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新型Al金属化系统微波器件EB结的可靠性研究
1
作者 郭伟玲 李志国 +1 位作者 孙英华 程尧海 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期28-32,共5页
对具有Ａｌ－Ｓｉ－Ｐｄ／ＴｉＮ／Ｔｉ／ＰｔＳｉ／Ｓｉ（样品Ａ）和Ａｌ－Ｓｉ－Ｐｄ／Ｔｉ／ＰｔＳｉ／Ｓｉ（样品Ｂ）两种新型金属化结构的微波管的ＥＢ结在不同温度、相同电流条件下进行了加速寿命试验，得到其中值寿命（ＭＴＦ）... 对具有Ａｌ－Ｓｉ－Ｐｄ／ＴｉＮ／Ｔｉ／ＰｔＳｉ／Ｓｉ（样品Ａ）和Ａｌ－Ｓｉ－Ｐｄ／Ｔｉ／ＰｔＳｉ／Ｓｉ（样品Ｂ）两种新型金属化结构的微波管的ＥＢ结在不同温度、相同电流条件下进行了加速寿命试验，得到其中值寿命（ＭＴＦ）相差近一倍，激活能分别为０．９２和０．７９ｅＶ。 展开更多
关键词 金属化系统 微波器件 可靠性
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GaAs MESFET欧姆接触可靠性研究进展 被引量：2
2
作者 穆甫臣 李志国 +4 位作者 郭伟玲 张万荣 孙英华 程尧海 严永鑫 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第5期6-12,28,共8页
报道了ｎ型ＧａＡｓ上欧姆接触的制备及其可靠性，以及基于欧姆接触退化的ＧａＡｓＭＥＳ－ＦＥＴ的失效分析。结果表明，ｎ型ＧａＡｓ上欧姆接触的制备已日趋成熟，接触电阻有所减小，表面形貌及热稳定性方面都得到了很大程度的提高，... 报道了ｎ型ＧａＡｓ上欧姆接触的制备及其可靠性，以及基于欧姆接触退化的ＧａＡｓＭＥＳ－ＦＥＴ的失效分析。结果表明，ｎ型ＧａＡｓ上欧姆接触的制备已日趋成熟，接触电阻有所减小，表面形貌及热稳定性方面都得到了很大程度的提高，接触材料也日趋丰富，ＧａＡｓＭＥＳＦＥＴ的失效分析方法也有明显改进。 展开更多
关键词 MESFET 欧姆接触 可靠性 砷化镓
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