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新型热电材料综述
被引量：
16
1
作者
王超
张蕊
+10 位作者
杜欣
张晨贵
栾春红
姜晶
胡强
王军喜
杜志游
李天笑
马铁中
严冬
尹志尧
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第1期133-150,共18页
热电材料能够实现热能和电能之间的相互转化,利用温度差进行发电是一种潜在的能源利用的方法,另外利用电学对热量的转化,可以进行温度的精确控制,在传感器和集成电路中有着广阔的应用前景。该文综述了近年来几类热电材料的种类、发展历...
热电材料能够实现热能和电能之间的相互转化,利用温度差进行发电是一种潜在的能源利用的方法,另外利用电学对热量的转化,可以进行温度的精确控制,在传感器和集成电路中有着广阔的应用前景。该文综述了近年来几类热电材料的种类、发展历程和研究现状,包括碲化物、硫族层状化合物、氧化物、笼合物,Half-Heusler材料,方钴矿材料、Zintl相热电材料以及铜硫族类材料。另外,对热电材料的应用做了一些归纳总结,希望能扩展热电器件的应用,实现未来的规模产业化。
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关键词
新型热电材料
功率因子
SEEBECK系数
热电器件
热电性能
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职称材料
氮化物外延生长在线监测技术
被引量：
3
2
作者
王超
张泽展
+6 位作者
陈磊
王飞
胡俊
梁莹林
姜晶
杨萍
马铁中
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期650-658,共9页
金属有机化学气相沉积外延技术(MOCVD)是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术,是大规模生产第三代半导体光电子、微电子器件的重要方法,也是制备半导体异质结、超晶格、量子阱等低维结构的主要手段。第三代半导体材...
金属有机化学气相沉积外延技术(MOCVD)是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术,是大规模生产第三代半导体光电子、微电子器件的重要方法,也是制备半导体异质结、超晶格、量子阱等低维结构的主要手段。第三代半导体材料的飞速发展对MOCVD设备提出了更高的要求,MOCVD在线监测技术作为控制生长过程的前提,面临更多的挑战。该文综合介绍和比较了当今各种MOCVD在线监测技术的发展情况,并对MOCVD在线监测技术中的关键技术——红外测温、生产信息、曲率测量、光致发光做出简要介绍和看法。
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关键词
曲率测量
生长信息
红外测温
MOCVD在线监测技术
光致发光
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职称材料
题名
新型热电材料综述
被引量：
16
1
作者
王超
张蕊
杜欣
张晨贵
栾春红
姜晶
胡强
王军喜
杜志游
李天笑
马铁中
严冬
尹志尧
机构
电子
科技
大学微电子与固体电子学院
电子
科技
大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
广东省中科宏微半导体设备
有限公司
中国科学院半导体研究所
中微半导体设备(上海)
有限公司
北京智朗芯光科技有限公司
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第1期133-150,共18页
基金
国家自然科学基金(51672037
61604031)
+4 种基金
四川省科技计划(2014GZ0151
2016JQ0022)
中央高校基本科研业务费(ZYGX2013J115
ZYGX 2014J087
ZYGX2015J029)
文摘
热电材料能够实现热能和电能之间的相互转化,利用温度差进行发电是一种潜在的能源利用的方法,另外利用电学对热量的转化,可以进行温度的精确控制,在传感器和集成电路中有着广阔的应用前景。该文综述了近年来几类热电材料的种类、发展历程和研究现状,包括碲化物、硫族层状化合物、氧化物、笼合物,Half-Heusler材料,方钴矿材料、Zintl相热电材料以及铜硫族类材料。另外,对热电材料的应用做了一些归纳总结,希望能扩展热电器件的应用,实现未来的规模产业化。
关键词
新型热电材料
功率因子
SEEBECK系数
热电器件
热电性能
Keywords
new thermoelectric materials
power factor
seebeck coefficient
thermoelectric devices
thermoelectric properties
分类号
TN415 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
氮化物外延生长在线监测技术
被引量：
3
2
作者
王超
张泽展
陈磊
王飞
胡俊
梁莹林
姜晶
杨萍
马铁中
机构
电子
科技
大学微电子与固体电子学院
北京智朗芯光科技有限公司
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期650-658,共9页
基金
四川省科技计划(2014GZ0151
2016JQ0022)
中央高校基本科研业务费(ZYGX2013J115)
文摘
金属有机化学气相沉积外延技术(MOCVD)是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术,是大规模生产第三代半导体光电子、微电子器件的重要方法,也是制备半导体异质结、超晶格、量子阱等低维结构的主要手段。第三代半导体材料的飞速发展对MOCVD设备提出了更高的要求,MOCVD在线监测技术作为控制生长过程的前提,面临更多的挑战。该文综合介绍和比较了当今各种MOCVD在线监测技术的发展情况,并对MOCVD在线监测技术中的关键技术——红外测温、生产信息、曲率测量、光致发光做出简要介绍和看法。
关键词
曲率测量
生长信息
红外测温
MOCVD在线监测技术
光致发光
Keywords
curvature measurement
growth information
infrared temperature measurement
in-situ monitoring technology for MOCVD
PL
分类号
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型热电材料综述
王超
张蕊
杜欣
张晨贵
栾春红
姜晶
胡强
王军喜
杜志游
李天笑
马铁中
严冬
尹志尧
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
16
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
氮化物外延生长在线监测技术
王超
张泽展
陈磊
王飞
胡俊
梁莹林
姜晶
杨萍
马铁中
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
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职称材料
已选择
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