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金属有机化合物汽相淀积技术制备布拉格反射镜确定外延厚度的方法 被引量:1
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作者 盖红星 陈建新 +5 位作者 邓军 廉鹏 俞波 李建军 韩军 沈光地 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期54-57,共4页
外延膜层厚度的精确性对垂直腔面发射激光器(VCSEL)是十分重要的。应用传输矩阵方法分析了厚度偏差对半导体布拉格反射镜(DBR)反射谱的影响,并利用这种影响提出了一种金属有机化合物汽相淀积(MOCVD)制备布拉格反射镜精确确定外延厚度的... 外延膜层厚度的精确性对垂直腔面发射激光器(VCSEL)是十分重要的。应用传输矩阵方法分析了厚度偏差对半导体布拉格反射镜(DBR)反射谱的影响,并利用这种影响提出了一种金属有机化合物汽相淀积(MOCVD)制备布拉格反射镜精确确定外延厚度的方法。据此,应用MOCVD生长了980 nmVCSEL外延片,其反射谱中心波长为982 nm。结果表明,应用这种方法能够实现材料厚度、MOCVD系统生长参数的定标以及为VCSEL的材料生长提供可靠的依据。 展开更多
关键词 金属有机化合物汽相淀积 布拉格反射镜 反射谱 膜厚测定
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大功率发光二极管可靠性和寿命评价试验方法 被引量:29
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作者 贺卫利 郭伟玲 +4 位作者 高伟 史辰 陈曦 吴娟 陈建新 《应用光学》 CAS CSCD 2008年第4期533-536,561,共5页
介绍了发光二极管(LED)的发展简史。提出可能影响LED可靠性的几种因素,主要有封装中的散热问题和LED本身材料缺陷。对于LED可靠性,主要方法是通过测试其寿命来分析其可靠性,一般采取加速实验的方法来测试推导LED寿命。介绍了根据加速应... 介绍了发光二极管(LED)的发展简史。提出可能影响LED可靠性的几种因素,主要有封装中的散热问题和LED本身材料缺陷。对于LED可靠性,主要方法是通过测试其寿命来分析其可靠性,一般采取加速实验的方法来测试推导LED寿命。介绍了根据加速应力(主要分为单一加速应力和复合加速应力2种)评价LED寿命的测试方法。在不同加速试验应力条件下测试了大功率LED可靠性,并建立了LED寿命的几种数学模型。最后根据具体实例,通过选择加速应力和试验方法,给出具体推导LED寿命的数学公式。 展开更多
关键词 发光二极管 寿命评价试验方法 加速应力 数学模型
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(Al)GaInP材料的MOCVD生长研究 被引量:3
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作者 俞波 李建军 +6 位作者 盖红星 牛南辉 邢艳辉 邓军 韩军 廉鹏 沈光地 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期181-183,共3页
对可见光半导体光电子材料Ga0. 5In0. 5P、(AlXGa1-X)0. 5In0. 5P的MOCVD生长进行了研究。使用X射线双晶衍射和PL谱测量结合的手段,研究了生长速度和生长温度对材料质量的影响。根据测试结果优化了(Al)GaInP材料的生长速度和生长温度。... 对可见光半导体光电子材料Ga0. 5In0. 5P、(AlXGa1-X)0. 5In0. 5P的MOCVD生长进行了研究。使用X射线双晶衍射和PL谱测量结合的手段,研究了生长速度和生长温度对材料质量的影响。根据测试结果优化了(Al)GaInP材料的生长速度和生长温度。为研制出高性能的650nm半导体激光器打下良好的材料基础。 展开更多
关键词 金属有机化合物汽相淀积 ALGAINP GAINP
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蓝宝石衬底的斜切角对GaN薄膜特性的影响 被引量:1
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作者 牛南辉 王怀兵 +7 位作者 刘建平 刘乃鑫 邢艳辉 李彤 张念国 韩军 邓军 沈光地 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1914-1916,共3页
利用金属有机物化学气相沉积技术在具有斜切角度的蓝宝石衬底(0~0.3°)上生长了非故意掺杂GaN薄膜,并采用显微镜、X射线双晶衍射、光荧光及霍尔技术对外延薄膜的表面形貌、晶体质量、光学及电学特性进行了分析。结果表明,采... 利用金属有机物化学气相沉积技术在具有斜切角度的蓝宝石衬底(0~0.3°)上生长了非故意掺杂GaN薄膜,并采用显微镜、X射线双晶衍射、光荧光及霍尔技术对外延薄膜的表面形貌、晶体质量、光学及电学特性进行了分析。结果表明,采用具有斜切角度的衬底,可以有效改善GaN外延薄膜的表面形貌、降低位错密度、提高GaN的晶体质量及其光电特性,并且存在一个衬底最优斜切角度0.2°,此时外延生长出的GaN薄膜的表面形貌和晶体质量最好。 展开更多
关键词 氮化镓 蓝宝石衬底 斜切角度 DCXRD MOCVD
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多层Ti/Al电极结构对Ga N/AlGaN HEMT欧姆接触特性的影响 被引量:1
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作者 于宁 王红航 +5 位作者 刘飞飞 杜志娟 王岳华 宋会会 朱彦旭 孙捷 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期219-223,共5页
研究了多层Ti/Al结构电极对GaN/AlGaN HEMT欧姆接触特性及表面形态的影响。采用传输线模型对各结构电极的比接触电阻率进行了测量,采用扫描电子显微镜对电极表面形态进行扫描。实验结果显示,在同样的退火条件下,随着Ti/Al层数的增加,比... 研究了多层Ti/Al结构电极对GaN/AlGaN HEMT欧姆接触特性及表面形态的影响。采用传输线模型对各结构电极的比接触电阻率进行了测量,采用扫描电子显微镜对电极表面形态进行扫描。实验结果显示,在同样的退火条件下,随着Ti/Al层数的增加,比接触电阻率逐渐减小,表面形态趋于光滑;降低Ti/Al层的厚度会加剧Au向内扩散而增加比接触电阻率,但能稍微改善表面形态;Ti比例过高会影响Ti N的形成导致比接触电阻率增加,但能明显改善表面形态。 展开更多
关键词 高电子迁移率晶体管 欧姆接触 退火 比接触电阻率
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AlGaInP红光LED的GaP窗口层自组装法粗化
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作者 朱彦旭 邓琛 +1 位作者 徐晨 邢艳辉 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期698-701,共4页
利用高分子共混物的自组装机理,将聚苯乙烯(polystyrene,PS)和聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA)进行混合形成共混物,并进行微相分离和自组装,然后将共混物放置到超声装置中,利用超声波辅助,使自组装微粒直径和位置分布... 利用高分子共混物的自组装机理,将聚苯乙烯(polystyrene,PS)和聚甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA)进行混合形成共混物,并进行微相分离和自组装,然后将共混物放置到超声装置中,利用超声波辅助,使自组装微粒直径和位置分布相对均匀,形成用于刻蚀微纳结构的微掩模。最后利用湿法腐蚀,在LED的GaP窗口层上制作出纳米结构的粗化层。通过SEM、显微镜手段,优化了刻蚀条件。测量了器件的光强、光功率以及I-V曲线,结果表明,使用高分子自组装进行粗化,可以在保持电压及波长特性的条件下,提高光输出功率19.3%。 展开更多
关键词 发光二极管 粗化 磷化镓 自组装 窗口层
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蒸发速率对ITO光学常数的影响
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作者 李天璘 朱彦旭 +2 位作者 徐晨 高国 沈光地 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期56-59,共4页
由于ITO具有复杂的微观结构和吸收机制,很难准确测量出它的光学常数。采用变入射角光度椭偏仪(VASE)建立了一套简单的拟合模型,成功拟合出ITO光学常数在可见光范围内随波长的变化关系。并在此基础上分析了电子束蒸发法蒸发速率对ITO薄... 由于ITO具有复杂的微观结构和吸收机制,很难准确测量出它的光学常数。采用变入射角光度椭偏仪(VASE)建立了一套简单的拟合模型,成功拟合出ITO光学常数在可见光范围内随波长的变化关系。并在此基础上分析了电子束蒸发法蒸发速率对ITO薄膜光学常数的影响。根据Hall效应测量了ITO在不同蒸发速率下的载流子浓度,分析了ITO光学常数随蒸发速率增加而增加的机理。 展开更多
关键词 ITO 椭偏仪 电子束蒸发法 蒸发速率
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