固体发动机外防护涂层紧贴型缺陷太赫兹成像实验研究 被引量：2

1

作者 张振伟 吴迎红 +3 位作者 张强 郭琪 张存林 赵跃进 《固体火箭技术》 CAS CSCD 北大核心 2023年第2期304-312,共9页

针对固体火箭发动机金属壳体外防护涂层紧贴型无黏结缺陷检测问题,采用反射式太赫兹时域光谱成像技术对标准涂层试件进行检测,实现对黏好区、紧密接触但是黏结失效区(无黏结区)、交界区和微小缺陷区分布情况判识。对比了不同原始信号预... 针对固体火箭发动机金属壳体外防护涂层紧贴型无黏结缺陷检测问题,采用反射式太赫兹时域光谱成像技术对标准涂层试件进行检测,实现对黏好区、紧密接触但是黏结失效区(无黏结区)、交界区和微小缺陷区分布情况判识。对比了不同原始信号预处理、不同降维处理和不同样本量分类识别处理对四类区域特征识别的效果。结果表明,采用主成分分析结合支持向量机方法,四类特征的预测分类区域图像与实际分类区域分布吻合,并且在较少样本量的情况下保持了稳定的预测分类结果,可靠性较高。证实了太赫兹技术用于对固体火箭发动机壳体与涂层的黏结结构进行非接触无损检测中,能够自动识别紧密接触型黏结失效缺陷和微小缺陷,为进一步的涂层质量控制提供了一种新的检测手段。 展开更多

关键词 外防护涂层 固体火箭发动机 紧贴型缺陷 太赫兹成像

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夜视技术及其在中远距离的应用 被引量：3

2

作者 赵跃进 王夏天 冯韵 《中国铁路》 2017年第2期71-76,共6页

在全天候无缝监控的新形势下,分析铁路视频监控需要解决的技术问题和技术需求;介绍微光夜视、激光夜视、红外夜视3种夜视技术及其产品,并进行对比分析;阐述夜视技术产品的环境适应性参数,以及夜视技术在中远距离的实际应用。

关键词 视频监控 中远距离 夜视技术 微光夜视 激光夜视 红外夜视

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光场成像原理及应用技术 被引量：8

3

作者 张韶辉 胡摇 +2 位作者 曹睿 程雪岷 郝群 《兵器装备工程学报》 CAS 北大核心 2020年第2期178-186,共9页

光场技术是从包括波长、位置、方向、偏振、时间等在内的光场全要素出发,获取及利用光场信息进行成像、三维测量或显示的一类技术。从光场的物理模型和数学表示、信息获取及处理方式、信息操作手段以及部分应用方向等角度对光场技术进... 光场技术是从包括波长、位置、方向、偏振、时间等在内的光场全要素出发,获取及利用光场信息进行成像、三维测量或显示的一类技术。从光场的物理模型和数学表示、信息获取及处理方式、信息操作手段以及部分应用方向等角度对光场技术进行了系统分析和阐述。 展开更多

关键词 光场成像 微透镜阵列 相机阵列 三维测量

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基于焦平面探测器的红外相机成像模型和静态传函测试方法研究 被引量：7

4

作者 孔健 傅雨田 赵跃进 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2022年第6期1072-1080,共9页

建立了基于焦平面探测器的红外成像系统成像的空间域和频率域模型;并分析指出,由于背景辐射的存在和红外探测器明显的响应非均匀性,只有系统经过良好的辐射校正,方能使其成像过程符合线性和空间不变性条件,使得相机可以采用传递函数来... 建立了基于焦平面探测器的红外成像系统成像的空间域和频率域模型;并分析指出,由于背景辐射的存在和红外探测器明显的响应非均匀性,只有系统经过良好的辐射校正,方能使其成像过程符合线性和空间不变性条件,使得相机可以采用传递函数来评价其几何成像性能。提出了针对基于焦平面探测器的红外成像系统的传函测试方法,能够有效地处理背景辐射的影响而且不受系统不均匀性的影响,试验和应用实践显示了该方法的有效性。 展开更多

关键词 红外成像 模型 传函 测试

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具有抗漂移特性的激光共焦拉曼光谱成像技术与系统 被引量：5

5

作者 李书成 王允 +3 位作者 崔晗 邱丽荣 赵维谦 朱恪 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期3249-3254,共6页

共焦拉曼技术结合了共焦显微技术和拉曼光谱技术,具有高分辨率、高灵敏度、可层析成像的优势,广泛应用于物理、材料科学、生物医学、文物鉴定以及刑侦等领域。由于拉曼光谱成像需要较长时间,测量中系统易受环境等因素影响产生漂移,造成... 共焦拉曼技术结合了共焦显微技术和拉曼光谱技术,具有高分辨率、高灵敏度、可层析成像的优势,广泛应用于物理、材料科学、生物医学、文物鉴定以及刑侦等领域。由于拉曼光谱成像需要较长时间,测量中系统易受环境等因素影响产生漂移,造成离焦,而现有商用共焦拉曼光谱仪并无定焦能力,容易影响测量结果。针对此问题,研制了一种具有抗漂移能力的激光共焦拉曼光谱探测系统。在不改变共焦拉曼探测基本原理的基础上,利用拉曼轴向响应曲线最大值对应显微物镜焦面这一特性,对每个探测点进行轴向扫描,采集一定数量的轴向信号,通过曲线拟合寻找光谱强度极值位置,保证扫描过程中样品始终处于系统的焦点位置处,抑制离焦影响,改善拉曼光谱成像效果。以单层石墨烯样品进行单点测试,证明仪器在5μm离焦范围内可以实现实时定焦,定焦后采集到的拉曼光谱强度几乎不变,具有良好的抗漂移能力;对硅台阶样品进行成像测试,结果表明成像过程中,信号强度未发生明显变化,且横向分辨率有一定改善,效果明显优于普通共焦拉曼光谱探测系统。 展开更多

关键词 共焦拉曼 抗漂移 光谱成像

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基于虚像相位阵列共焦布里渊光谱技术的弹性模量测量 被引量：1

6

作者 徐孟 牛海莎 +1 位作者 祝连庆 宁莹 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2021年第4期216-223,共8页

生物组织和材料的弹性模量是决定其力学性能的关键因素,对生物医学和材料监测等领域至关重要。提出了一种基于虚像相位阵列的弹性模量测量方法,虚像相位阵列与共聚焦显微系统相结合,能够快速获得生物组织和材料的布里渊光谱频移,从而计... 生物组织和材料的弹性模量是决定其力学性能的关键因素,对生物医学和材料监测等领域至关重要。提出了一种基于虚像相位阵列的弹性模量测量方法,虚像相位阵列与共聚焦显微系统相结合,能够快速获得生物组织和材料的布里渊光谱频移,从而计算得到其弹性模量。首先,理论上分析了材料的弹性模量和布里渊光谱频移之间的关系;然后,介绍了虚像相位阵列的原理及系统的各组成部分;最后,对样品材料进行光谱测试,分别测得了聚乙烯、二氧化硅玻璃和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的光谱,求得纵向弹性模量M分别为7.23 GPa、83.4 GPa和8.92 GPa,并且测得了PMMA的布里渊光谱图像。结果表明:虚像相位阵列与衍射光栅级联使用,能够改善标准具的级次重叠现象,提高布里渊光谱的分辨率和采集速率,该系统设计的激光和背向散色光抑制模块,显著提高了布里渊信号的对比度,在材料特性、结构监测和生物医学等方面具有重要意义。 展开更多

关键词 弹性模量 虚像相位阵列 共焦布里渊 光谱频移

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球型惯性元件配合间隙差动共焦精密测量方法 被引量：4

7

作者 许鑫 姚竹贤 +2 位作者 王允 杨帅 赵维谦 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期1-8,共8页

配合间隙是决定球型惯性器件精度和可靠性的关键参数之一,针对球型惯性器球面元件表面有缺口且未完全抛光导致曲率半径难以精确测量,进而难以准确控制球碗、球冠配合间隙瓶颈问题,提出了一种球面惯性元件配合间隙激光差动共焦高精度方... 配合间隙是决定球型惯性器件精度和可靠性的关键参数之一,针对球型惯性器球面元件表面有缺口且未完全抛光导致曲率半径难以精确测量,进而难以准确控制球碗、球冠配合间隙瓶颈问题,提出了一种球面惯性元件配合间隙激光差动共焦高精度方法。该方法利用抗散射的激光差动共焦曲率半径测量方法分别对球碗、球冠的曲率半径进行测量,然后利用差动共焦曲率半径测量系统测得的球碗和球冠的半径差来控制球型惯性器球面的配合间隙。理论分析与实验验证表明:该方法测量球冠和球碗配合间隙的相对扩展不确定度优于20×10^-6,其为惯性器件球冠和球碗配合间隙的高精度测量与控制提供了一种全新的技术手段。 展开更多

关键词 光学测量 球型惯性元件 抗散射 配合间隙

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偏振光谱成像仪太阳与月球联合在轨标定技术研究

8

作者 孔健 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期394-402,共9页

航天遥感器入轨及在轨运行期间,由于重力、应力释放、热以及元器件老化等因素的综合影响需要对其进行在轨标定.为了提高星上辐射标定精度,提出了对月标定和太阳标定相结合的在轨标定方法.通过对月成像实现中心场的在轨绝对辐射标定,标... 航天遥感器入轨及在轨运行期间,由于重力、应力释放、热以及元器件老化等因素的综合影响需要对其进行在轨标定.为了提高星上辐射标定精度,提出了对月标定和太阳标定相结合的在轨标定方法.通过对月成像实现中心场的在轨绝对辐射标定,标定仪器辐射特性的星地差异和在轨的变化情况.通过太阳标定获取探测器的非均匀性变化.对偏振光谱成像仪标定不确定度进行了分析,研究结果表明:绝对辐射标定总不确定度为3.77%,满足5%辐射标定精度要求. 展开更多

关键词 对月标定 太阳标定 漫反射板制作 偏振光谱成像仪

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光栅尺测长式激光差动共焦曲率半径测量系统 被引量：3

9

作者 徐鹏 赵维谦 +2 位作者 王方彪 肖阳 周桃庚 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1023-1028,共6页

为了增强高精度曲率半径测量仪器的抗环境干扰能力,满足现场使用需求,研制了一套基于光栅尺测长的激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统利用差动共焦轴向光强响应曲线的过零点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,对被测样品的猫眼位置及共... 为了增强高精度曲率半径测量仪器的抗环境干扰能力,满足现场使用需求,研制了一套基于光栅尺测长的激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统利用差动共焦轴向光强响应曲线的过零点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,对被测样品的猫眼位置及共焦位置进行精确瞄准定位,并借助光栅尺测长得到透镜猫眼位置与共焦位置之间的距离,实现曲率半径的测量。实验表明,该系统相对测量精度优于5×10-6,满足高精度曲率半径测量的精度需求。 展开更多

关键词 差动共焦 曲率半径测量 非接触测量 光栅尺

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基于Levenberg-Marquardt算法的大型非球面镜轮廓数据处理方法 被引量：3

10

作者 金秋宇 马飞 +2 位作者 刘恩涛 王允 赵维谦 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期555-560,共6页

大型非球面镜通过加工-检测-再加工-再检测的制造工艺以满足面形精度要求,根据检测后的轮廓数据准确评定面形是提高再加工精度的关键。为解决抛光前镜面的面形评定问题,采用基于信赖域法则的Levenberg-Marquardt算法对参数进行拟合、误... 大型非球面镜通过加工-检测-再加工-再检测的制造工艺以满足面形精度要求,根据检测后的轮廓数据准确评定面形是提高再加工精度的关键。为解决抛光前镜面的面形评定问题,采用基于信赖域法则的Levenberg-Marquardt算法对参数进行拟合、误差补偿以及面形评定。利用Code V仿真分析算法性能,构建大型非球面轮廓仪测试抛物面加工件,对实测数据经过32次迭代得到元件参数及轮廓残差曲线,收敛精度为1.16×10-21。实验表明:该算法可对大型非球面镜轮廓数据进行高效准确的拟合、评定,为进一步提高再加工精度提供可靠依据。 展开更多

关键词 大型非球面镜 LEVENBERG-MARQUARDT 误差补偿 非线性拟合 轮廓数据评定

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红外光学材料折射率均匀性的测量不确定度评定 被引量：2

11

作者 梁菲 麦绿波 +2 位作者 周桃庚 王雷 沙定国 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期82-87,共6页

基于多样品多型号仪器的测试信息及其GUM和MCM方法,讨论了四步干涉法测量红外光学材料折射率均匀性的测量范围及其测量不确定度评定。红外干涉测量的绝对灵敏度和准确度虽不及可见激光干涉仪,但采用了四步干涉测量的方法,消除了干涉仪... 基于多样品多型号仪器的测试信息及其GUM和MCM方法,讨论了四步干涉法测量红外光学材料折射率均匀性的测量范围及其测量不确定度评定。红外干涉测量的绝对灵敏度和准确度虽不及可见激光干涉仪,但采用了四步干涉测量的方法,消除了干涉仪的固有系统误差,有利于实现对红外光学材料折射率均匀性的高准确度测量。实际测试表明,该测量范围覆盖1×10-5~5×10-3,测量相对标准不确定度为2×10-1~2×10-2。 展开更多

关键词 GUM MCM 四步干涉法 红外光学材料均匀性

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阶跃型三维形貌信息小波去噪方法研究 被引量：2

12

作者 樊颖 邱丽荣 +1 位作者 赵维谦 王允 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2016年第4期542-548,共7页

阶跃样品显微测量时,样品三维形貌本身丰富的阶跃信息极易受到噪声高频信号的干扰,如何在滤除噪声的同时保持三维形貌的阶跃特征,实现对样品表面三维形貌信息的高精度测量是一个重要研究问题。利用小波函数良好的空间域和频率域的局部... 阶跃样品显微测量时,样品三维形貌本身丰富的阶跃信息极易受到噪声高频信号的干扰,如何在滤除噪声的同时保持三维形貌的阶跃特征,实现对样品表面三维形貌信息的高精度测量是一个重要研究问题。利用小波函数良好的空间域和频率域的局部化特性,针对阶跃型样品的特点选取Haar小波,并采用一种基于模平方的阈值处理方法对三维形貌信息小波去噪方法进行研究。将该方法应用在本课题组研制的激光差动共焦显微镜扫描台阶样品得到的三维高度轮廓中,去噪后测量样品高度与OLYMPUS共焦显微镜扫描结果相对比,误差为0.146 8nm,满足三维形貌信息后续测量分析的要求,证明了算法的有效性。 展开更多

关键词 小波去噪 阶跃型三维形貌 HAAR小波 差动共焦

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强光元件逆向哈特曼在位检测装置误差敏感因素分析与验证 被引量：1

13

作者 王姗姗 石峰 +7 位作者 乔硕 徐博文 郝群 宋辞 铁贵鹏 田野 翟德德 彭星 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2023年第9期31-40,共10页

针对基于强光元件高精度面形在位检测需求,开展了面形测量误差敏感因素仿真分析,进行了系统结构误差和温度误差对测量结果的影响研究,分析各类误差对测量面形误差的具体影响,设计并搭建在位检测系统,开展系统温度变化、系统重复性、系... 针对基于强光元件高精度面形在位检测需求,开展了面形测量误差敏感因素仿真分析,进行了系统结构误差和温度误差对测量结果的影响研究,分析各类误差对测量面形误差的具体影响,设计并搭建在位检测系统,开展系统温度变化、系统重复性、系统稳定性等测量实验。研究结果表明:所建立的逆向哈特曼仿真检测模型可用于平面、球面、非球面、自由曲面等各类型被测面,各类影响因素对测量结果的影响主要体现在低频误差上,对高频误差的影响相对较小,搭建的在位检测系统6 h内测量面形误差PV值最大不超过68 nm(约λ/10),RMS值最大不超过15 nm(约λ/40)。 展开更多

关键词 面形测量 在位检测 强光元件 误差分析 仿真模型

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激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统的研制 被引量：13

14

作者 赵维谦 王龙肖 +2 位作者 邱丽荣 王允 马仙仙 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期1013-1023,共11页

针对激光聚变靶丸内表面轮廓高精度无损测量的迫切需求,研制了一套激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统。该系统通过最小二乘算法(LSC)计算出靶丸回转偏心量,并利用偏心调整台对靶丸偏心进行自动快速调整;然后,系统软件控制气浮回转轴承驱... 针对激光聚变靶丸内表面轮廓高精度无损测量的迫切需求,研制了一套激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统。该系统通过最小二乘算法(LSC)计算出靶丸回转偏心量,并利用偏心调整台对靶丸偏心进行自动快速调整;然后,系统软件控制气浮回转轴承驱动靶丸旋转,利用激光差动共焦传感器(LDCS)轴向响应曲线过零点及光线追迹算法精确计算出靶丸内表面轮廓上每个采样点的几何位置;最后,对靶丸内轮廓测量数据进行LSC评定得到其圆度信息。实验证明,靶丸回转偏心的自动调整时间可达22s,当采样点分别为1 024,2 048及4 096时,靶丸内轮廓测量时间分别可达10,20及40s,且圆度测量标准差可达19nm(1 024点)。该系统实现了靶丸回转偏心的自动快速调整及其内轮廓的高精度、无损、快速、自动测量。 展开更多

关键词 共焦测量 聚变靶丸 内轮廓 自动偏心调整

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基于多图像融合的MEMS显微三维形貌重构 被引量：11

15

作者 丁汛 赵跃进 丁玉奎 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期1275-1285,共11页

针对微型机电系统(MEMS)的三维测量,显微镜或光学轮廓干涉仪等传统方法存在显微测量精度低、设备成本高等问题,且当结构含有较多断裂面时,解包裹算法效果欠佳。本文提出一种基于多图像融合的MEMS显微三维测量方法。不同于多角度显微三... 针对微型机电系统(MEMS)的三维测量,显微镜或光学轮廓干涉仪等传统方法存在显微测量精度低、设备成本高等问题,且当结构含有较多断裂面时,解包裹算法效果欠佳。本文提出一种基于多图像融合的MEMS显微三维测量方法。不同于多角度显微三维测量方法,本研究首先利用单目显微镜,通过单一轴向移动获取一系列测量目标深度信息的单一角度图像,并利用去雾算法对图像进行预处理,实现了去噪和有效信息提取的目的;然后通过聚焦测度算法获取待测对象的深度信息;最后利用数据处理软件进行三维拟合。基于上述原理,本文以焦平面阵列(FPA)作为待测目标进行了测量实验。本文提出的三维测量方法和图像处理算法可获得更准确的FPA形貌,可清晰显示反射面与支腿部分及反射面上的释放孔,测得FPA的支腿长度为110.6μm,每个反射面的像元尺寸为120.8μm×70.8μm,与设计值基本吻合,解决了断裂面难以测量的问题,同时降低了微结构测量的难度和成本。单目显微镜单向移动的多图像融合测量技术对MEMS的三维形貌测量具有重要意义,去雾算法在图像融合与三维测量的图像处理也有很好的应用价值。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS) 三维形貌测量 显微镜 聚焦测度 去雾算法

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后置分光瞳激光差动共焦曲率半径测量 被引量：8

16

作者 李彦宏 杨帅 +2 位作者 唐顺 赵维谦 邱丽荣 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第10期2287-2295,共9页

为了提高曲率半径的测量精度,提出后置分光瞳激光差动共焦曲率半径测量方法,研究了后置分光瞳差动共焦测量原理和虚拟针孔定位算法。在共焦测量系统的探测光路中通过D型光阑遮挡,使一半测量光束聚焦在焦面探测CCD,采用虚拟针孔定位算法... 为了提高曲率半径的测量精度,提出后置分光瞳激光差动共焦曲率半径测量方法,研究了后置分光瞳差动共焦测量原理和虚拟针孔定位算法。在共焦测量系统的探测光路中通过D型光阑遮挡,使一半测量光束聚焦在焦面探测CCD,采用虚拟针孔定位算法对该CCD探测的艾里斑进行分割焦斑差动相减归一化探测,然后利用差动共焦曲线的零点对被测件的“共焦”位置和“猫眼”位置进行精确定焦并测得它们之间的距离,最终实现曲率半径的高精度测量。实验结果表明:该方法测量的曲率半径为-121.2094 mm,测量重复性优于5×10^(-6),无需根据测量物镜和被测镜的参数进行硬件调整,不仅满足曲率半径高精度测量的需求,还简化了光路结构,缩减了研制装调成本,为曲率半径的高精度、快速测量提供了新途径。 展开更多

关键词 激光测量 分光瞳 曲率半径 虚拟针孔 差动共焦 单路离轴探测

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基于线阵CCD像素数提取的高速运动目标形变测量方法研究 被引量：6

17

作者 徐成强 王营博 +3 位作者 曹杰 郝群 袁诗翥 姜雅慧 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2019年第6期1097-1102,共6页

针对传统光学成像测量方法对高速运动目标成像帧频低、像质模糊,难以满足对目标形变高精度测量的缺点,提出一种基于线阵CCD像素数提取的高速运动目标形变测量方法。该方法利用线阵CCD高分辨率、高帧频等优势,通过提取线阵CCD输出目标强... 针对传统光学成像测量方法对高速运动目标成像帧频低、像质模糊,难以满足对目标形变高精度测量的缺点,提出一种基于线阵CCD像素数提取的高速运动目标形变测量方法。该方法利用线阵CCD高分辨率、高帧频等优势,通过提取线阵CCD输出目标强度--像素曲线斜率变化率最大点来获取目标所占像素数N的像素数提取方法,同时采用DMD模拟高速运动目标形变过程,配合基于线阵CCD像素数提取的高速运动目标形变测量方法进行形变测量实验验证。实验结果显示采用该方法对V=450 km/h的高速运动目标进行形变量测量时,可以满足目标形变测量偏差小于0.3 mm,标准差小于0.5 mm,相对误差最低0.01%。实现了高速运动目标形变量的准确测量,为高速磨损测试、高温形变测试、高压形态测试等奠定了基础。 展开更多

关键词 光学测量 线阵CCD 像素数提取法 DMD模拟高速运动目标 形变测量 系统标定

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激光差动共焦反射式超大曲率半径测量系统研制 被引量：7

18

作者 卜乙禄 李琦 +3 位作者 李彦宏 邱丽荣 周桃庚 赵维谦 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2020年第5期1-8,共8页

针对球面超大曲率半径测量中存在的测量精度低、抗环境干扰能力差的难题,研制了一套激光差动共焦反射式超大曲率半径测量系统。该系统采用反射式测量光路,利用差动共焦响应曲线对被测件的猫眼和反射位置进行高精度定位,并用测长干涉仪... 针对球面超大曲率半径测量中存在的测量精度低、抗环境干扰能力差的难题,研制了一套激光差动共焦反射式超大曲率半径测量系统。该系统采用反射式测量光路,利用差动共焦响应曲线对被测件的猫眼和反射位置进行高精度定位,并用测长干涉仪记录位置信息,最后结合物镜顶焦距解算出超大曲率半径值。理论分析与实验表明,该系统定焦精度高,测量范围大,抗环境干扰能力强,相对测量误差优于2×10^-4,-15 m超大曲率半径测量结果的重复性可达1.2×10^-4,实现了超大曲率半径的高精度测量。 展开更多

关键词 差动共焦 反射式 超大曲率半径 定焦 测量系统

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基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量 被引量：6

19

作者 宁悦文 胡摇 +1 位作者 陶鑫 郝群 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2021年第4期698-702,共5页

光学元件轴向间距测量对精密光学系统的定位和装调具有重要意义。针对现有色散共焦测量系统中色散物镜结构复杂、色散范围小的问题,提出基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量方法,将传统折射共焦镜头几百毫米的轴向尺寸和复杂的... 光学元件轴向间距测量对精密光学系统的定位和装调具有重要意义。针对现有色散共焦测量系统中色散物镜结构复杂、色散范围小的问题,提出基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量方法,将传统折射共焦镜头几百毫米的轴向尺寸和复杂的装调需求简化为数毫米的单片镜,简化了系统结构。透镜间距和厚度测量实验表明,间距测量误差为10μm。 展开更多

关键词 色散共焦 间距测量 偏振衍射 光学元件

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基于部分补偿干涉的非球面顶点曲率半径加工误差测量 被引量：6

20

作者 胡摇 李腾飞 +1 位作者 郝群 常旭 《计量学报》 CSCD 北大核心 2020年第8期903-908,共6页

测量非球面顶点曲率半径加工误差对预估成像系统质量和计算机辅助装校有重要意义。传统的部分补偿干涉系统只能测量非球面面形误差,即被测非球面与标称非球面之间的不规则偏差。通过分析系统剩余波前特定像差项随被测面位置的变化关系,... 测量非球面顶点曲率半径加工误差对预估成像系统质量和计算机辅助装校有重要意义。传统的部分补偿干涉系统只能测量非球面面形误差,即被测非球面与标称非球面之间的不规则偏差。通过分析系统剩余波前特定像差项随被测面位置的变化关系,基于部分补偿干涉原理,提出了一种非球面顶点曲率半径加工误差测量方法,测得非球面顶点曲率半径加工误差。仿真实验结果表明,所提出的误差测量方法具有可行性,其原理相对测量精度不低于0.003%。 展开更多

关键词 计量学 顶点曲率半径 非球面 干涉测量 加工误差

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