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流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响
被引量：
7
1
作者
刘源
陈丽红
+3 位作者
张国军
赵鹏
申辉
张文栋
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期758-762,共5页
由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、灵敏度高等性能特点,但是由于流体的影响,水听器微结构在空气中的共振频率与液体中不同,为此研究了流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响。首先,理论上分析了流体对共振频率的影响。然后,采...
由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、灵敏度高等性能特点,但是由于流体的影响,水听器微结构在空气中的共振频率与液体中不同,为此研究了流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响。首先,理论上分析了流体对共振频率的影响。然后,采用ANSYS对空气中和液体中MEMS矢量水听器的共振频率进行仿真。最后分别采用振动台和矢量水听器校准系统进行了测试。结果表明MEMS矢量水听器在水中的共振频率较空气中下降了约31.2%。
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关键词
矢量水听器
共振频率
ANSYS
MEMS
流体
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题名
流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响
被引量：
7
1
作者
刘源
陈丽红
张国军
赵鹏
申辉
张文栋
机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学电子测试
技术
重点实验室
北方信息控制技术研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期758-762,共5页
基金
国家863计划项目(2013AA09A412)
国家自然科学基金项目(61127008/F040703)
文摘
由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、灵敏度高等性能特点,但是由于流体的影响,水听器微结构在空气中的共振频率与液体中不同,为此研究了流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响。首先,理论上分析了流体对共振频率的影响。然后,采用ANSYS对空气中和液体中MEMS矢量水听器的共振频率进行仿真。最后分别采用振动台和矢量水听器校准系统进行了测试。结果表明MEMS矢量水听器在水中的共振频率较空气中下降了约31.2%。
关键词
矢量水听器
共振频率
ANSYS
MEMS
流体
Keywords
vector hydrophone
resonance frequency
ANSYS
MEMS
liquid
分类号
TB565.1 [交通运输工程—水声工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
流体对MEMS矢量水听器共振频率的影响
刘源
陈丽红
张国军
赵鹏
申辉
张文栋
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2014
7
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