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大面积纳米硅基薄膜太阳电池及制造设备的开发
被引量：
1
1
作者
蓝仕虎
赵辉
+10 位作者
杨娜
曲铭浩
胡安红
张迎春
赵颖
张晓丹
汪涛
樊正海
王建强
张津岩
徐希翔
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1268-1273,共6页
该文工作主要集中在用于制备非晶硅和纳米硅薄膜太阳电池的多腔室、大面积等离子体沉积系统的研发。在制备工艺方面,系统研究沉积压力、电极间距、射频电源功率等参数对薄膜沉积速率、膜厚的非均匀性、晶化率的影响;在硬件设计方面,对...
该文工作主要集中在用于制备非晶硅和纳米硅薄膜太阳电池的多腔室、大面积等离子体沉积系统的研发。在制备工艺方面,系统研究沉积压力、电极间距、射频电源功率等参数对薄膜沉积速率、膜厚的非均匀性、晶化率的影响;在硬件设计方面,对不同弦高气盒,密封结构气盒和非密封结构气盒进行系统比较,研究对薄膜的非均匀性、沉积速率的影响。通过工艺参数及硬件优化,最终得到沉积速率接近5?/s、晶化率约为60%、晶化率及膜厚的非均匀性均小于10%的纳米硅薄膜。以此膜层制备技术为基础,在1.1 m×1.4 m面积的透明导电玻璃基板上制备出初始功率为154.97 W(全面积转换效率10.1%)的非晶硅/纳米硅双结叠层太阳电池。
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关键词
薄膜太阳电池
纳米硅薄膜
大面积均匀性
高沉积速率
气盒
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职称材料
题名
大面积纳米硅基薄膜太阳电池及制造设备的开发
被引量：
1
1
作者
蓝仕虎
赵辉
杨娜
曲铭浩
胡安红
张迎春
赵颖
张晓丹
汪涛
樊正海
王建强
张津岩
徐希翔
机构
福建
铂
阳
精
工
设备
有限公司
研发中心
北京精诚铂阳光电设备有限公司
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所
四川汉能光伏
有限公司
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期1268-1273,共6页
基金
国家高技术研究发展(863)计划(2013AA050301)
文摘
该文工作主要集中在用于制备非晶硅和纳米硅薄膜太阳电池的多腔室、大面积等离子体沉积系统的研发。在制备工艺方面,系统研究沉积压力、电极间距、射频电源功率等参数对薄膜沉积速率、膜厚的非均匀性、晶化率的影响;在硬件设计方面,对不同弦高气盒,密封结构气盒和非密封结构气盒进行系统比较,研究对薄膜的非均匀性、沉积速率的影响。通过工艺参数及硬件优化,最终得到沉积速率接近5?/s、晶化率约为60%、晶化率及膜厚的非均匀性均小于10%的纳米硅薄膜。以此膜层制备技术为基础,在1.1 m×1.4 m面积的透明导电玻璃基板上制备出初始功率为154.97 W(全面积转换效率10.1%)的非晶硅/纳米硅双结叠层太阳电池。
关键词
薄膜太阳电池
纳米硅薄膜
大面积均匀性
高沉积速率
气盒
Keywords
thin film solar cell
nc-Si film
large area uniformity
high deposition rate
gas box
分类号
TK513 [动力工程及工程热物理—热能工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大面积纳米硅基薄膜太阳电池及制造设备的开发
蓝仕虎
赵辉
杨娜
曲铭浩
胡安红
张迎春
赵颖
张晓丹
汪涛
樊正海
王建强
张津岩
徐希翔
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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