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超声加工技术的研究进展
被引量：
18
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作者
张德远
刘逸航
+1 位作者
耿大喜
姜兴刚
《电加工与模具》
2019年第5期1-10,19,共11页
作为一种特种加工工艺,超声加工在工业界和学术领域得到越来越多的重视,故系统介绍了超声加工技术近年来在航空制造、3C制造、抗疲劳制造和生医制造等领域的研究现状,其中重点介绍了高速超声切削这一新兴超声加工技术在难加工合金的工...
作为一种特种加工工艺,超声加工在工业界和学术领域得到越来越多的重视,故系统介绍了超声加工技术近年来在航空制造、3C制造、抗疲劳制造和生医制造等领域的研究现状,其中重点介绍了高速超声切削这一新兴超声加工技术在难加工合金的工艺优势及其应用前景,同时还对超声加工技术在这些领域的发展趋势进行了展望。
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关键词
超声加工
研究进展
航空制造
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职称材料
光纤法珀式SiC耐高温压力传感器的制造与测试
被引量：
6
2
作者
盛天宇
李健
+1 位作者
李鸿昌
蒋永刚
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第15期1803-1809,共7页
针对高温环境下压力参数的原位测试需求,基于碳化硅(SiC)材料优异的耐高温特性,研制了一种光纤法珀式全SiC结构耐高温压力传感器。采用超声振动铣磨的加工方法制备了表面粗糙度Ra约11.9 nm的SiC传感膜片。利用SiC晶片氢氟酸辅助直接键...
针对高温环境下压力参数的原位测试需求,基于碳化硅(SiC)材料优异的耐高温特性,研制了一种光纤法珀式全SiC结构耐高温压力传感器。采用超声振动铣磨的加工方法制备了表面粗糙度Ra约11.9 nm的SiC传感膜片。利用SiC晶片氢氟酸辅助直接键合技术,实现SiC传感膜片与SiC基板的高强度气密性键合。搭建了高温压力测试系统,对制备的SiC耐高温压力传感器样机进行了高温环境下的性能测试。结果表明,该传感器能够实现600℃高温环境下0~4 MPa范围内的压力测量;600℃下传感器的压力灵敏度达到104.42 nm/MPa,具有较高的线性度,R>0.99。
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关键词
压力传感器
碳化硅
法珀干涉
超声加工
直接键合
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职称材料
题名
超声加工技术的研究进展
被引量：
18
1
作者
张德远
刘逸航
耿大喜
姜兴刚
机构
北京航空航天大学仿生与微纳系统研究所
北京航空航天大学
北京
生物医学工程高精尖创新中心
出处
《电加工与模具》
2019年第5期1-10,19,共11页
文摘
作为一种特种加工工艺,超声加工在工业界和学术领域得到越来越多的重视,故系统介绍了超声加工技术近年来在航空制造、3C制造、抗疲劳制造和生医制造等领域的研究现状,其中重点介绍了高速超声切削这一新兴超声加工技术在难加工合金的工艺优势及其应用前景,同时还对超声加工技术在这些领域的发展趋势进行了展望。
关键词
超声加工
研究进展
航空制造
Keywords
ultrasonic machining
research progress
aerospace manufacturing
分类号
TG663 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
光纤法珀式SiC耐高温压力传感器的制造与测试
被引量：
6
2
作者
盛天宇
李健
李鸿昌
蒋永刚
机构
北京航空航天大学仿生与微纳系统研究所
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第15期1803-1809,共7页
基金
国家自然科学基金(52022008)。
文摘
针对高温环境下压力参数的原位测试需求,基于碳化硅(SiC)材料优异的耐高温特性,研制了一种光纤法珀式全SiC结构耐高温压力传感器。采用超声振动铣磨的加工方法制备了表面粗糙度Ra约11.9 nm的SiC传感膜片。利用SiC晶片氢氟酸辅助直接键合技术,实现SiC传感膜片与SiC基板的高强度气密性键合。搭建了高温压力测试系统,对制备的SiC耐高温压力传感器样机进行了高温环境下的性能测试。结果表明,该传感器能够实现600℃高温环境下0~4 MPa范围内的压力测量;600℃下传感器的压力灵敏度达到104.42 nm/MPa,具有较高的线性度,R>0.99。
关键词
压力传感器
碳化硅
法珀干涉
超声加工
直接键合
Keywords
pressure sensor
silicon carbide(SiC)
Fabry-Perot interferometer
ultrasonic machining
direct bonding
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
超声加工技术的研究进展
张德远
刘逸航
耿大喜
姜兴刚
《电加工与模具》
2019
18
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职称材料
2
光纤法珀式SiC耐高温压力传感器的制造与测试
盛天宇
李健
李鸿昌
蒋永刚
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
6
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职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
统计分析
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