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用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制
被引量：
1
1
作者
董典红
徐晨
+5 位作者
邹德恕
李兰
杨道虹
张剑铭
阳启明
沈光地
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2005年第1期23-26,共4页
超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的。这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇)。从腐蚀速率、腐蚀表面质量、腐蚀停特性、腐蚀边缘形貌及腐蚀工艺的角度分析比较了两种腐...
超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的。这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇)。从腐蚀速率、腐蚀表面质量、腐蚀停特性、腐蚀边缘形貌及腐蚀工艺的角度分析比较了两种腐蚀系统,分别制作出了约1μm厚的平整超薄硅膜,并研究了不同掩膜材料在腐蚀液中的抗蚀性,为高灵敏度红外探测器的制作奠定了工艺基础。
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关键词
超薄硅膜
各向异性腐蚀
高灵敏度红外探测器
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职称材料
题名
用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制
被引量：
1
1
作者
董典红
徐晨
邹德恕
李兰
杨道虹
张剑铭
阳启明
沈光地
机构
北京工业大学电子与信息控制工程学院北京市光电子技术实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2005年第1期23-26,共4页
基金
北京市教委科技发展项目(KM200310005009)
文摘
超薄、平整的硅膜对于制作高灵敏度红外探测器是非常重要的。这种超薄硅膜的各向异性腐蚀技术,包括有机溶液EPW和无机溶液KOH及KOH+IPA(异丙醇)。从腐蚀速率、腐蚀表面质量、腐蚀停特性、腐蚀边缘形貌及腐蚀工艺的角度分析比较了两种腐蚀系统,分别制作出了约1μm厚的平整超薄硅膜,并研究了不同掩膜材料在腐蚀液中的抗蚀性,为高灵敏度红外探测器的制作奠定了工艺基础。
关键词
超薄硅膜
各向异性腐蚀
高灵敏度红外探测器
Keywords
Anisotropy
Etching
Infrared detectors
Membranes
Thin films
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制
董典红
徐晨
邹德恕
李兰
杨道虹
张剑铭
阳启明
沈光地
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2005
1
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