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基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
被引量：
4
1
作者
邹丽芸
张院春
+4 位作者
彭良强
黄军容
伊福廷
张菊芳
韩勇
《电加工与模具》
2004年第B05期39-41,共3页
比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极 ,再用该工具电极进行微细电火花加工 ,在不锈钢上加工出异...
比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极 ,再用该工具电极进行微细电火花加工 ,在不锈钢上加工出异形微细孔。并通过进一步调整电火花加工工艺参数 ,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度。
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关键词
微细加工
LIGA技术
电火花加工
活动掩膜法
固定掩膜法
PMMA胶
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职称材料
题名
基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
被引量：
4
1
作者
邹丽芸
张院春
彭良强
黄军容
伊福廷
张菊芳
韩勇
机构
北京市机电院高技术股份有限公司
中国科学
院
高能物理研究所
出处
《电加工与模具》
2004年第B05期39-41,共3页
基金
北京市自然科学基金资助项目 (3 0 2 2 0 0 5 )
国家 863高技术研究发展计划资助项目 (2 0 0 2AA43 115 0和 2 0 0 3AA40 40 40 )
文摘
比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构 ,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光。结合LIGA技术和微细电火花加工的优点 ,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极 ,再用该工具电极进行微细电火花加工 ,在不锈钢上加工出异形微细孔。并通过进一步调整电火花加工工艺参数 ,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度。
关键词
微细加工
LIGA技术
电火花加工
活动掩膜法
固定掩膜法
PMMA胶
Keywords
micromachining
LIGA
EDM
分类号
TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
邹丽芸
张院春
彭良强
黄军容
伊福廷
张菊芳
韩勇
《电加工与模具》
2004
4
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参考文献
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