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“等离子体表面处理技术”专题序言
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作者 李成明 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期I0006-I0006,共1页
等离子体是由被剥夺部分电子后的原子及原子团电离产生的离子化气体状物质,具有比气态、液态、固态物质都高的能量范围,被称为物质的第四态。根据温度不同,等离子体可分为高温等离子体和低温等离子体(包括热等离子体和冷等离子体)。
关键词 冷等离子体 表面处理技术 序言 专题 固态物质 低温等离子体 高温等离子体 热等离子体
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