超灵敏度真空检漏技术进展 被引量：2

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作者 董云宁 闫睿 +11 位作者 梁进智 魏萌萌 余荣 崔健 崔玉妹 佟亚珍 王欢 王汐月 陈俊儒 杨传森 齐京 卢耀文 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期647-653,共7页

文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10^(-12)Pa·m^(3)/s的漏率进行检测的技术,它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限... 文章主要介绍国内外超灵敏度真空检漏技术的现状与发展。超灵敏度真空检漏是指对小于10^(-12)Pa·m^(3)/s的漏率进行检测的技术,它是高可靠长寿命真空器件封装的重要诊断手段。当前普通商用检漏仪受质谱分析下限和微小电流测量下限等因素的限制,其实际检漏下限一般为10-11 Pa·m^(3)/s量级,采用软件修正后显示的检漏下限可达10^(-12)Pa·m^(3)/s量级。为了解决对微小漏率的超高灵敏度检测,国际上自上世纪60年代开始相关技术研究,主要围绕检漏下限的延伸和检漏精度的提高两方面开展工作。国内突破了多项技术难题,最新研制出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的超灵敏度真空检漏仪,并将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内。 展开更多

关键词 超灵敏度真空检漏 累积比较法 检漏下限 检漏精度 真空器件

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真空保温杯常用材料放气特性研究 被引量：4

2

作者 连小晓 杨传森 +5 位作者 吴端 袁园 陈春 闫睿 严春满 卢耀文 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期485-489,共5页

材料放气是真空保温杯真空度保持和寿命的重要技术指标。本文利用新型基于转换气路法材料放气率测试系统,对钛合金钢、304不锈钢和银等三种真空保温杯常用材料在室温、200℃、400℃真空条件下的放气率和放气成分等特性进行了研究。结果... 材料放气是真空保温杯真空度保持和寿命的重要技术指标。本文利用新型基于转换气路法材料放气率测试系统,对钛合金钢、304不锈钢和银等三种真空保温杯常用材料在室温、200℃、400℃真空条件下的放气率和放气成分等特性进行了研究。结果表明,室温下三种材料的放气率由小到大依次为钛合金钢、304不锈钢和银,放气成分均主要以H2分子和H2O分子为主;在温度升高过程中,三种材料放出的H2O分子含量均会缓慢减少,但是放出的H2分子含量的变化趋势却有所不同,304不锈钢和银的H2分子含量随温度升高呈现先增大后减小的趋势,而钛合金钢中H2分子含量则快速增大。因此,在真空除气工艺中,304不锈钢和银的烘烤温度设置400℃以下即可,而钛合金钢内部H2分子含量较高,较难除去,除气工艺应高于400℃。 展开更多

关键词 真空保温杯 材料放气率 放气成分 转换气路法

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一种高真空零部件放气率测试装置的研制 被引量：2

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作者 胡晓月 陈俊儒 +6 位作者 胡庆生 杨传森 姜娟 徐海洋 许昌军 宋春尧 刘迪 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第6期477-487,共11页

材料的真空放气特性是聚变装置需重点研究和关注的内容。为了研究大尺寸组件在聚变装置真实运行环境下的放气特性,基于对称结构流导法针对性设计研制了一套放气率测试装置,该装置能模拟聚变装置烘烤温度条件(室温~300℃)且测量范围覆盖(... 材料的真空放气特性是聚变装置需重点研究和关注的内容。为了研究大尺寸组件在聚变装置真实运行环境下的放气特性,基于对称结构流导法针对性设计研制了一套放气率测试装置,该装置能模拟聚变装置烘烤温度条件(室温~300℃)且测量范围覆盖(10^(-5)~10^(-9)) Pa·m^(3)·s^(-1)量级。此外,重点针对样品室的加热、冷却系统进行热仿真验证以确保零部件在放气率测试时能模拟其在托卡马克真空室内烘烤过程中的温升工况。装置样品室尺寸为φ500 mm×600 mm,主体材料使用SUS316L不锈钢且内表面采用超高真空工艺处理。样品室设计有加热平台和真空室外壁的联合加热模块,以实现对被测样品25℃~300℃的加热;样品室隔热层外侧设有水冷系统以保障降温效率和人员接触安全性。对样品室的烘烤、冷却设计进行热仿真分析发现:隔热层起到了有效的保温隔热作用,内外层温差近150℃;水冷系统起到显著的降温效果,使人员接触的最外层区域温度不超过55℃;在联合加热模式下的升温效率和加热能力优于仅使用样品台热传导升温。初步测试表明,装置可实现稳定的可控烘烤性能,本底放气成分分析表明该装置本底清洁运转良好,可以满足聚变装置零部件的放气率测试要求。 展开更多

关键词 放气率 样品室 结构设计 仿真分析 装置研制

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便携式分压力质谱计校准装置的性能测试研究

4

作者 姚雪琦 董云宁 +4 位作者 闫睿 陈俊儒 丁双 康朋伟 卢耀文 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期306-311,共6页

文章对新研制的便携式分压力质谱计校准装置的部分性能进行了测试。采用参考电离真空计测量了装置的极限真空度;对于流导值在10^(-2) m^(3)/s的圆孔型抽气流导元件,通过精确测量其直径和厚度的尺寸,采用公式计算得到分子流条件下的流导... 文章对新研制的便携式分压力质谱计校准装置的部分性能进行了测试。采用参考电离真空计测量了装置的极限真空度;对于流导值在10^(-2) m^(3)/s的圆孔型抽气流导元件,通过精确测量其直径和厚度的尺寸,采用公式计算得到分子流条件下的流导值;对于孔径在微米量级的进气流导元件,采用定容衰减压力的方法通过实验测量确定其流导值;采用同一真空计分别测量抽气流导元件两端的气体压力获得返流比。测试研究结果表明:装置的极限真空度为4.8×10^(-7) Pa,抽气流导元件对N2的流导值为1.37×10^(-2) m^(3)/s,对N_(2)的返流比为0.193,两个进气流导元件对N_(2)的流导值分别为3.81×10^(-6) m^(3)/s、4.50×10^(-8) m^(3)/s,综合分析可得装置对N_(2)的校准范围为(4×10^(-1)~5×10^(-6))Pa。 展开更多

关键词 校准装置 分压力 性能测试 质谱计 便携式

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一种适用于(10~10^(5))Pa气体质谱分析的可控取样系统的设计

5

作者 杨传森 郭宇扬 +7 位作者 刘迪 郑阳阳 卢耀文 王欢 宋春尧 陈俊儒 丁双 陈千睿 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第7期535-541,共7页

为了满足半导体制造、航天工程等领域对常压和中低真空气体取样的需求,文章设计了一种适用于(10~10^(5))Pa气体质谱分析的可控取样系统。系统由真空抽气模块、节流取样模块、真空测量模块、温控模块和数采与控制模块组成。通过毛细取样... 为了满足半导体制造、航天工程等领域对常压和中低真空气体取样的需求,文章设计了一种适用于(10~10^(5))Pa气体质谱分析的可控取样系统。系统由真空抽气模块、节流取样模块、真空测量模块、温控模块和数采与控制模块组成。通过毛细取样管和压电微调阀的两级压力可控衰减,结合双小孔流导元件的抽气流量控制,系统能够在不同压力下稳定采集气体样品。实验验证表明,该系统能够在(10~1×10^(5))Pa的待取样气体压力范围内,将质谱分析室压力稳定在(1×10^(−4)~1×10^(−3))Pa之间。系统可以与多种型号质谱计耦合,为宽压力范围气体质谱分析提供了较为可靠的取样解决方案。 展开更多

关键词 真空低压气体 压力衰减 可控取样 质谱分析

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一种(10^(5)~10^(-8))Pa真空计校准装置的设计 被引量：2

6

作者 卢耀文 吴端 +6 位作者 王欢 杨传森 魏萌萌 梁明超 陈静 闫睿 陈俊儒 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期29-34,共6页

针对(10^(5)~10^(-8))Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置。装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成。设计的校准室为球形容器,通过串联分子泵组和离子泵抽气,在校准... 针对(10^(5)~10^(-8))Pa复合型真空计的一次性校准需求,设计出相应的校准装置。装置主要由校准室、真空测量模块、抽气与供气模块、标准气体流量计、烘烤模块等部分组成。设计的校准室为球形容器,通过串联分子泵组和离子泵抽气,在校准室中获得10^(-9) Pa量级的极限真空度。真空计的校准通过静态比较法、动态比较法及标准流量法实现,静态比较法采用电容薄膜真空计作为参考标准实现(10^(5)~10^(-1))Pa的校准范围;动态比较法用磁悬浮转子真空计作为参考标准实现(10^(-1)~10^(-4))Pa的校准范围;标准气体流量法采用(10^(-5)~10-9)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计提供标准气体流量,实现(10^(-4)~10^(-8))Pa的校准范围。本文设计的校准装置范围为(10^(5)~10^(-8))Pa,合成标准不确定度估计为0.9%~2.3%,解决了对宽量程真空计的一次性校准技术问题。 展开更多

关键词 复合型真空计 参考标准 校准 不确定度

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超灵敏度检漏仪校准技术进展 被引量：1

7

作者 王汐月 卢耀文 +5 位作者 陈千睿 董云宁 魏萌萌 杨传森 闫睿 齐京 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期390-395,共6页

本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具,当前报道的检漏下限可达10−16 Pa·m^(3)/s,但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取... 本文综述了国际上超灵敏度检漏仪的校准技术进展。超灵敏度检漏仪是高可靠长寿命真空器件封装的重要检漏工具,当前报道的检漏下限可达10−16 Pa·m^(3)/s,但检漏结果的正确性是器件可靠性的关键因素。超灵敏度检漏结果正确性主要取决于检漏仪的自身性能和计量校准,对于后者,国际上先后采用标准漏孔、可变漏率的白金丝漏孔及标准气体流量计作为参考标准来提高检漏结果的正确性。采用标准漏孔的方法是使用当前下限仅为10−11 Pa·m^(3)/s的漏孔作为参考标准,由于漏孔自身的偏差及检漏采用质谱计跨越几个数量级的线性递推方法,在小于10−14 Pa·m^(3)/s范围的检漏结果偏差可达一个数量级;采用可变漏率的白金丝漏孔作为参考标准,可提供(10−10~10−12)Pa·m^(3)/s范围内漏率,与标准漏孔相比对检漏结果的正确性有一定提升;采用近期新研制的宽量程标准气体流量计作为参考标准,可提供下限为10−16 Pa·m3/s范围内漏率,解决了目前超灵敏度检漏仪全量程的校准难题,将检漏结果的合成标准不确定度减小到15%以内,提升了长寿命真空器件的可靠性。 展开更多

关键词 超灵敏度检漏 标准气体流量计 校准 真空器件 长寿命 高可靠

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非蒸散型吸气剂泵(NEG)对N_(2)气的抽气特性研究 被引量：1

8

作者 陈千睿 魏萌萌 +6 位作者 卢耀文 杨传森 丁双 闫睿 杨振 康朋伟 陈又琦 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第2期79-83,共5页

非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制... 非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制的系统采用标准流量抽速测试方法,采用固定流导法流量计提供(10^(-5)~10^(-8))Pam^(3)/s的标准气体流量,可在测试罩内获得(10^(-2)~10^(-5))Pa的气体压力下实现抽速测试。实验结果表明,NEG泵激活后处于最佳抽气状态,当抽速下降之后可在超高真空条件下放置一段时间将抽速恢复至初始状态,但泵的整体抽气性能发生一定变化;当泵连续抽气时,抽速随着吸气量的增大而逐渐减小,随着泵抽气压力的增大而减小。 展开更多

关键词 非蒸散型吸气剂泵 抽速 激活 标准气体流量

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热阴极电离真空计电参数校准装置电流源设计与仿真分析

9

作者 邵壮 延峰 +4 位作者 柏向春 董云宁 宋瑞海 魏萌萌 卢耀文 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期297-303,共7页

针对热阴极电离真空计电参数校准装置中电流源设计的关键技术,本文提出一种用于真空计电参数校准的内置单运放电流源及其非理想化低频等效模型,并通过PSPICE仿真对电路性能进行分析。装置适用于100MQ^100GQ负载条件,负载为1GQ时输出电... 针对热阴极电离真空计电参数校准装置中电流源设计的关键技术,本文提出一种用于真空计电参数校准的内置单运放电流源及其非理想化低频等效模型,并通过PSPICE仿真对电路性能进行分析。装置适用于100MQ^100GQ负载条件,负载为1GQ时输出电流相对变化率为0.3×10%解决了当前热阴极电离真空计电参数校准装置电流源不适用于低位离子流采样的超高电离真空计的问题,达到校准不同型号热阴极电离真空计离子流放大器的效果,为电参数校准装置的研制提供理论依据及参考。 展开更多

关键词 电离真空计 校准装置 电参数 PSPICE仿真

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一种105~10-7 Pa现场真空计校准装置的设计

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作者 卢耀文 柏向春 +7 位作者 代建设 吉建丽 黄成功 闫睿 田虎林 魏萌萌 陈俊儒 周青枝 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第6期531-535,共5页

针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校... 针对现场真空校准需求,设计出校准范围为105~10-7 Pa的现场真空计校准装置。装置集成了比较和标准流导两种校准方法,采用模块化设计减小了装置的体积和重量;通过触摸屏或计算机实现自动化数据采集及操作控制,装置能够自动出具并上传校准证书;校准室通过特殊工艺处理及双极串联抽气机组抽气,设计的极限真空度为10-8 Pa量级;采用流导法和定容法设计出10-2~10-10 Pa·m3/s的复合型标准气体流量计,解决了宽量程标准流量的提供问题。本现场真空校准装置设计的校准范围为105~10-7 Pa,外形尺寸不超过500 mm×500 mm×600 mm,主体重量小于50 kg,具有校准范围宽、便携、自动化程度高等优点。 展开更多

关键词 真空计 现场校准 便携式 校准范围

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适用于真空系统的压电微调阀门流导测试和调节特性研究

11

作者 杨传森 郭宇扬 +6 位作者 宋春尧 刘迪 丁双 卢耀文 王欢 齐鲁平 杨轶行 《真空科学与技术学报》 2025年第8期711-717,共7页

针对真空系统中压电微调阀流导调控稳定性不足的问题,文章设计了一种基于定容法的流导特性测试系统,研究了激励电压幅值、波形及施加历史对典型压电微调阀流导特性的影响。实验结果表明,压电微调阀的流导−激励电压循环曲线存在显著回滞... 针对真空系统中压电微调阀流导调控稳定性不足的问题,文章设计了一种基于定容法的流导特性测试系统,研究了激励电压幅值、波形及施加历史对典型压电微调阀流导特性的影响。实验结果表明,压电微调阀的流导−激励电压循环曲线存在显著回滞效应,降压过程流导值较升压过程均显著偏高,其机制可能与压电陶瓷电畴结构弛豫和残余应力释放的时间依赖性相关。通过预加100 V高电压激励,典型激励电压下的流导值重复性显著提升,说明了预激励可优化电畴结构排列和残余应力分布一致性并降低形变滞后效应。该研究揭示了激励电压施加历史对压电微调阀流导调节性能的关键影响,为提升真空系统压力控制精度提供了实验依据和思路。 展开更多

关键词 压电微调阀 流导 激励电压 压力控制

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一种下限为5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏装置 被引量：11

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作者 卢耀文 李得天 +6 位作者 齐京 董云宁 王欢 闫睿 杨传森 延峰 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期1-5,共5页

为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10^(-11)Pa·m^3/s... 为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10^(-11)Pa·m^3/s,通过软件修正实现的检漏下限可达10^(-12)Pa·m^3/s;基于累积法的超灵敏度检漏下限可达5×10^(-15)Pa·m^3/s,该方法采用商用漏孔作为参考标准,通过线性递推得到的检漏结果偏差可达一个数量级以上,严重影响特殊应用领域器件的高可靠性和寿命。本文在原有的研究基础上,提出累积比较检漏方法。在特殊加工的累积室中对示漏He气进行累积,使其形成的分压力在质谱计测量范围内;通过对累积室内壁的特殊工艺处理获得了更小的示漏气体本底压力;用新研制的下限为5×10^(-16)Pa·m^3/s高精度流量计作为参考标准比较获得被检测器件漏率,避免传统采用自身偏差较大的漏孔作为参考标准和使用线性递推得到漏率引入的较大偏差。实验结果证明,所研制装置的检漏范围为10-12～5×10^(-16)Pa·m^3/s,检漏结果的不确定度为5. 3%～13%。 展开更多

关键词 超灵敏度检漏 累积比较法 标准气体流量 非线性

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一种(10^(-5)-10^(-16))Pa·m^(3)/s标准气体流量计的设计 被引量：6

13

作者 卢耀文 董云宁 +8 位作者 杨传森 徐宇杰 闫睿 王汐月 陈俊儒 魏萌萌 郝慧萍 齐京 查良镇 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期422-426,共5页

本文设计出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题。采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10^(-10)m^(3)/s的分子流... 本文设计出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题。采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10^(-10)m^(3)/s的分子流导;采用电容薄膜真空计作为参考标准测量压力,将直接供气、膨胀衰减压力及标准混合气体三种方法集成在一起,为流导元件入口获得(10^(3)-10^(-6)) Pa的示漏He气分压力;采用10^(-8)m^(3)/s和10^(-10)m^(3)/s量级的两套分子流导元件,结合流导元件入口压力获得了(10^(-5)-10^(-16)) Pa·m^(3)/s的标准气体流量,设计的标准气体流量计估计合成标准不确定度为1.2%-2.8%。 展开更多

关键词 超灵敏度检漏仪 固定流导法 分子流导 标准气体流量计

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一种下限为10^(-10)Pa·m^3/s的正压漏孔校准装置 被引量：5

14

作者 卢耀文 刘志宏 +6 位作者 闫荣鑫 齐京 王欢 田虎林 闫睿 杨传森 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期1019-1024,共6页

为了解决漏率小于10^(-8)Pa·m^3/s正压漏孔(示漏气体为He气)的校准问题,研制出下限可达10^(-10)Pa·m^3/s的校准装置。提出基于累积比较的正压漏孔校准方法,通过向漏孔入口充入100 kPa高纯度N_2气模拟大气压环境,将漏孔泄漏后... 为了解决漏率小于10^(-8)Pa·m^3/s正压漏孔(示漏气体为He气)的校准问题,研制出下限可达10^(-10)Pa·m^3/s的校准装置。提出基于累积比较的正压漏孔校准方法,通过向漏孔入口充入100 kPa高纯度N_2气模拟大气压环境,将漏孔泄漏后的示漏气体引入累积室经过一段时间的累积来提高浓度,采用膨胀衰减压力和分子流进样将混合气体引入质谱分析室,提出对质谱分析室中示漏气体进行累积模式的测量方法,通过四极质谱计作为比较器分别测量漏孔泄漏形成的混合气及配置的标准混合气体在累积模式下离子流的变化率得到漏孔漏率,解决了无法测量微小示漏气体离子流信号的技术瓶颈;采用全金属密封结构和特殊的工艺处理解决了累积室中延伸下限由于本底示漏气体的影响因素,采用体积小于1 mL的取样室通过直接取样和膨胀衰减压力取样获得与漏孔累积后形成同等数量的标准混合气体,解决了微小漏率正压漏孔校准所用标准混合气体获得。为此基于累积比较法的正压漏孔校准方法实现了10^(-8)～10^(-10)Pa·m^3/s的校准范围,合成标准不确定度不超过7. 5%。 展开更多

关键词 正压漏孔 累积比较法 分子流动态进样 微小漏率漏孔

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一种基于CF400接口分子泵抽速测试装置 被引量：5

15

作者 卢耀文 董云宁 +6 位作者 闫睿 余荣 杨传森 王汐月 宋瑞海 徐宇杰 陈俊儒 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期416-420,共5页

针对国产化大抽速分子泵测试需求,研制出基于CF400接口分子泵抽速测试装置。采用量程为10~10-9 Pam3/s的复合型标准气体流量计提供可变的标准流量,仅用流量法实现了测试罩内气体压力处于10-1~10-7 Pa范围的抽速测试,而传统测试方法采用... 针对国产化大抽速分子泵测试需求,研制出基于CF400接口分子泵抽速测试装置。采用量程为10~10-9 Pam3/s的复合型标准气体流量计提供可变的标准流量,仅用流量法实现了测试罩内气体压力处于10-1~10-7 Pa范围的抽速测试,而传统测试方法采用标准流导法和流量法相结合实现该范围的测试;装置集成了在线真空校准功能,用磁悬浮转子真空计作为参考标准,实现在10-1~10-4 Pa范围内对测试罩内气体压力的直接测量及副参考标准电离真空计的在线校准。研制的装置与原有测试方法相比较优点主要为:采用一种方法实现了分子泵抽速测试;在线校准技术解决了原有测量过程电离真空计灵敏度系数发生变化引起测量结果出现的较大偏差;实现对不同气体抽速的直接测量,避免原方法只能给出等效氮气测试结果的不足。实验结果证明,装置对分子泵抽速的测试范围为3000~5000 L/s,测量结果的合成标准不确定度为2.2%~4.4%。 展开更多

关键词 抽速 分子泵 CF400接口 标准气体流量计

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基于虚拟仪器的分子泵抽速自动测试软件设计 被引量：6

16

作者 赵博文 延峰 +4 位作者 杨传森 卢耀文 董云宁 邵壮 梁西银 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期619-624,共6页

针对当前分子泵抽速测试装置自动化程度低,压强实验点难以调节等问题,设计出一套分子泵抽速自动测试软件,以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信实现对真空计、气体质量流量控制计、温度控制仪的数据采集和设备控制;采用PID控制方法调... 针对当前分子泵抽速测试装置自动化程度低,压强实验点难以调节等问题,设计出一套分子泵抽速自动测试软件,以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信实现对真空计、气体质量流量控制计、温度控制仪的数据采集和设备控制;采用PID控制方法调节气体质量流量控制计的通气量,实现对压强实验点的稳定控制;采用继电型PID参数自整定技术提高算法对系统的适应性、该软件提高了分子泵抽速测量工作中数据采集和压强调节的自动化程度,减少了人员操作对测量过程的影响,使测试过程更加科学规范,对分子泵抽速测试技术研究和应用具有一定参考价值。 展开更多

关键词 分子泵 抽速测试 LABVIEW PID自整定

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一种基于对称结构的固体材料放气率测试装置设计 被引量：2

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作者 余荣 魏萌萌 +11 位作者 闫睿 李京 陈俊儒 陈千睿 张吉峰 丁双 杨传森 姚雪琦 康朋伟 王欢 卢耀文 齐京 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第7期577-582,共6页

为了解决小于10-8Pa·m^(3)/s的固体材料放气率测试问题,设计出一种基于对称结构的测试装置。通过对称结构的两个相同真空室分别作为样品室和空载参考室,避免了采用一个真空室先后分别测量空载时本底放气和放置样品后放气重复过程... 为了解决小于10-8Pa·m^(3)/s的固体材料放气率测试问题,设计出一种基于对称结构的测试装置。通过对称结构的两个相同真空室分别作为样品室和空载参考室,避免了采用一个真空室先后分别测量空载时本底放气和放置样品后放气重复过程及引入的较大测量偏差;采用耐高温特殊石英材料制成的低放气率真空室,为实现放气率比较小的固体材料测试解决了真空室本底放气的限制条件;设计出用同一台真空计通过转换气路分别测量样品室和空载室内压力的对称结构,避免了原有动态流量法采用两台真空计分别测量时由于灵敏度的差异而引入的较大偏差;装置集成了标准气体流量计用于真空计的在线校准,提高了测量结果的准确性;采用的对称结构陶瓷加热炉,对样品实现25℃~1000℃范围的加热,设计的装置对材料放气量的测量范围为5×10^(-6)Pa·m^(3)/s~5×10^(-10)Pa·m^(3)/s。 展开更多

关键词 放气率 固体材料 对称结构 样品室 参考室 动态流量法

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一种(10^-1~10^-10)Pa·m3/s标准气体流量计的设计 被引量：5

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作者 卢耀文 吴端 +7 位作者 陈春 杨传森 闫睿 梁明超 陈静 陈俊儒 王汐月 周青枝 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第7期674-678,共5页

为了解决真空计量检测对标准气体流量的需求,设计出(10^-1~10^-10)Pa·m3/s的标准气体流量计。装置主要由定容法流量模块、流导法流量模块、供气与抽气模块、保温模块、控制模块组成,通过定容法和流量法提供标准气体流量。采用容积... 为了解决真空计量检测对标准气体流量的需求,设计出(10^-1~10^-10)Pa·m3/s的标准气体流量计。装置主要由定容法流量模块、流导法流量模块、供气与抽气模块、保温模块、控制模块组成,通过定容法和流量法提供标准气体流量。采用容积约为5和0.1 L的真空室作为定容室,同时为流导元件入口提供一定压力的气体;仅用两台电容薄膜真空计作为参考标准测量真空室气体压力,通过PLC触摸屏或计算机进行测量数据采集及运行控制;采用激光在铂金片上打孔并进行真空镀膜的工艺获得10^-10 m^3/s流导元件。设计的装置外形尺寸不超过500 mm×400 mm×500 mm,主体重量小于35 kg,提供的流量范围为(10^-1~10^-10)Pa·m3/s,具有成本低、操作方便、便携等优点。 展开更多

关键词 气体流量计 参考标准 检漏仪 漏孔 计量

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