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高峰值电压长寿命超宽带时域信号源 被引量:1
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作者 王文军 吴建发 +3 位作者 石学文 廖茂杰 张雅茹 杨宏春 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第2期117-122,131,共7页
设计了一款基于雪崩晶体管和Marx电路的超宽带(UWB)时域信号源,其具有较高的峰值电压、较快的上升沿、较窄的半脉宽、较高的重频、较长的寿命等特点。通过8路功率合成的方法,在电路成本较低的前提下,改善了输出电压饱和的问题,提高了信... 设计了一款基于雪崩晶体管和Marx电路的超宽带(UWB)时域信号源,其具有较高的峰值电压、较快的上升沿、较窄的半脉宽、较高的重频、较长的寿命等特点。通过8路功率合成的方法,在电路成本较低的前提下,改善了输出电压饱和的问题,提高了信号源的输出电压。通过晶体管并联技术,在高峰值电压输出的情况下,提高了信号源的寿命。最终信号源实现了峰值电压10 kV,上升沿183 ps,半脉宽750 ps。在重频为20 kHz下,可以连续工作超过45 min。该信号源可用于对目标的探测、干扰、攻击和物质处理等领域。 展开更多
关键词 超宽带(UWB)时域信号源 高峰值 MARX电路 功率合成 并联技术
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6英寸硅基GaN HEMT外延材料的制备 被引量:1
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作者 白欣娇 袁凤坡 +3 位作者 王文军 房玉龙 李晓波 李浩 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期359-363,368,共6页
采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法,在6英寸(1英寸=2.54 cm)Si(111)衬底上,使用多层不同Al摩尔组分的AlGaN插入层技术,成功生长出厚度为2.9μm无裂纹(扣除边缘2 mm)的GaN外延层,解决了大尺寸外延片的翘曲度问题,并在此基... 采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法,在6英寸(1英寸=2.54 cm)Si(111)衬底上,使用多层不同Al摩尔组分的AlGaN插入层技术,成功生长出厚度为2.9μm无裂纹(扣除边缘2 mm)的GaN外延层,解决了大尺寸外延片的翘曲度问题,并在此基础上生长了全结构的高电子迁移率晶体管(HEMT)外延片。采用X射线双晶衍射对外延材料结构进行了表征。Hall测试结果表明,HEMT外延材料的迁移率为2 080 cm^2/(V·s),方块电阻为279.8Ω/,电荷面密度为1.07×10^(13)cm^(-2)。采用喇曼光谱仪对GaN的应力进行了表征,GaN的喇曼E2(h)峰位于567.02 cm^(-1),表面受到的张应力为0.170 6 GPa,由于GaN外延层受到的张应力很小,说明插入多层AlGaN后应力已经释放。汞探针C-V测试二维电子气浓度较Hall测试结果偏低,可能是在C-V测试时肖特基势垒接触会降低载流子浓度。 展开更多
关键词 Si GAN 高电子迁移率晶体管(HEMT) 金属有机物化学气相沉积(MOCVD) AlGaN插入层
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