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红外光学材料硫化锌衬底上沉积金刚石膜的研究
被引量：
3
1
作者
高旭辉
吕反修
+3 位作者
魏俊俊
李成明
陈广超
余怀之
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第9期1398-1400,共3页
采用微波等离子体化学气相沉积法,在预镀陶瓷过渡层的硫化锌衬底上沉积金刚石膜。在以前的实验中,我们发现在陶瓷过渡层上沉积金刚石膜极其困难,但采用金刚石诱导形核方法后,我们已经在过渡层/硫化锌试样表面获得了很小面积(约1mm宽的...
采用微波等离子体化学气相沉积法,在预镀陶瓷过渡层的硫化锌衬底上沉积金刚石膜。在以前的实验中,我们发现在陶瓷过渡层上沉积金刚石膜极其困难,但采用金刚石诱导形核方法后,我们已经在过渡层/硫化锌试样表面获得了很小面积(约1mm宽的环状区域)的金刚石形核。本文对前期的诱导形核工作进行了一定改进,目前已经使形核生长范围大大增加,沉积面积超过原来10倍。此外,本文对金刚石/过渡层/硫化锌试样的红外透过特性以及金刚石膜质量等进行了评价。
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关键词
硫化锌(ZnS)
金刚石膜
陶瓷过渡层
诱导形核
微波等离子体CVD
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职称材料
题名
红外光学材料硫化锌衬底上沉积金刚石膜的研究
被引量：
3
1
作者
高旭辉
吕反修
魏俊俊
李成明
陈广超
余怀之
机构
北京
科技
大学材料学院
北京有色金属研究总院国晶辉红外科技有限公司
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第9期1398-1400,共3页
文摘
采用微波等离子体化学气相沉积法,在预镀陶瓷过渡层的硫化锌衬底上沉积金刚石膜。在以前的实验中,我们发现在陶瓷过渡层上沉积金刚石膜极其困难,但采用金刚石诱导形核方法后,我们已经在过渡层/硫化锌试样表面获得了很小面积(约1mm宽的环状区域)的金刚石形核。本文对前期的诱导形核工作进行了一定改进,目前已经使形核生长范围大大增加,沉积面积超过原来10倍。此外,本文对金刚石/过渡层/硫化锌试样的红外透过特性以及金刚石膜质量等进行了评价。
关键词
硫化锌(ZnS)
金刚石膜
陶瓷过渡层
诱导形核
微波等离子体CVD
Keywords
zinc sulfide （ZnS）
diamond film
ceramic interlayer
induced nucleation
microwave plasma CVD
分类号
TN213 [电子电信—物理电子学]
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
红外光学材料硫化锌衬底上沉积金刚石膜的研究
高旭辉
吕反修
魏俊俊
李成明
陈广超
余怀之
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
3
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