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基于铌酸锂薄膜的Y波导集成调制器设计
被引量：
3
1
作者
郭宏杰
刘海锋
+4 位作者
王振诺
谭满清
李智勇
雷明
郭文涛
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期626-630,共5页
近年来,基于薄膜铌酸锂(TFLN)平台的高性能电光调制器以其小体积、低能量损耗等特点受到广泛关注。本文提出了一种新的具有垂直电极结构的Y波导铌酸锂薄膜电光调制器。研究了调制器的半波电压与缓冲层厚度之间的关系,优化了Y波导的设计...
近年来,基于薄膜铌酸锂(TFLN)平台的高性能电光调制器以其小体积、低能量损耗等特点受到广泛关注。本文提出了一种新的具有垂直电极结构的Y波导铌酸锂薄膜电光调制器。研究了调制器的半波电压与缓冲层厚度之间的关系,优化了Y波导的设计参数,最后设计得到插入损耗<5 dB,半波电压<1.5 V的高性能调制器。本文不仅为基于TFLN平台的小型化波导的设计和实现提供了思路,而且为制造高性能和多功能的电光调制器提供了实验依据。
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关键词
电光调制器
TFLN
Y波导
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职称材料
题名
基于铌酸锂薄膜的Y波导集成调制器设计
被引量：
3
1
作者
郭宏杰
刘海锋
王振诺
谭满清
李智勇
雷明
郭文涛
机构
中国科学院半导体
研究所
集成光电子
国家
重点
实验室
中国科学院半导体
研究所
光电子器件
国家
工程
研究
中心
中国科学院大学材料科学与光电工程中心
北京自动控制设备研究所国家重点惯性技术实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期626-630,共5页
基金
Supported by Science and Technology Project of State Grid Corporation of China(No.5700-202058482A-0-0-00)
National Key Research and Development Program of China(No.2019YFB2203802)。
文摘
近年来,基于薄膜铌酸锂(TFLN)平台的高性能电光调制器以其小体积、低能量损耗等特点受到广泛关注。本文提出了一种新的具有垂直电极结构的Y波导铌酸锂薄膜电光调制器。研究了调制器的半波电压与缓冲层厚度之间的关系,优化了Y波导的设计参数,最后设计得到插入损耗<5 dB,半波电压<1.5 V的高性能调制器。本文不仅为基于TFLN平台的小型化波导的设计和实现提供了思路,而且为制造高性能和多功能的电光调制器提供了实验依据。
关键词
电光调制器
TFLN
Y波导
Keywords
electro-optic modulator
TFLN
Y-junction waveguide
分类号
TN29 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于铌酸锂薄膜的Y波导集成调制器设计
郭宏杰
刘海锋
王振诺
谭满清
李智勇
雷明
郭文涛
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
3
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