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基于磁控溅射的Pt/PtRh高温薄膜热电偶传感器集成工艺
被引量：
1
1
作者
张文琦
沈统
+2 位作者
王林斌
赵未昀
邓元
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期27-33,共7页
Pt/PtRh为高温薄膜热电偶敏感材料,Al_(2)O_(3)和SiO_(2)为复合绝缘层材料,采用磁控溅射法成功制备Pt/PtRh薄膜热电偶及Al_(2)O_(3)/SiO_(2)复合型上下绝缘层,并通过掩膜-沉积法实现薄膜热电偶图案化制备。结果表明:制备的复合绝缘层Al_...
Pt/PtRh为高温薄膜热电偶敏感材料,Al_(2)O_(3)和SiO_(2)为复合绝缘层材料,采用磁控溅射法成功制备Pt/PtRh薄膜热电偶及Al_(2)O_(3)/SiO_(2)复合型上下绝缘层,并通过掩膜-沉积法实现薄膜热电偶图案化制备。结果表明:制备的复合绝缘层Al_(2)O_(3)/SiO_(2)能够有效保证高温薄膜热电偶传感器在1200℃高温下的绝缘性和化学稳定性。Pt/PtRh热电偶阵列精度达到200μm,可在1200℃下稳定工作超过2200 min,经过4000 min升降温循环测试后,热电偶输出热电动势偏差小于1%。热电偶传感器整体厚度小于20μm,集成于合金与热障涂层之间的热电偶在高温服役环境下可稳定工作并测量合金表面温度。多层结构的样件在服役测试中无分层、脱落现象,热电偶稳定输出信号。
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关键词
高温薄膜热电偶
铂-铂铑热电偶
塞贝克效应
氧化铝绝缘层
氧化硅绝缘层
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职称材料
碲化铋基热电薄膜与器件研究进展
被引量：
2
2
作者
胡少雄
周曼
+4 位作者
任超杰
张博涵
祝薇
赵未昀
邓元
《中国材料进展》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第12期1005-1017,1056,共14页
随着微电子技术的快速进步,电子器件不断朝着高性能、微型化、低功耗、自供电的方向发展。在器件性能和集成度不断提高的同时,小空间的快速散热问题成为制约其发展的关键瓶颈之一。热电薄膜器件是一种以热电薄膜材料为核心的半导体能源...
随着微电子技术的快速进步,电子器件不断朝着高性能、微型化、低功耗、自供电的方向发展。在器件性能和集成度不断提高的同时,小空间的快速散热问题成为制约其发展的关键瓶颈之一。热电薄膜器件是一种以热电薄膜材料为核心的半导体能源转换器件,具有全固态、无噪音、免维护、体积小等优点,在高热流密度电子元器件快速散热和低功耗电子器件自供电等领域具有迫切的应用需求和广阔的市场前景。Bi_(2)Te_(3)基热电材料是目前室温条件下性能最好的热电材料,以Bi_(2)Te_(3)基热电薄膜材料与器件为核心,重点介绍了常用热电薄膜材料的制备与性能优化方法,热电薄膜器件的结构设计、制备工艺以及界面优化手段,并对热电薄膜器件在热电发电和热电制冷领域的应用做了简要介绍。
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关键词
Bi_(2)Te_(3)
薄膜
热电材料
热电器件
制备方法
性能优化
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职称材料
ZnO亚微球添加对放电等离子烧结PZT陶瓷结构和性能的影响
被引量：
1
3
作者
张志伟
刘志阳
+1 位作者
秦雷
梁立兴
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期19-26,共8页
通过溶剂热法合成由纳米点组成的均匀ZnO亚微球,并将ZnO亚微球添加到PZT5A粉体中进行放电等离子烧结,研究ZnO亚微球添加对PZT陶瓷物相组成、微观结构及电学性能的影响。结果表明:采用放电等离子烧结法能够在900℃保温5 min条件下制备出...
通过溶剂热法合成由纳米点组成的均匀ZnO亚微球,并将ZnO亚微球添加到PZT5A粉体中进行放电等离子烧结,研究ZnO亚微球添加对PZT陶瓷物相组成、微观结构及电学性能的影响。结果表明:采用放电等离子烧结法能够在900℃保温5 min条件下制备出相对密度超过97%的PZT陶瓷。ZnO亚微球的添加有利于PZT陶瓷的烧结和晶粒生长,随着ZnO亚微球添加量的增加,PZT三方相(R)的含量逐渐增大。适量ZnO亚微球的添加能够改善PZT陶瓷的压电性能和介电性能,ZnO质量分数为0.10%时,材料的综合性能最优,在1 kHz频率下,压电常数d_(33)=432 pC/N,机电耦合系数k_(p)=0.56,机械品质因数Q_(m)=69.8,相对介电常数ε_(r)=1360,介电损耗tanδ=0.0227。
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关键词
锆钛酸铅
压电陶瓷
放电等离子烧结
压电性能
介电性能
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职称材料
题名
基于磁控溅射的Pt/PtRh高温薄膜热电偶传感器集成工艺
被引量：
1
1
作者
张文琦
沈统
王林斌
赵未昀
邓元
机构
北京航空航天大学杭州创新研究院浙江省智能传感材料与芯片集成技术重点实验室
北京航空航天大学
前沿科学
技术
创新
研究院
出处
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期27-33,共7页
基金
国家科技重大专项(J2019-Ⅶ-0008-0148)
浙江省重点研发计划(2021C05002)
+1 种基金
浙江省领军型创新创业团队项目(2020R01007)
国家自然科学基金(52102202)。
文摘
Pt/PtRh为高温薄膜热电偶敏感材料,Al_(2)O_(3)和SiO_(2)为复合绝缘层材料,采用磁控溅射法成功制备Pt/PtRh薄膜热电偶及Al_(2)O_(3)/SiO_(2)复合型上下绝缘层,并通过掩膜-沉积法实现薄膜热电偶图案化制备。结果表明:制备的复合绝缘层Al_(2)O_(3)/SiO_(2)能够有效保证高温薄膜热电偶传感器在1200℃高温下的绝缘性和化学稳定性。Pt/PtRh热电偶阵列精度达到200μm,可在1200℃下稳定工作超过2200 min,经过4000 min升降温循环测试后,热电偶输出热电动势偏差小于1%。热电偶传感器整体厚度小于20μm,集成于合金与热障涂层之间的热电偶在高温服役环境下可稳定工作并测量合金表面温度。多层结构的样件在服役测试中无分层、脱落现象,热电偶稳定输出信号。
关键词
高温薄膜热电偶
铂-铂铑热电偶
塞贝克效应
氧化铝绝缘层
氧化硅绝缘层
Keywords
high-temperature thin film thermocouple
Pt/PtRh thermocouple
Seebeck effect
aluminum oxide insulating layer
silica insulating layer
分类号
TN44 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
碲化铋基热电薄膜与器件研究进展
被引量：
2
2
作者
胡少雄
周曼
任超杰
张博涵
祝薇
赵未昀
邓元
机构
北京航空航天大学
材料
科学与工程学院
北京航空航天大学杭州创新研究院浙江省智能传感材料与芯片集成技术重点实验室
北京航空航天大学
前沿科学
技术
创新
研究院
出处
《中国材料进展》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第12期1005-1017,1056,共14页
基金
科技部重点研发计划项目(2018YFA0702100)
浙江省重点研发计划项目(2021C01026,2021C05002)
浙江省领军型创新创业团队项目(2020R01007)。
文摘
随着微电子技术的快速进步,电子器件不断朝着高性能、微型化、低功耗、自供电的方向发展。在器件性能和集成度不断提高的同时,小空间的快速散热问题成为制约其发展的关键瓶颈之一。热电薄膜器件是一种以热电薄膜材料为核心的半导体能源转换器件,具有全固态、无噪音、免维护、体积小等优点,在高热流密度电子元器件快速散热和低功耗电子器件自供电等领域具有迫切的应用需求和广阔的市场前景。Bi_(2)Te_(3)基热电材料是目前室温条件下性能最好的热电材料,以Bi_(2)Te_(3)基热电薄膜材料与器件为核心,重点介绍了常用热电薄膜材料的制备与性能优化方法,热电薄膜器件的结构设计、制备工艺以及界面优化手段,并对热电薄膜器件在热电发电和热电制冷领域的应用做了简要介绍。
关键词
Bi_(2)Te_(3)
薄膜
热电材料
热电器件
制备方法
性能优化
Keywords
Bi_(2)Te_(3)
thin film
thermoelectric materials
thermoelectric device
preparation method
performance optimization
分类号
TN37 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
ZnO亚微球添加对放电等离子烧结PZT陶瓷结构和性能的影响
被引量：
1
3
作者
张志伟
刘志阳
秦雷
梁立兴
机构
北京
信息科技
大学
传
感
器
北京
市
重点
实验室
北京航空航天大学杭州创新研究院浙江省智能传感材料与芯片集成技术重点实验室
出处
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期19-26,共8页
基金
浙江省引进培育领军型创新创业团队项目(2020R01007)
北京市属高等学校高水平科研创新团队建设支持计划项目(BPHR20220124)。
文摘
通过溶剂热法合成由纳米点组成的均匀ZnO亚微球,并将ZnO亚微球添加到PZT5A粉体中进行放电等离子烧结,研究ZnO亚微球添加对PZT陶瓷物相组成、微观结构及电学性能的影响。结果表明:采用放电等离子烧结法能够在900℃保温5 min条件下制备出相对密度超过97%的PZT陶瓷。ZnO亚微球的添加有利于PZT陶瓷的烧结和晶粒生长,随着ZnO亚微球添加量的增加,PZT三方相(R)的含量逐渐增大。适量ZnO亚微球的添加能够改善PZT陶瓷的压电性能和介电性能,ZnO质量分数为0.10%时,材料的综合性能最优,在1 kHz频率下,压电常数d_(33)=432 pC/N,机电耦合系数k_(p)=0.56,机械品质因数Q_(m)=69.8,相对介电常数ε_(r)=1360,介电损耗tanδ=0.0227。
关键词
锆钛酸铅
压电陶瓷
放电等离子烧结
压电性能
介电性能
Keywords
lead zirconate titanate
piezoelectric ceramic
spark plasma sintering
piezoelectric property
dielectric property
分类号
TM282 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于磁控溅射的Pt/PtRh高温薄膜热电偶传感器集成工艺
张文琦
沈统
王林斌
赵未昀
邓元
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
碲化铋基热电薄膜与器件研究进展
胡少雄
周曼
任超杰
张博涵
祝薇
赵未昀
邓元
《中国材料进展》
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
ZnO亚微球添加对放电等离子烧结PZT陶瓷结构和性能的影响
张志伟
刘志阳
秦雷
梁立兴
《材料工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
在线阅读
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职称材料
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