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