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激光诱导击穿光谱在材料表面分析领域中的应用进展
被引量：
5
1
作者
张勇
贾云海
+8 位作者
陈吉文
刘英
沈学静
赵雷
王书明
于洪
韩鹏程
屈华阳
刘少尊
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期1441-1446,共6页
激光诱导击穿光谱作为表面分析工具是近十年发展起来的,对表面分析基础理论、仪器装置及其在材料科学领域中的应用进行详细的综述。重点阐述了激光诱导击穿光谱在国内外冶金、半导体、电子等材料科学领域中的元素分布分析及镀层分析应...
激光诱导击穿光谱作为表面分析工具是近十年发展起来的,对表面分析基础理论、仪器装置及其在材料科学领域中的应用进行详细的综述。重点阐述了激光诱导击穿光谱在国内外冶金、半导体、电子等材料科学领域中的元素分布分析及镀层分析应用进展,指出激光束单个脉冲能量、环境气体及气压、激光束能量分布等参数对分辨率的影响,同时指出在兼顾灵敏度的前提下提高分辨率的途径。与传统经典表面分析工具相比较具有扫描面积大、分析速度快及样品导电与否均可分析等优点,成为传统表面分析工具的有力补充。
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关键词
激光诱导击穿光谱
材料科学
表面分析
应用进展
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职称材料
题名
激光诱导击穿光谱在材料表面分析领域中的应用进展
被引量：
5
1
作者
张勇
贾云海
陈吉文
刘英
沈学静
赵雷
王书明
于洪
韩鹏程
屈华阳
刘少尊
机构
钢铁研究总院
北京纳克分析仪器有限公司
北京
有色金属研究总院
中国地质科学院矿产资源研究所
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期1441-1446,共6页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ140147)资助
文摘
激光诱导击穿光谱作为表面分析工具是近十年发展起来的,对表面分析基础理论、仪器装置及其在材料科学领域中的应用进行详细的综述。重点阐述了激光诱导击穿光谱在国内外冶金、半导体、电子等材料科学领域中的元素分布分析及镀层分析应用进展,指出激光束单个脉冲能量、环境气体及气压、激光束能量分布等参数对分辨率的影响,同时指出在兼顾灵敏度的前提下提高分辨率的途径。与传统经典表面分析工具相比较具有扫描面积大、分析速度快及样品导电与否均可分析等优点,成为传统表面分析工具的有力补充。
关键词
激光诱导击穿光谱
材料科学
表面分析
应用进展
Keywords
Laser induced-breakdown spectroscopy
Materials science
Surface analysis
Application progress
分类号
TB302.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
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作者
出处
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被引量
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1
激光诱导击穿光谱在材料表面分析领域中的应用进展
张勇
贾云海
陈吉文
刘英
沈学静
赵雷
王书明
于洪
韩鹏程
屈华阳
刘少尊
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
5
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