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双图案化技术制备声表面波滤波器的工艺路线
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作者 季鸿雨 郭俊寒 +3 位作者 于海洋 张玉涛 史向龙 孟腾飞 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期215-219,共5页
研究了声表面波滤波器的光刻工艺。通过双图案化技术将一套密度高且复杂的芯片图形拆分成两套分立的、密度低且简单的图形。通过双重曝光技术先后将占空比差异较大的两组叉指电极曝光在同一层光刻胶中,降低了光刻工艺的复杂程度,提高了... 研究了声表面波滤波器的光刻工艺。通过双图案化技术将一套密度高且复杂的芯片图形拆分成两套分立的、密度低且简单的图形。通过双重曝光技术先后将占空比差异较大的两组叉指电极曝光在同一层光刻胶中,降低了光刻工艺的复杂程度,提高了芯片图形的光刻质量。芯片的性能与仿真结果一致。 展开更多
关键词 声表面滤波器 双图案化 叉指电极 占空比
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声表面波芯片晶圆级封装技术
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作者 王君 孟腾飞 +2 位作者 周培根 于海洋 曹玉 《应用声学》 北大核心 2025年第1期75-79,共5页
为解决声表面波滤波器无法实现系统级封装和高密度系统集成的问题,制作出可保护图形且封装尺寸小的滤波器,该文研究声表面波芯片的晶圆级先进封装技术。针对声表面波滤波器本身特性,提出技术方案并通过实验验证方案的可行性,并制作出晶... 为解决声表面波滤波器无法实现系统级封装和高密度系统集成的问题,制作出可保护图形且封装尺寸小的滤波器,该文研究声表面波芯片的晶圆级先进封装技术。针对声表面波滤波器本身特性,提出技术方案并通过实验验证方案的可行性,并制作出晶圆级封装的声表面波芯片样品,利用有机聚合物键合实现了晶圆级封装,通过测试键合强度、对比封装前后芯片性能等验证该样品的可靠性,测试结果显示键合强度满足要求且封装前后性能基本一致,达到预期结果。为提高器件可靠性,对该方案进行改进,利用金属共晶键合方式实现气密性封装,并制作出满足气密性要求的晶圆级封装的声表面波器件样品。 展开更多
关键词 声表面波芯片 晶圆级封装 聚合物键合
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一种小型化高性能薄膜体声波双工器设计方法
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作者 张智欣 陈长娥 +5 位作者 韩茜茜 史向龙 魏家贵 苏波 范佰杰 林树超 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期655-659,共5页
针对射频前端对双工器小型化的使用需求,采用拓扑结构设计、匹配设计、版图设计和封装设计等设计方法,研制出一款小型化高性能薄膜体声波(FBAR)双工器,其接收端频率为1805~1880 MHz,发射端频率为1710~1785 MHz,通带内整体插入损耗≤3.0 ... 针对射频前端对双工器小型化的使用需求,采用拓扑结构设计、匹配设计、版图设计和封装设计等设计方法,研制出一款小型化高性能薄膜体声波(FBAR)双工器,其接收端频率为1805~1880 MHz,发射端频率为1710~1785 MHz,通带内整体插入损耗≤3.0 dB,通道频段的相互抑制≥50 dB,隔离度≥50 dB,尺寸为2.0 mm×1.6 mm×0.9 mm。该双工器具有小体积、低插损、高阻带、高隔离等特性,符合应用系统对双工器的使用需求。 展开更多
关键词 高性能薄膜体声波(FBAR) 双工器 小型化 高隔离 低插损
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基于架桥套刻改进声表面波芯片探测工艺研究
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作者 王君 孟腾飞 +4 位作者 于海洋 王永安 倪烨 袁燕 张倩 《应用声学》 CSCD 北大核心 2024年第6期1297-1301,共5页
为避免芯片尺寸封装工艺中金属凸点过多,实现声表面波芯片的片上测试,提高良品率,该文研究利用架桥套刻的工艺制备声表面波芯片。在叉指图层上制备绝缘桥墩,在绝缘桥墩上制备连通内部电极和外部电极的导电桥,通过绝缘桥墩将导电桥与汇... 为避免芯片尺寸封装工艺中金属凸点过多,实现声表面波芯片的片上测试,提高良品率,该文研究利用架桥套刻的工艺制备声表面波芯片。在叉指图层上制备绝缘桥墩,在绝缘桥墩上制备连通内部电极和外部电极的导电桥,通过绝缘桥墩将导电桥与汇流条隔开,实现内部电极的引出。通过实验验证方案的可行性,利用传统光刻技术在衬底上制备叉指图层,利用套刻对准技术制备覆盖在汇流条上的聚酰胺酸绝缘桥墩,并在绝缘桥墩上制备连接内部电极和外部电极的导电桥,得到SAW芯片。通过探针点测直接片上测试芯片性能,测试结果达到预期要求。 展开更多
关键词 声表面波芯片 绝缘桥墩 架桥套刻 芯片尺寸封装
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惯性炮闩对膨胀波火炮膛压影响分析 被引量:2
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作者 范光明 郭张霞 +2 位作者 田家林 王振嵘 罗鹏 《火炮发射与控制学报》 北大核心 2018年第4期16-19,25,共5页
为分析惯性炮闩对惯性炮闩式膨胀波火炮膛压的影响,建立了膨胀波火炮的内弹道模型。计算分析了惯性炮闩的质量、惯性炮闩的启动压力和惯性炮闩的最大行程长对膨胀波火炮的膛压影响。计算结果表明惯性炮闩的质量对膨胀波火炮的膛压影响较... 为分析惯性炮闩对惯性炮闩式膨胀波火炮膛压的影响,建立了膨胀波火炮的内弹道模型。计算分析了惯性炮闩的质量、惯性炮闩的启动压力和惯性炮闩的最大行程长对膨胀波火炮的膛压影响。计算结果表明惯性炮闩的质量对膨胀波火炮的膛压影响较大,惯性炮闩的启动压力对膨胀波火炮膛压影响较小,惯性炮闩的最大行程长对膨胀波火炮的最大膛压影响很小。该结果能够为膨胀波火炮惯性炮闩的设计与优化提供一定的理论依据。 展开更多
关键词 膨胀波火炮 惯性炮闩 内弹道 膛压 影响因素
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LiTaO_(3)/石英HAL声表谐振器基于膜厚的优化研究
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作者 吴冉冉 史向龙 +4 位作者 董加和 陈彦光 王晓彧 吴浩东 张晓东 《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第6期736-738,742,共4页
异质声层状结构(HAL)声表面波(SAW)谐振器的品质因数(Q)和阻抗比通过优化金属电极厚度得到了进一步提高。该文采用基于格林函数/有限元(FEM)/边界元(BEM)算法的多层结构SAW器件仿真软件建立了20°YX LT/40°Y90°X石英为基... 异质声层状结构(HAL)声表面波(SAW)谐振器的品质因数(Q)和阻抗比通过优化金属电极厚度得到了进一步提高。该文采用基于格林函数/有限元(FEM)/边界元(BEM)算法的多层结构SAW器件仿真软件建立了20°YX LT/40°Y90°X石英为基底,Cu作为金属电极的单端口HAL SAW谐振器模型。首先计算了位移场分布,分析了HAL中传播的声波模式。随后计算了LiTaO_(3)(LT)厚度h_(LT)=0.1λ~0.2λ(λ为波长),Cu电极厚度h_(Cu)=0.04λ~0.1λ下器件的伯德(Bode)-Q、机电耦合系数K^(2)和阻抗比,研究了不同LT厚度下谐振器的Bode-Q、K^(2)和阻抗比随电极厚度的变化。结果表明,当h_(LT)=0.1λ~0.2λ时,最佳Cu电极厚度均为0.05λ,理想LT厚度下Bode-Q和阻抗比分别高达3000和98 dB。 展开更多
关键词 异质声层状结构(HAL) 声表面波(SAW) 品质因数(Q) 高阻抗比 机电耦合系数
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高空湿度探测用加热式湿度传感器的研制 被引量:3
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作者 董鹏 边旭明 +4 位作者 赵宏忠 林树超 邓娟 黄晓杰 彭文武 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第7期1000-1005,共6页
为实现高空高湿环境下对湿度的准确测量,本文设计和研究了集成加热功能的湿度传感器,在探空仪进行高空湿度探过程中利用两只加热式湿度传感器进行轮流加热除湿和湿度测量。通过对聚酰亚胺湿敏材料进行改性和合成,设计和制作了加热式的... 为实现高空高湿环境下对湿度的准确测量,本文设计和研究了集成加热功能的湿度传感器,在探空仪进行高空湿度探过程中利用两只加热式湿度传感器进行轮流加热除湿和湿度测量。通过对聚酰亚胺湿敏材料进行改性和合成,设计和制作了加热式的电容型湿度传感器,其灵敏度为0.219 5 p F/%RH、响应时间小于1 s、湿滞为4.8%RH、半年漂移量在±0.3%RH以内。通过分析不同温度下的加热恢复时间,制定了加热式湿度传感器轮流工作的机制,轮流加热时间和周期分别为2 s和120 s。并利用数据采集电路以及GPS探空仪对加热式湿度传感器进行了地面静态性能和高空动态性能测试,其高空湿度探测结果与VA SALA RS92的显示出较好的一致性和较低的湿度误差。本文研制的加热式湿度传感器能具有良好的地面性能,实现了交替加热除湿和湿度测量的功能,具有高空湿度探测的应用潜力。 展开更多
关键词 湿度传感器 高空湿度探测 加热式 湿敏电容
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一种宽带声表面波滤波器的设计 被引量:1
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作者 陈晓阳 王永安 +1 位作者 袁燕 曹玉 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期238-241,共4页
基于大机电耦合系数LiNbO_(3)材料,该文设计了一种激发Love波模式的宽带低损耗声表面波滤波器。研究了不同切向下LiNbO_(3)材料的机电耦合系数,以及不同切向、膜厚下15°YX-LiNbO_(3)的瑞利波激发情况。测试结果表明,采用铜电极对... 基于大机电耦合系数LiNbO_(3)材料,该文设计了一种激发Love波模式的宽带低损耗声表面波滤波器。研究了不同切向下LiNbO_(3)材料的机电耦合系数,以及不同切向、膜厚下15°YX-LiNbO_(3)的瑞利波激发情况。测试结果表明,采用铜电极对谐振器进行切趾加权抑制横向模式,宽带滤波器可实现较小的插入损耗和较好的通带特性。 展开更多
关键词 LiNbO_(3) LOVE波 宽带 声表面波(SAW) 瑞利波 横向模式
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自适应抽指加权技术
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作者 陈晓阳 王永安 +1 位作者 孟腾飞 曹玉 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期250-252,共3页
在传统的抽指加权技术基础上,该文提出了一种自适应抽指加权技术。通过计算确定抽指加权的起始位置和加权数值,能对切趾换能器进行部分指条的抽指加权。研究结果表明,根据该文提出方法研制的一款声表面波滤波器,其频率为61.60 MHz,-1 d... 在传统的抽指加权技术基础上,该文提出了一种自适应抽指加权技术。通过计算确定抽指加权的起始位置和加权数值,能对切趾换能器进行部分指条的抽指加权。研究结果表明,根据该文提出方法研制的一款声表面波滤波器,其频率为61.60 MHz,-1 dB相对带宽为3.7%,带外抑制大于45 dB,矩形度为1.4,器件的综合性能得到改善。 展开更多
关键词 抽指加权 自适应 切趾 加权位置 加权数值 声表面波滤波器
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混合结构声表面波滤波器的设计
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作者 陈晓阳 王永安 +2 位作者 叶志 高黄杰 曹玉 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第3期331-334,共4页
为了提高矩形系数,该文针对混合结构的声表面波滤波器的设计展开研究。建立仿真模型,采用纵向耦合结构级联单个谐振器或多个谐振器,并在36°Y-X LiTaO_(3)和41°Y-X LiNbO_(3)压电材料上研制出两种声表面波滤波器。测试结果表明... 为了提高矩形系数,该文针对混合结构的声表面波滤波器的设计展开研究。建立仿真模型,采用纵向耦合结构级联单个谐振器或多个谐振器,并在36°Y-X LiTaO_(3)和41°Y-X LiNbO_(3)压电材料上研制出两种声表面波滤波器。测试结果表明,滤波器的矩形系数分别为1.7和2,测试与仿真结果基本吻合。 展开更多
关键词 矩形系数 混合结构 声表面波 纵向耦合 谐振器
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声表面波器件光刻的衍射效应研究
11
作者 孟腾飞 陈晓阳 +3 位作者 段英丽 于海洋 周培根 王永安 《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期246-249,共4页
声表面波(SAW)器件光刻过程中,制作的光刻胶线条宽度与掩模版不一致,特别是不同宽度的非均匀线条光刻后线宽变化值存在偏差。该文研究了接近式曝光衍射效应对线宽的影响,分析了掩模版上线条和缝隙宽度、衍射光强、掩模版与光刻胶间距等... 声表面波(SAW)器件光刻过程中,制作的光刻胶线条宽度与掩模版不一致,特别是不同宽度的非均匀线条光刻后线宽变化值存在偏差。该文研究了接近式曝光衍射效应对线宽的影响,分析了掩模版上线条和缝隙宽度、衍射光强、掩模版与光刻胶间距等参数间的关系。结果表明,通过建立光学模型给出了计算曝光后不同线条宽度变化值的方法,采用程序编程可对掩模版数据中不同尺寸的线条和缝隙宽度进行补偿,实现SAW器件非均匀线条宽度的精确控制。 展开更多
关键词 声表面波(SAW)器件 光刻 衍射效应 线宽
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