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基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究
被引量：
4
1
作者
朱成林
韩晓泉
+1 位作者
冯泽斌
胡明庆
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第5期533-538,共6页
针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器.在此基础上分别对两种控制器进行仿真和实验.结果表明与常规PID控制器相比,Smith-PID预估复...
针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器.在此基础上分别对两种控制器进行仿真和实验.结果表明与常规PID控制器相比,Smith-PID预估复合控制器超调量减少41%,调节时间减少51%.所设计控制器具有稳健性强、超调量小及调节时间短等优点,可为准分子激光器的运行提供良好的温度控制环境。
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关键词
激光技术
温度控制
SMITH预估补偿
准分子激光器
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职称材料
高精度真空材料放气测试研究
被引量：
13
2
作者
罗艳
王魁波
+1 位作者
吴晓斌
王宇
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期251-257,共7页
材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空...
材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空度最低达6.8×10^(-9)Pa。低的本底真空进一步降低了系统的放气率测量下限,三种方法的测量下限依次可达:6.20×10^(-12),2.90×10^(-12)和2.78×10^(-12)Pa·m^3/(s·cm^2)。针对三种方法,对应选取聚四氟乙烯(PTFE)、304和316 L不锈钢作为样品,测试了不同时间的放气率。测试结果表明:三类样品10 h内的总放气率分别在10^(-8),10^(-11)和10-12Pa·m^3/(s·cm^2)数量级,对应的最大测量不确定度分别为9.4%,12.5%和13.8%。结合四极质谱计,进一步获得样品的放气组分和PTFE各组分的放气分率,总放气率和放气分率均随抽气时间的增加而下降。
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关键词
真空材料
放气率
测试方法
极限真空
放气组分
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职称材料
一种基于零电压开关的脉冲调制等离子体激发系统的研究
被引量：
1
3
作者
张鑫
曹沛
+2 位作者
马英麒
周翊
徐向宇
《科学技术与工程》
北大核心
2016年第22期64-68,共5页
设计实现了一种利用占空比和频率可调节的高电压脉冲调制技术激发大气压等离子体射流的装置;该装置基于蓄电池供电,采用自激式零电压开关技术来产生高频高压正弦波输出;然后利用频率及占空比调节方式实现对等离子体激发的有效控制。射...
设计实现了一种利用占空比和频率可调节的高电压脉冲调制技术激发大气压等离子体射流的装置;该装置基于蓄电池供电,采用自激式零电压开关技术来产生高频高压正弦波输出;然后利用频率及占空比调节方式实现对等离子体激发的有效控制。射流喷嘴采用介质阻挡式设计,由石英管、圆柱电极和圆环电极三部分组成;其中石英管内电极为接地电极。从大气压等离子体射流的发射光谱分析显示,射流中含有大量激发态的、化学活性较高的氩、氮、氧等分子结构,可用于材料表面的清洁消毒等场合。该装置结构紧凑、便携易用、功能丰富,具有重要的应用价值。
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关键词
零电压开关
高电压脉冲调制
大气压等离子体射流
发射光谱
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职称材料
题名
基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究
被引量：
4
1
作者
朱成林
韩晓泉
冯泽斌
胡明庆
机构
中国科学院光电
研究
院光电
工程
部
北京市准分子激光工程技术研究中心
中国科学院大学材料科学与光电
技术
学院
熊猫电子集团有限公司
出处
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第5期533-538,共6页
基金
国家科技重大专项02专项
2013ZX02202~~
文摘
针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器.在此基础上分别对两种控制器进行仿真和实验.结果表明与常规PID控制器相比,Smith-PID预估复合控制器超调量减少41%,调节时间减少51%.所设计控制器具有稳健性强、超调量小及调节时间短等优点,可为准分子激光器的运行提供良好的温度控制环境。
关键词
激光技术
温度控制
SMITH预估补偿
准分子激光器
Keywords
laser techniques
temperature control
Smith prediction compensation
excimer laser
分类号
TN248 [电子电信—物理电子学]
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
高精度真空材料放气测试研究
被引量：
13
2
作者
罗艳
王魁波
吴晓斌
王宇
机构
中国科学院光电
研究
院
北京市准分子激光工程技术研究中心
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期251-257,共7页
基金
国家科技重大专项(2012ZX02702001)
文摘
材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空度最低达6.8×10^(-9)Pa。低的本底真空进一步降低了系统的放气率测量下限,三种方法的测量下限依次可达:6.20×10^(-12),2.90×10^(-12)和2.78×10^(-12)Pa·m^3/(s·cm^2)。针对三种方法,对应选取聚四氟乙烯(PTFE)、304和316 L不锈钢作为样品,测试了不同时间的放气率。测试结果表明:三类样品10 h内的总放气率分别在10^(-8),10^(-11)和10-12Pa·m^3/(s·cm^2)数量级,对应的最大测量不确定度分别为9.4%,12.5%和13.8%。结合四极质谱计,进一步获得样品的放气组分和PTFE各组分的放气分率,总放气率和放气分率均随抽气时间的增加而下降。
关键词
真空材料
放气率
测试方法
极限真空
放气组分
Keywords
Vacuum material
Outgassing rate
Test method
Ultimate vacuum
Outgassing species
分类号
TB74 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
一种基于零电压开关的脉冲调制等离子体激发系统的研究
被引量：
1
3
作者
张鑫
曹沛
马英麒
周翊
徐向宇
机构
中国科学院光电
研究
院
北京市准分子激光工程技术研究中心
中国科学院大学
出处
《科学技术与工程》
北大核心
2016年第22期64-68,共5页
文摘
设计实现了一种利用占空比和频率可调节的高电压脉冲调制技术激发大气压等离子体射流的装置;该装置基于蓄电池供电,采用自激式零电压开关技术来产生高频高压正弦波输出;然后利用频率及占空比调节方式实现对等离子体激发的有效控制。射流喷嘴采用介质阻挡式设计,由石英管、圆柱电极和圆环电极三部分组成;其中石英管内电极为接地电极。从大气压等离子体射流的发射光谱分析显示,射流中含有大量激发态的、化学活性较高的氩、氮、氧等分子结构,可用于材料表面的清洁消毒等场合。该装置结构紧凑、便携易用、功能丰富,具有重要的应用价值。
关键词
零电压开关
高电压脉冲调制
大气压等离子体射流
发射光谱
Keywords
zero voltage switching technique
pulse modulation
plasma excitation system
emission spectrum
分类号
TM835.4 [电气工程—高电压与绝缘技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究
朱成林
韩晓泉
冯泽斌
胡明庆
《量子电子学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
高精度真空材料放气测试研究
罗艳
王魁波
吴晓斌
王宇
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
13
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
一种基于零电压开关的脉冲调制等离子体激发系统的研究
张鑫
曹沛
马英麒
周翊
徐向宇
《科学技术与工程》
北大核心
2016
1
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职称材料
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