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压电谐振式音叉陀螺结构设计与仿真
1
作者
陈光伟
张一飞
+1 位作者
赵前程
曲发义
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025年第4期45-49,共5页
针对静电陀螺需刻蚀亚微米电容间隙和大直流偏置电压的问题,提出了一种采用压电薄膜换能的谐振式音叉陀螺结构。理论分析了该结构的差分驱动原理、压电检测原理以及陀螺所受冲击载荷特性,并且使用有限元软件COMSOL对该压电陀螺结构进行...
针对静电陀螺需刻蚀亚微米电容间隙和大直流偏置电压的问题,提出了一种采用压电薄膜换能的谐振式音叉陀螺结构。理论分析了该结构的差分驱动原理、压电检测原理以及陀螺所受冲击载荷特性,并且使用有限元软件COMSOL对该压电陀螺结构进行了仿真分析。模态仿真结果表明:陀螺的驱动模态和检测模态的谐振频率分别为263.9 kHz和263.4 kHz,两者频差为0.5 kHz;标度系数仿真结果显示陀螺的电流灵敏度约为5.87 pA/[(°)·s^(-1)];根据冲击仿真结果,陀螺结构的最大应力约为57.3 MPa、最大位移量约为1.3μm,证明该结构有较好的抗冲击性能。此外,在300 K温度下仿真了该陀螺在不同真空度下的品质因数,结果表明其在压力为0.001 Pa时的品质因数约为100 721,在1atm压力时的品质因数约为6 531。
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关键词
压电传感器
压电陀螺
COMSOL仿真
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职称材料
基于15位像素级模数转换器的640×512规格中波红外成像用48 mW数字读出电路
被引量:
3
2
作者
于善哲
张雅聪
+6 位作者
牛育泽
周晔
卓毅
马丁
鲁文高
陈中建
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第4期785-791,共7页
提出了一种用于中波红外成像的基于15位像素级单斜率模数转换器的低功耗数字读出电路。像素级模数转换器采用一种新型功耗自适应的脉冲输出型比较器,只有当斜坡电压信号接近积分电压时,比较器才产生功耗。此外,比较器输出脉冲信号,降低...
提出了一种用于中波红外成像的基于15位像素级单斜率模数转换器的低功耗数字读出电路。像素级模数转换器采用一种新型功耗自适应的脉冲输出型比较器,只有当斜坡电压信号接近积分电压时,比较器才产生功耗。此外,比较器输出脉冲信号,降低了15位量化结果存储器上消耗的动态功耗。该存储器采用三管动态结构,仅占约54μm^(2)面积,以满足15μm像素中心距的面积约束。量化结果以电流模式读出到列级,避免相邻列总线间的电压串扰。基于0.18μm CMOS工艺,采用该结构,设计并制造了640×512规格的数字读出电路。测试结果表明,在120 Hz的帧频下,功耗仅为48 mW,总积分电容为740 fF,电荷处理能力为8.8 Me^(-)。在满阱状态,等效到积分电容的噪声电压为116μV,峰值信噪比为84 dB。
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关键词
红外焦平面阵列
数字读出电路
像素级单斜率模数转换器
功耗自适应比较器
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职称材料
压电检测陀螺薄膜材料分析及仿真研究
被引量:
2
3
作者
张一飞
陈光伟
赵前程
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第6期11-14,共4页
理论分析了影响压电微机电系统(MEMS)陀螺检测电压输出幅值的因素,结合MEMS领域常用的氮化铝(AlN)、氧化锌(ZnO)和锆钛酸铅(PZT)这3种压电薄膜材料,设计了一种微梁构型的检测陀螺。利用有限元软件COMSOL进行了陀螺的模态、功能的仿真分...
理论分析了影响压电微机电系统(MEMS)陀螺检测电压输出幅值的因素,结合MEMS领域常用的氮化铝(AlN)、氧化锌(ZnO)和锆钛酸铅(PZT)这3种压电薄膜材料,设计了一种微梁构型的检测陀螺。利用有限元软件COMSOL进行了陀螺的模态、功能的仿真分析。仿真结果显示:使用AlN柔度系数的陀螺结构驱动与检测模态固有频率频差为22 Hz;陀螺结构可以敏感z轴角速度输入;ZnO、AlN和PZT陀螺电压灵敏度分别为2.23,2.16,0.79μV/((°)·s^(-1)),AlN和ZnO的电压灵敏度大于PZT,且AlN的工艺性好于ZnO;因此,AlN在3种压电材料中最适合用于压电检测MEMS陀螺。
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关键词
压电陀螺
薄膜材料
COMSOL仿真
电压灵敏度
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职称材料
窄线宽外腔半导体激光器研究进展
被引量:
3
4
作者
秦晓敏
史田田
+2 位作者
王志洋
史航博
陈景标
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期63-78,共16页
窄线宽外腔半导体激光器具有结构简单、可调谐、噪声低等优势,广泛应用于量子精密测量、光通信、激光雷达等领域。根据外腔选频器件的不同,本文主要介绍光栅型激光器、干涉滤光型激光器、波导型激光器和法拉第激光器四类外腔半导体激光...
窄线宽外腔半导体激光器具有结构简单、可调谐、噪声低等优势,广泛应用于量子精密测量、光通信、激光雷达等领域。根据外腔选频器件的不同,本文主要介绍光栅型激光器、干涉滤光型激光器、波导型激光器和法拉第激光器四类外腔半导体激光器,分析各类激光器的基本结构与选频机制、介绍各自的优缺点以及国内外研究进展。其中,前三类激光器采用非量子器件进行频率选择,而法拉第激光器利用共振法拉第旋光效应选频,输出波长直接对应原子跃迁谱线,对激光二极管的电流与温度变化具有良好的鲁棒性。随后介绍外腔半导体激光器的应用情况,尤其是在精密测量领域中的典型应用。最后总结并展望窄线宽外腔半导体激光器的未来发展方向。
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关键词
外腔半导体激光器
法拉第激光器
窄线宽
精密测量
外腔选频器件。
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职称材料
题名
压电谐振式音叉陀螺结构设计与仿真
1
作者
陈光伟
张一飞
赵前程
曲发义
机构
东北林业
大学
机电工程
学院
北京大学
集成电路
学院
东北林业
大学
研究生院
出处
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025年第4期45-49,共5页
文摘
针对静电陀螺需刻蚀亚微米电容间隙和大直流偏置电压的问题,提出了一种采用压电薄膜换能的谐振式音叉陀螺结构。理论分析了该结构的差分驱动原理、压电检测原理以及陀螺所受冲击载荷特性,并且使用有限元软件COMSOL对该压电陀螺结构进行了仿真分析。模态仿真结果表明:陀螺的驱动模态和检测模态的谐振频率分别为263.9 kHz和263.4 kHz,两者频差为0.5 kHz;标度系数仿真结果显示陀螺的电流灵敏度约为5.87 pA/[(°)·s^(-1)];根据冲击仿真结果,陀螺结构的最大应力约为57.3 MPa、最大位移量约为1.3μm,证明该结构有较好的抗冲击性能。此外,在300 K温度下仿真了该陀螺在不同真空度下的品质因数,结果表明其在压力为0.001 Pa时的品质因数约为100 721,在1atm压力时的品质因数约为6 531。
关键词
压电传感器
压电陀螺
COMSOL仿真
Keywords
piezoelectric sensors
piezoelectric gyroscope
COMSOL simulation
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于15位像素级模数转换器的640×512规格中波红外成像用48 mW数字读出电路
被引量:
3
2
作者
于善哲
张雅聪
牛育泽
周晔
卓毅
马丁
鲁文高
陈中建
李向阳
机构
北京大学集成电路学院微米/纳米加工技术国家级重点实验室
中国科
学院
上海
技术
物理研究所中科院红外成像材料与器件
重点
实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第4期785-791,共7页
基金
Supported by the National Key Research and Development Program of China(2021YFA0715503)
the Open Foundation of Key Laboratory of Infrared Imaging Materials and Detectors Shanghai Institute of Technical Physics
Chinese Academy of Sciences。
文摘
提出了一种用于中波红外成像的基于15位像素级单斜率模数转换器的低功耗数字读出电路。像素级模数转换器采用一种新型功耗自适应的脉冲输出型比较器,只有当斜坡电压信号接近积分电压时,比较器才产生功耗。此外,比较器输出脉冲信号,降低了15位量化结果存储器上消耗的动态功耗。该存储器采用三管动态结构,仅占约54μm^(2)面积,以满足15μm像素中心距的面积约束。量化结果以电流模式读出到列级,避免相邻列总线间的电压串扰。基于0.18μm CMOS工艺,采用该结构,设计并制造了640×512规格的数字读出电路。测试结果表明,在120 Hz的帧频下,功耗仅为48 mW,总积分电容为740 fF,电荷处理能力为8.8 Me^(-)。在满阱状态,等效到积分电容的噪声电压为116μV,峰值信噪比为84 dB。
关键词
红外焦平面阵列
数字读出电路
像素级单斜率模数转换器
功耗自适应比较器
Keywords
IRFPA
DROIC
pixel-level single-slope ADC
power-self-adaptive pulse comparator
分类号
TN79 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
压电检测陀螺薄膜材料分析及仿真研究
被引量:
2
3
作者
张一飞
陈光伟
赵前程
机构
东北林业
大学
机电工程
学院
北京大学集成电路学院微米/纳米加工技术国家级重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第6期11-14,共4页
文摘
理论分析了影响压电微机电系统(MEMS)陀螺检测电压输出幅值的因素,结合MEMS领域常用的氮化铝(AlN)、氧化锌(ZnO)和锆钛酸铅(PZT)这3种压电薄膜材料,设计了一种微梁构型的检测陀螺。利用有限元软件COMSOL进行了陀螺的模态、功能的仿真分析。仿真结果显示:使用AlN柔度系数的陀螺结构驱动与检测模态固有频率频差为22 Hz;陀螺结构可以敏感z轴角速度输入;ZnO、AlN和PZT陀螺电压灵敏度分别为2.23,2.16,0.79μV/((°)·s^(-1)),AlN和ZnO的电压灵敏度大于PZT,且AlN的工艺性好于ZnO;因此,AlN在3种压电材料中最适合用于压电检测MEMS陀螺。
关键词
压电陀螺
薄膜材料
COMSOL仿真
电压灵敏度
Keywords
peizoelectric gyroscope
thin-film material
COMSOL simulation
voltage sensitivity
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
窄线宽外腔半导体激光器研究进展
被引量:
3
4
作者
秦晓敏
史田田
王志洋
史航博
陈景标
机构
北京大学
电子
学院
区域光纤通信网与新型光通信系统
国家
重点
实验室
量子电子学研究所
北京大学集成电路学院微米/纳米加工技术国家级重点实验室
合肥
国家
实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第2期63-78,共16页
基金
科技创新2030―“量子通信与量子计算机”重大项目(2021ZD0303200)
中国博士后科学基金项目(BX2021020)
温州市重大科技创新重点项目(ZG2020046)资助。
文摘
窄线宽外腔半导体激光器具有结构简单、可调谐、噪声低等优势,广泛应用于量子精密测量、光通信、激光雷达等领域。根据外腔选频器件的不同,本文主要介绍光栅型激光器、干涉滤光型激光器、波导型激光器和法拉第激光器四类外腔半导体激光器,分析各类激光器的基本结构与选频机制、介绍各自的优缺点以及国内外研究进展。其中,前三类激光器采用非量子器件进行频率选择,而法拉第激光器利用共振法拉第旋光效应选频,输出波长直接对应原子跃迁谱线,对激光二极管的电流与温度变化具有良好的鲁棒性。随后介绍外腔半导体激光器的应用情况,尤其是在精密测量领域中的典型应用。最后总结并展望窄线宽外腔半导体激光器的未来发展方向。
关键词
外腔半导体激光器
法拉第激光器
窄线宽
精密测量
外腔选频器件。
Keywords
external cavity diode laser
Faraday laser
narrow linewidth
precision measurement
external-cavity frequency selection device
分类号
TH714 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
压电谐振式音叉陀螺结构设计与仿真
陈光伟
张一飞
赵前程
曲发义
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025
0
在线阅读
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职称材料
2
基于15位像素级模数转换器的640×512规格中波红外成像用48 mW数字读出电路
于善哲
张雅聪
牛育泽
周晔
卓毅
马丁
鲁文高
陈中建
李向阳
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
压电检测陀螺薄膜材料分析及仿真研究
张一飞
陈光伟
赵前程
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
窄线宽外腔半导体激光器研究进展
秦晓敏
史田田
王志洋
史航博
陈景标
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
3
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职称材料
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