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电子束曝光数据格式转换中的图形离散算法研究 被引量:1
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作者 魏淑华 韩立 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2010年第4期201-204,共4页
开展了圆环弧类图形离散算法的研究,提出了一种以图形的曲率半径作为离散精度依据的离散算法,既保证了高的离散精度又减小了数据量,提高了数据传输效率.该算法为曝光版图中不断出现的圆环弧类图形进行精确曝光提供了保障.通过图形实例... 开展了圆环弧类图形离散算法的研究,提出了一种以图形的曲率半径作为离散精度依据的离散算法,既保证了高的离散精度又减小了数据量,提高了数据传输效率.该算法为曝光版图中不断出现的圆环弧类图形进行精确曝光提供了保障.通过图形实例进行验证,表明此种离散方法合理,离散结果适于电子束曝光要求. 展开更多
关键词 电子束曝光 数据格式转换 图形离散
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MEMS领域中微结构机械参数在线测量方法的研究和进展 被引量:5
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作者 姜岩峰 黄庆安 《微纳电子技术》 CAS 2003年第4期34-39,共6页
对微机电系统(MEMS)领域中微结构机械参数的在线测量方法研究和发展状况进行了论述。首先介绍了在线测量微结构机械参数的目的和意义,随后列举了几种在线测量机械参数的方法,包括静态偏转法、静态伸缩法、动态法等;对悬臂梁法进行了重... 对微机电系统(MEMS)领域中微结构机械参数的在线测量方法研究和发展状况进行了论述。首先介绍了在线测量微结构机械参数的目的和意义,随后列举了几种在线测量机械参数的方法,包括静态偏转法、静态伸缩法、动态法等;对悬臂梁法进行了重点介绍,包括其研究发展的历史、现状、发展趋势、分析模型和新近取得的主要进展等。最后对在线测量微结构机械参数的方法进行了总结。 展开更多
关键词 MEMS 微机电系统 微结构机械参数 在线测量 悬臂梁
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新一代导电胶材料接触电阻稳定性研究 被引量:9
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作者 张晓波 姜岩峰 《电子与封装》 2006年第10期5-9,共5页
文中主要针对环保型集成电路封装中替代SMT焊料的新一代导电胶进行了介绍,重点研究了导电胶材料在封装应用中接触电阻稳定性方面的问题,对于填充金属的导电胶,分析了其老化过程中接触电阻稳定性的问题,提出了影响其接触电阻稳定性的物... 文中主要针对环保型集成电路封装中替代SMT焊料的新一代导电胶进行了介绍,重点研究了导电胶材料在封装应用中接触电阻稳定性方面的问题,对于填充金属的导电胶,分析了其老化过程中接触电阻稳定性的问题,提出了影响其接触电阻稳定性的物理机制,并通过实验方法加以分析和讨论。 展开更多
关键词 SMT封装 导电胶 接触电阻
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8位高速RISC微处理器的设计 被引量:1
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作者 姜岩峰 张晓波 《电子与封装》 2005年第5期26-29,共4页
本文按照自上而下的系统级设计思想,进行系统功能结构的划分。利用VerilogHDL进行寄存器传输级的描述,完成了与其他同类产品兼容的,具有取指、译码、执行和回写四级流水线,一条指令只用一个时钟周期(个别跳转指令例外)的RISC微处理器IP... 本文按照自上而下的系统级设计思想,进行系统功能结构的划分。利用VerilogHDL进行寄存器传输级的描述,完成了与其他同类产品兼容的,具有取指、译码、执行和回写四级流水线,一条指令只用一个时钟周期(个别跳转指令例外)的RISC微处理器IP软核的设计。并通过版图设计的考虑,探讨了提高所设计微处理器的时钟速度的方法。 展开更多
关键词 RISC 处理器 高速
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力学参数测量时由残余电荷导致的误差分析
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作者 姜岩峰 黄庆安 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期204-206,211,共4页
分析了用静电牵引法测量悬臂梁结构力学参数时 ,由于绝缘层中残余电荷的存在 ,对测试结果带来的影响 ;并提出了利用C V特性曲线确定残余电荷数量的方法 ,将求出的残余电荷数量从静电力的角度进行等效 ,从而求出考虑残余电荷后带来的阈... 分析了用静电牵引法测量悬臂梁结构力学参数时 ,由于绝缘层中残余电荷的存在 ,对测试结果带来的影响 ;并提出了利用C V特性曲线确定残余电荷数量的方法 ,将求出的残余电荷数量从静电力的角度进行等效 ,从而求出考虑残余电荷后带来的阈值电压测试误差。该分析方法既适于提高悬臂梁、桥等用来测量力学参数的精度 。 展开更多
关键词 力学参数测量 残余电荷 误差分析 悬臂梁 阈值电压 MEMS器件
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双层弯曲热执行器的有限元分析
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作者 姜岩峰 张晓波 《微纳电子技术》 CAS 2004年第3期29-31,43,共4页
研究了一种由多晶硅电阻、硅和金属层构成的双层弯曲热执行器。利用有限元方法计算了该执行器的纵向偏转和温度分布。为了提高精度,本文提出了一种三层结构的有限元模型,当用厚度为1μm的硅和0郾5μm厚的铝薄膜构成执行器时,在5V电压的... 研究了一种由多晶硅电阻、硅和金属层构成的双层弯曲热执行器。利用有限元方法计算了该执行器的纵向偏转和温度分布。为了提高精度,本文提出了一种三层结构的有限元模型,当用厚度为1μm的硅和0郾5μm厚的铝薄膜构成执行器时,在5V电压的驱动下可以获得最大位移为25郾62μm。由有限元分析还可以得到温度分布,最后和实验结果进行了比较,并讨论了误差产生的原因。 展开更多
关键词 双层弯曲热执行器 有限元分析 纵向偏转 温度分布 微电子机械系统
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数字PWM技术的实现及应用进展 被引量:6
7
作者 张怡 姜岩峰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第7期618-621,共4页
简要介绍了数字PWM技术的基本原理,重点介绍了数字PWM技术的调制方式和实现数字PWM技术的算法,并详细介绍了数字PWM技术在某些领域中的典型应用,讨论了数字PWM技术的发展现状及趋势,有利于数字PWM技术的进一步发展。表明了数字PWM技术... 简要介绍了数字PWM技术的基本原理,重点介绍了数字PWM技术的调制方式和实现数字PWM技术的算法,并详细介绍了数字PWM技术在某些领域中的典型应用,讨论了数字PWM技术的发展现状及趋势,有利于数字PWM技术的进一步发展。表明了数字PWM技术的正确性和实用性。总结得出,数字PWM是一种应用广泛、前景广阔的技术。 展开更多
关键词 数字PWM 应用 脉冲
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