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超光滑基底表面污染微粒的激光清洗技术
被引量：
4
1
作者
史兴宽
徐传义
王健
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第10期1138-1141,共4页
随着超光滑表面质量的不断提高 ,表面清洗已成为超光滑基片制造过程中的一项重要工序 ,并且成为影响产品合格率的关键因素。着重介绍激光清洗的特点及超光滑表面激光辅助清洗表面微细污染微粒的机理 ,并通过实验性验证 。
关键词
超光滑表面
激光清洗
污染微粒
微电子工业
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职称材料
水泥砂浆衬里补口作业机器人作业装置的研制
2
作者
张永顺
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第10期1142-1145,共4页
介绍水泥砂浆衬里补口作业机器人作业装置的系统组成及工作原理 ,分析水泥砂浆喷涂过程。该作业装置具有结构紧凑、“一电机多功用”及补口功能完善可靠等显著特点 ,实验证明是一种理想的水泥砂浆衬里补口作业装置 。
关键词
水泥砂浆
作业装置
喷涂补口
机器人
注水管通
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职称材料
题名
超光滑基底表面污染微粒的激光清洗技术
被引量：
4
1
作者
史兴宽
徐传义
王健
机构
西北工业大学
北京航空工艺技术研究所
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第10期1138-1141,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目! ( 597750 75)
航空基础科学基金资助项目! ( 97H2 50 0 7)
西北工业大学"双新工程"资助项目
文摘
随着超光滑表面质量的不断提高 ,表面清洗已成为超光滑基片制造过程中的一项重要工序 ,并且成为影响产品合格率的关键因素。着重介绍激光清洗的特点及超光滑表面激光辅助清洗表面微细污染微粒的机理 ,并通过实验性验证 。
关键词
超光滑表面
激光清洗
污染微粒
微电子工业
Keywords
supersmooth surface laser-assisted cleaning contaminate particulates mechanism
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
水泥砂浆衬里补口作业机器人作业装置的研制
2
作者
张永顺
机构
北京航空工艺技术研究所
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第10期1142-1145,共4页
基金
国家 8 63高技术研究发展计划资助项目! ( 863- 512 -0 3- 0 9)
中国博士后基金资助项目
文摘
介绍水泥砂浆衬里补口作业机器人作业装置的系统组成及工作原理 ,分析水泥砂浆喷涂过程。该作业装置具有结构紧凑、“一电机多功用”及补口功能完善可靠等显著特点 ,实验证明是一种理想的水泥砂浆衬里补口作业装置 。
关键词
水泥砂浆
作业装置
喷涂补口
机器人
注水管通
Keywords
in-pipe robot cement motar operation unit spraying and welding seam mending
分类号
TP242.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TE973.07 [石油与天然气工程—石油机械设备]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
超光滑基底表面污染微粒的激光清洗技术
史兴宽
徐传义
王健
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
4
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职称材料
2
水泥砂浆衬里补口作业机器人作业装置的研制
张永顺
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
0
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