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基于SiO_(2)/ZnS的宽带反射镜垂直腔面发射激光器研究
1
作者
闫晓东
苏金宝
+3 位作者
吴博
刘莹
邓军
解意洋
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第7期155-164,共10页
研究了具有SiO_(2)/ZnS宽带反射镜的垂直腔面发射激光器(VCSEL)。通过仿真分析了SiO_(2)/ZnS材料组合的分布式布拉格反射镜(DBR)结构,结果表明该DBR结构可通过较少周期数实现宽反射带特性。通过磁控溅射技术在室温下沉积SiO_(2)/ZnS DBR...
研究了具有SiO_(2)/ZnS宽带反射镜的垂直腔面发射激光器(VCSEL)。通过仿真分析了SiO_(2)/ZnS材料组合的分布式布拉格反射镜(DBR)结构,结果表明该DBR结构可通过较少周期数实现宽反射带特性。通过磁控溅射技术在室温下沉积SiO_(2)/ZnS DBR,反射谱测试结果显示,SiO_(2)/ZnS DBR的反射带宽可达209 nm。同时,在VCSEL器件表面沉积了中心波长为850 nm的DBR结构,所制备的VCSEL在室温下的阈值电流为0.5 mA,峰值功率为1.55 mW。DBR中心波长偏移50 nm以上的器件依旧可以实现稳定激光输出,且不影响其P-I-V特性和光谱特性。文中研究的宽带DBR拥有较大的波长容差,显著降低了DBR生长过程中的工艺精度要求,使得宽带反射镜VCSEL的设计与制造更加灵活。
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关键词
垂直腔面发射激光器
宽带布拉格反射镜
SiO_(2)/ZnS
磁控溅射
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职称材料
题名
基于SiO_(2)/ZnS的宽带反射镜垂直腔面发射激光器研究
1
作者
闫晓东
苏金宝
吴博
刘莹
邓军
解意洋
机构
北京工业大学信息科学与技术学院光电子技术教育部重点实验室
出处
《红外与激光工程》
北大核心
2025年第7期155-164,共10页
基金
北京市自然科学基金项目(Z220005,4244103)
北京高等学校卓越青年科学家计划资助项目(JWZQ20240102009)
+1 种基金
北京市教育委员会科研计划资助项目(KM202410005029)
北京市博士后工作经费资助项目(2024-ZZ-25)。
文摘
研究了具有SiO_(2)/ZnS宽带反射镜的垂直腔面发射激光器(VCSEL)。通过仿真分析了SiO_(2)/ZnS材料组合的分布式布拉格反射镜(DBR)结构,结果表明该DBR结构可通过较少周期数实现宽反射带特性。通过磁控溅射技术在室温下沉积SiO_(2)/ZnS DBR,反射谱测试结果显示,SiO_(2)/ZnS DBR的反射带宽可达209 nm。同时,在VCSEL器件表面沉积了中心波长为850 nm的DBR结构,所制备的VCSEL在室温下的阈值电流为0.5 mA,峰值功率为1.55 mW。DBR中心波长偏移50 nm以上的器件依旧可以实现稳定激光输出,且不影响其P-I-V特性和光谱特性。文中研究的宽带DBR拥有较大的波长容差,显著降低了DBR生长过程中的工艺精度要求,使得宽带反射镜VCSEL的设计与制造更加灵活。
关键词
垂直腔面发射激光器
宽带布拉格反射镜
SiO_(2)/ZnS
磁控溅射
Keywords
vertical cavity surface emitting laser
broadband bragg reflector
SiO_(2)/ZnS
magnetron sputtering
分类号
TN248.4 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于SiO_(2)/ZnS的宽带反射镜垂直腔面发射激光器研究
闫晓东
苏金宝
吴博
刘莹
邓军
解意洋
《红外与激光工程》
北大核心
2025
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