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透明硬脆材料激光剥离关键问题研究(特邀)
被引量：
1
1
作者
赵树森
何宏智
+5 位作者
韩世飞
姜璐
杜家宝
于海娟
林学春
张谷令
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024年第1期17-30,共14页
透明硬脆材料由于其优异的力学性能、热稳定性、耐腐蚀性以及光电性能,广泛应用于半导体与电子领域。传统透明硬脆材料切片方法效率低、材料损耗大,制约了硬脆材料的推广应用。激光剥离技术是近年来新兴的一种透明硬脆材料切片新方法,...
透明硬脆材料由于其优异的力学性能、热稳定性、耐腐蚀性以及光电性能,广泛应用于半导体与电子领域。传统透明硬脆材料切片方法效率低、材料损耗大,制约了硬脆材料的推广应用。激光剥离技术是近年来新兴的一种透明硬脆材料切片新方法,较传统金刚线切割方法大幅提升硬脆材料的切片效率和材料利用率,目前已发展成为硬脆材料激光加工领域学术研究与产业应用的焦点。文中深入分析透明硬脆材料激光剥离物理过程,归纳激光剥离过程关键科学问题:透明硬脆材料对激光的非线性吸收、激光作用下材料内部微观结构演化与缺陷扩展规律,以及激光光场调控对材料改质影响机制等。基于这些科学问题,综述了近年来激光剥离不同类型透明硬脆材料的研究进展,目前用于激光剥离的材料已涵盖了SiC、Si、GaN、金刚石等半导体材料,蓝宝石、多晶Al_(2)O_(3)、氧化锆等陶瓷材料,激光剥离技术已发展出超快激光双脉冲诱导剥离、超快激光-化学辅助剥离、多激光复合剥离等。激光剥离物理过程是一个典型的激光-材料-热学-力学多学科交叉问题,尽管在实验结果方面获得了显著突破和迅猛发展,但目前对于工艺机理仍缺乏深入的理论与数值建模研究。未来透明硬脆材料激光剥离技术将会朝着百微米以下超薄厚度剥离、改质层低损伤、工艺自适应等方向发展,将为半导体与电子等领域快速发展提供更大的技术支撑。
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关键词
超快激光
硬脆材料
剥离
非线性吸收
缺陷扩展
光场调控
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职称材料
腔内倍频锁模的Nd∶LuVO_4绿光激光器（英文）
2
作者
李备
于海娟
+3 位作者
何超见
齐瑶瑶
陈寒
林学春
《中国科学院大学学报（中英文）》
CSCD
北大核心
2018年第4期515-520,共6页
介绍腔内倍频锁模的Nd∶LuVO_4-LBO绿光激光器,用SESAM作为可饱和吸收体,获得76 MHz、17.6 ps、385 mW的绿光输出,从泵浦光到绿光的光光转化效率为4.1%。实验中观察到绿光对SESAM锁模扰动的现象,分析其原因并成功地解决了该问题。
关键词
腔内倍频
Nd:LuVO4
锁模绿光激光器
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职称材料
题名
透明硬脆材料激光剥离关键问题研究(特邀)
被引量：
1
1
作者
赵树森
何宏智
韩世飞
姜璐
杜家宝
于海娟
林学春
张谷令
机构
中国科学院半导体
研究
所
全固态
光源实验室
北京市全固态激光先进制造工程技术研究中心
中央民族大学理学院
中国科学院大学材料科学与光电
技术
学院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024年第1期17-30,共14页
基金
国家重点研发计划项目(2022YFB3605800)
国家自然科学基金项目(62225507,U2033211)。
文摘
透明硬脆材料由于其优异的力学性能、热稳定性、耐腐蚀性以及光电性能,广泛应用于半导体与电子领域。传统透明硬脆材料切片方法效率低、材料损耗大,制约了硬脆材料的推广应用。激光剥离技术是近年来新兴的一种透明硬脆材料切片新方法,较传统金刚线切割方法大幅提升硬脆材料的切片效率和材料利用率,目前已发展成为硬脆材料激光加工领域学术研究与产业应用的焦点。文中深入分析透明硬脆材料激光剥离物理过程,归纳激光剥离过程关键科学问题:透明硬脆材料对激光的非线性吸收、激光作用下材料内部微观结构演化与缺陷扩展规律,以及激光光场调控对材料改质影响机制等。基于这些科学问题,综述了近年来激光剥离不同类型透明硬脆材料的研究进展,目前用于激光剥离的材料已涵盖了SiC、Si、GaN、金刚石等半导体材料,蓝宝石、多晶Al_(2)O_(3)、氧化锆等陶瓷材料,激光剥离技术已发展出超快激光双脉冲诱导剥离、超快激光-化学辅助剥离、多激光复合剥离等。激光剥离物理过程是一个典型的激光-材料-热学-力学多学科交叉问题,尽管在实验结果方面获得了显著突破和迅猛发展,但目前对于工艺机理仍缺乏深入的理论与数值建模研究。未来透明硬脆材料激光剥离技术将会朝着百微米以下超薄厚度剥离、改质层低损伤、工艺自适应等方向发展,将为半导体与电子等领域快速发展提供更大的技术支撑。
关键词
超快激光
硬脆材料
剥离
非线性吸收
缺陷扩展
光场调控
Keywords
ultrafast laser
hard and brittle materials
splitting
nonlinear absorption
defect extension
optical field modulation
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
腔内倍频锁模的Nd∶LuVO_4绿光激光器（英文）
2
作者
李备
于海娟
何超见
齐瑶瑶
陈寒
林学春
机构
中国科学院半导体
研究
所
全固态
光源实验室
中国科学院大学材料科学与光电
技术
学院
北京市全固态激光先进制造工程技术研究中心
出处
《中国科学院大学学报（中英文）》
CSCD
北大核心
2018年第4期515-520,共6页
基金
Supported by the National Key R&D program(2016YFB0402105)
National Natural Science Foundation of China(61675192,61622507,61605195,51672263)
文摘
介绍腔内倍频锁模的Nd∶LuVO_4-LBO绿光激光器,用SESAM作为可饱和吸收体,获得76 MHz、17.6 ps、385 mW的绿光输出,从泵浦光到绿光的光光转化效率为4.1%。实验中观察到绿光对SESAM锁模扰动的现象,分析其原因并成功地解决了该问题。
关键词
腔内倍频
Nd:LuVO4
锁模绿光激光器
Keywords
intracavity frequency-doubled
Nd：LuVO4
mode-locked green laser
分类号
TN248.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
透明硬脆材料激光剥离关键问题研究(特邀)
赵树森
何宏智
韩世飞
姜璐
杜家宝
于海娟
林学春
张谷令
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
腔内倍频锁模的Nd∶LuVO_4绿光激光器（英文）
李备
于海娟
何超见
齐瑶瑶
陈寒
林学春
《中国科学院大学学报（中英文）》
CSCD
北大核心
2018
0
在线阅读
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职称材料
已选择
0
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