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科氏质量流量计的非线性影响机理分析与抑制 被引量:2
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作者 樊尚春 张轩 +2 位作者 张庆荣 邢维巍 郑德智 《科学技术与工程》 2005年第9期569-571,共3页
基于工作原理,分析了谐振式科氏质量流量传感器的非线性干扰形成的机制以及对传感器的影响;提出了解决非线性影响的措施;初步的实验研究结果表明所提出的技术措施具有较好实用效果,对提高该传感器的性能有重要意义。
关键词 科氏质量流量计 非线性振动 抑制 耦合振动
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热激励谐振式硅微结构压力传感器 被引量:8
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作者 樊尚春 《科学技术与工程》 2004年第5期426-429,共4页
针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器 ,简述了其工作机理 ;从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践。
关键词 热激励 谐振式硅微结构 压力传感器 谐振式传感器 优化设计 闭环系统
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科氏质量流量计的若干干扰因素及其抑止 被引量:6
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作者 樊尚春 《科学技术与工程》 2004年第4期269-271,共3页
分析了对谐振式科氏质量流量传感器工作稳定性和可靠性影响较大的四种干扰因素 :内部耦合振动、非线性振动、流体脉动和安装应力的影响途径 ;给出了改善或抑止这些干扰因素影响的思路与措施。初步试验研究表明 :得到的研究结果与提出的... 分析了对谐振式科氏质量流量传感器工作稳定性和可靠性影响较大的四种干扰因素 :内部耦合振动、非线性振动、流体脉动和安装应力的影响途径 ;给出了改善或抑止这些干扰因素影响的思路与措施。初步试验研究表明 :得到的研究结果与提出的技术措施具有较好实用效果 。 展开更多
关键词 科氏质量流量计 干扰 抑止 耦合振动 非线性振动 流体脉动 应力 传感器
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基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件
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作者 樊尚春 乔少杰 《科学技术与工程》 2005年第5期313-315,共3页
对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析。给出了其敏感压力、差压、集中力与加速度时,梁谐振子固有频率随被测量变化的解析计算模型。
关键词 E型圆膜片 硅微传感器 谐振式传感器 差动检测
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