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应用背散射电子象进行金矿鉴定的实验研究 被引量:2
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作者 陈文雄 金凤英 徐军 《电子显微学报》 CAS CSCD 1989年第2期36-40,共5页
利用广角背散射电子探头和X射线能谱仪相结合的方法,在扫描电镜上进行了金矿鉴定的实验研究。从金矿采集的试样中发现了该矿中金的三种存在形式,即自然金、银金矿和碲金矿,並分析了它们的含金量的百分比。研究结果表明,这种方法比较简捷... 利用广角背散射电子探头和X射线能谱仪相结合的方法,在扫描电镜上进行了金矿鉴定的实验研究。从金矿采集的试样中发现了该矿中金的三种存在形式,即自然金、银金矿和碲金矿,並分析了它们的含金量的百分比。研究结果表明,这种方法比较简捷,在确定金矿中金的存在形式及其生成环境方面,可为了解和研究金矿提供有意义的信息,可以和化学分析方法相结合,作为鉴定金矿的一种辅助手段。文中对本方法的优缺点及今后进一步的工作提出了自己的看法。 展开更多
关键词 金矿 鉴定 电子象 背散射 电镜
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基于Ti掺杂硅量子点的MOSFET结构的电子显微学表征
2
作者 马圆 尤力平 +1 位作者 张小平 俞大鹏 《电子显微学报》 CAS CSCD 2007年第2期110-113,共4页
通过自组装生长并结合两步退火处理,在SiO2表面得到了Ti掺杂的Si纳米晶粒量子点。采用高分辨显微分析方法,X射线能谱线扫描和Z衬度扫描透射显微方法对一系列横截面样品进行详细研究,得到了量子点内部的成分分布,相关的试验数据吻合一致... 通过自组装生长并结合两步退火处理,在SiO2表面得到了Ti掺杂的Si纳米晶粒量子点。采用高分辨显微分析方法,X射线能谱线扫描和Z衬度扫描透射显微方法对一系列横截面样品进行详细研究,得到了量子点内部的成分分布,相关的试验数据吻合一致,验证了Si量子点MOSFET的结构模型。 展开更多
关键词 纳米晶MOSFET内存 扫描透射显微方法 量子点成分分布
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高分辨二次电子像中的成分衬度 被引量:6
3
作者 徐军 陈文雄 张会珍 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第1期1-5,共5页
从理论上阐明了获得高分辨二次电子成分衬度像的原理、条件和方法,并作了细致的实验验证,空间分辨率为3.3nm(V0=5kV),原子序数分辨率为0.03Z。实验研究样品为分子束外延AlGaAs量子阱激光器,其分层结构的最... 从理论上阐明了获得高分辨二次电子成分衬度像的原理、条件和方法,并作了细致的实验验证,空间分辨率为3.3nm(V0=5kV),原子序数分辨率为0.03Z。实验研究样品为分子束外延AlGaAs量子阱激光器,其分层结构的最小层宽为7nm,测得的层宽和透射电镜测量结果相吻合,由于透射电镜制样的复杂和困难。 展开更多
关键词 成分衬度 场发射扫描电镜 电子显微镜
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GaAs自旋极化电子源球形偏转器电子光学设计
4
作者 陈文雄 徐军 《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第4期613-614,共2页
关键词 砷化镓 极化电子源 球形偏转器 电子光学设计
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集成电路扫描电镜检测中的二次电子分析器的计算机模拟
5
作者 陈文雄 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第2期36-48,共13页
集成电路的扫描电镜检测和失效分析已日益显得重要,其中关键的部分是要设计性能良好的二次电子能量分析器,为此必须借助于计算机辅助设计。迄今为止发表的文献都是在大型机上进行辅助设计的。本文介绍为设计二次电子分析器编制的、可在... 集成电路的扫描电镜检测和失效分析已日益显得重要,其中关键的部分是要设计性能良好的二次电子能量分析器,为此必须借助于计算机辅助设计。迄今为止发表的文献都是在大型机上进行辅助设计的。本文介绍为设计二次电子分析器编制的、可在微型机上运行的程序包的功能。程序包中包括用有限差分法求解静电场的程序,静电场可以是旋转对称的,也可以是平面对称的;用Runge-Kutta法或Hamming法计算轨迹的程序;形成绘图文件的程序;用绘图仪描绘等位线和电子轨道的程序。程序有很高的精确度,在640KB内存下,可用到多至16000个网格点。一般情形下可有0.5%—0.1%的精度。10000个格点迭代一遍约需15秒;电场无误差时,轨迹可有5位有效数字的准确度。一条轨迹走1500步约需1分钟。程序是完全通用的,使用者只需输入用自由格式编好的数据文件。描绘出的等位线和轨迹十分光滑。文中对程序的精度通过四极透镜和八极透镜等计算作了检验,并应用于平面对称型二次电子分析器的实际模拟,得出了其中复杂的等位线分布和典型的电子轨迹,并分析了集成电路表面上方的局部微场对电子轨迹的影响,得出了正确的、令人满意的结果。 展开更多
关键词 集成电路 检测 扫描电镜 微机 模拟
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CuSn系超结构的电子衍射与能量分析 被引量:2
6
作者 刘津 叶荔蕾 叶恒强 《电子显微学报》 CAS CSCD 2007年第4期335-341,共7页
本文首先根据CuSn合金的选区电子衍射图构建出一种新的三次超结构的单胞和五次超结构η-′Cu6Sn5相与六角CuSn相的取向关系。然后对CuSn合金几种可能的超结构进行能量计算,发现晶胞中的空位占有率和优化前后几何变化率成线性关系,以及... 本文首先根据CuSn合金的选区电子衍射图构建出一种新的三次超结构的单胞和五次超结构η-′Cu6Sn5相与六角CuSn相的取向关系。然后对CuSn合金几种可能的超结构进行能量计算,发现晶胞中的空位占有率和优化前后几何变化率成线性关系,以及超结构中Edshammar多面体中心的多余Cu原子和同一平面Sn原子之间键长对晶胞的稳定性至关重要。 展开更多
关键词 CuSn超结构 电子衍射 几何优化 Edshammar多面体
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氧化镁等离激元与价电子激发纳米分辨STEM⁃EELS研究
7
作者 杜进隆 赵娜 +4 位作者 时若晨 李跃辉 张敬民 徐军 高鹏 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第5期550-555,共6页
本文针对单晶面心立方氧化镁样品在low⁃loss电子能量损失谱中等离激元峰和价电子激发峰重合这一问题,利用高能量分辨和空间分辨扫描透射电镜-电子能量损失谱(STEM⁃EELS)技术探索和研究了通过改变样品厚度和利用动量分辨电子能量损失谱... 本文针对单晶面心立方氧化镁样品在low⁃loss电子能量损失谱中等离激元峰和价电子激发峰重合这一问题,利用高能量分辨和空间分辨扫描透射电镜-电子能量损失谱(STEM⁃EELS)技术探索和研究了通过改变样品厚度和利用动量分辨电子能量损失谱技术用来区分单晶氧化镁电子能量损失谱中等离激元和价电子激发信号的可行性。结果表明,对于氧化镁样品,可以通过测量厚度连续变化的电子能量损失谱以分别研究其等离激元和价电子激发。对于样品较厚的情况,由于两种信号的局域性不同,通过测量动量分辨电子能量损失谱,可以有效区分单晶氧化镁价电子激发和等离激元信号。论文研究结果可能适用于在纳米尺度上测量材料的激子、带隙和等离激元等电子能量损失谱研究。 展开更多
关键词 电子能量损失谱 单晶MgO 等离激元 价电子激发
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电子通道技术在YBa_2Cu_3O_7外延超导薄膜研究中的应用
8
作者 张存 张会珍 +2 位作者 熊光成 连贯君 李林涛 《电子显微学报》 CAS CSCD 1994年第3期208-212,共5页
本研究采用电子通道技术(ECP)对单晶和双晶外延生长的YBa_2Cu_3O_7(YBCO)超导薄膜的结构、取向和表面完好性作检测,并证实对衬底的预处理可改善外延超导薄膜的质量;还对YBCO/CeO_2/MgO/SrT... 本研究采用电子通道技术(ECP)对单晶和双晶外延生长的YBa_2Cu_3O_7(YBCO)超导薄膜的结构、取向和表面完好性作检测,并证实对衬底的预处理可改善外延超导薄膜的质量;还对YBCO/CeO_2/MgO/SrTiO3的双外延薄膜作研究。 展开更多
关键词 电子通道图 外延超导薄膜 电子显微镜
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亚纳米尺度测量界面晶格振动的方法:四维电子能量损失能谱技术
9
作者 毛瑞麟 时若晨 +3 位作者 武媚 亓瑞时 杜进隆 高鹏 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期605-614,共10页
本文介绍了近年来发展的四维电子能量损失谱(four-dimensional electron energy loss spectroscopy,4D-EELS)方法的原理及在界面晶格动力学研究方面的应用。详细阐述了四维电子能量损失谱数据采集的需求、方案设计、技术特点等,并对比... 本文介绍了近年来发展的四维电子能量损失谱(four-dimensional electron energy loss spectroscopy,4D-EELS)方法的原理及在界面晶格动力学研究方面的应用。详细阐述了四维电子能量损失谱数据采集的需求、方案设计、技术特点等,并对比了该方法与其它散射谱学方法,尤其是振动谱学技术的主要优缺点。该方法的主要特点是在具有较高能量分辨率的同时,可以分别实现较高的空间、动量分辨能力,也可以通过调整实验参数灵活地在二者间取得平衡,从而将色散测量的空间分辨率提高至纳米量级。这一方法的发展使得声子色散的测量不再依赖于中子散射、同步辐射等大科学装置,也不再局限于大单晶样品的测量,能够实现对单个纳米结构甚至单原子尺寸的界面进行色散测量。 展开更多
关键词 界面物理 界面晶格振动 四维电子损失能谱学 电子显微镜
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原位电镜观测氧化石墨烯的加热还原过程
10
作者 白天琦 黄坤 +2 位作者 杜进隆 裴嵩峰 高鹏 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第4期405-412,共8页
近年来石墨烯导热膜在高性能手机等电子产品里获得了广泛的应用。通过加热的方式还原氧化石墨烯是一种被应用于石墨烯导热膜批量制备的商业方法,但其原子尺度上的结构演化过程并不很清楚。本文利用球差校正扫描透射电镜原位观测了氧化... 近年来石墨烯导热膜在高性能手机等电子产品里获得了广泛的应用。通过加热的方式还原氧化石墨烯是一种被应用于石墨烯导热膜批量制备的商业方法,但其原子尺度上的结构演化过程并不很清楚。本文利用球差校正扫描透射电镜原位观测了氧化石墨烯在加热条件下还原的微观结构演化,结果表明,氧化石墨烯在还原初期会释放大量气体从而形成丝状网络结构,且层间距会随着还原进程而减小,经过高温石墨化的还原氧化石墨烯能够具有稳定的结构。本论文的研究揭示了氧化石墨烯在还原过程的微观结构演化,为指导优化还原氧化石墨烯基导热膜的制备和应用提供了有参考价值的信息。 展开更多
关键词 氧化石墨烯 原位加热 孔洞 层间距 还原氧化石墨烯
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卤化物钙钛矿半导体透射电镜表征的挑战与机遇
11
作者 陈树林 高鹏 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第5期580-594,共15页
卤化物钙钛矿价格低廉,易于合成,具有优异的光电性能,广泛应用于太阳能电池、光电探测器和发光二极管等光电子器件,是当前国际上研究的热点领域,同时入选工信部和国资委评出的首批前沿材料之一。透射电子显微镜表征是揭示卤化物钙钛矿... 卤化物钙钛矿价格低廉,易于合成,具有优异的光电性能,广泛应用于太阳能电池、光电探测器和发光二极管等光电子器件,是当前国际上研究的热点领域,同时入选工信部和国资委评出的首批前沿材料之一。透射电子显微镜表征是揭示卤化物钙钛矿形貌、结构、成分等物理和化学信息的关键。然而,卤化物钙钛矿在电子束辐照下易分解,这种极端敏感性通常会阻碍我们获取钙钛矿本征信息,甚至引起假象。基于此,本文综述了近年来有关卤化物钙钛矿的透射电子显微学研究,重点讨论了卤化物钙钛矿电子束损伤机理、影响钙钛矿电子束敏感性因素、如何降低电子束损伤并获得钙钛矿原子尺度信息。本文旨在引起人们对卤化物钙钛矿电子束敏感性的关注,指导卤化物钙钛矿电子显微学表征,揭示卤化物钙钛矿分解机理,为构建高效稳定的钙钛矿光电器件提供实验指导。 展开更多
关键词 卤化物钙钛矿 电子束损伤 低剂量成像 原子尺度成像 透射电子显微学
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LnBaB_9O_(16)∶Eu^(3+)(Ln=La,Y)的结构与荧光性质 被引量:12
12
作者 杨智 林建华 +3 位作者 苏勉曾 尤力平 王渭 陶冶 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第12期1832-1837,共6页
利用电子衍射、X射线衍射和荧光光谱等方法研究了 L n Ba B9O16(L n=L a,Y)的结构特性 .L n Ba B9O16为单斜晶系 ,其中 L a Ba B9O16的晶胞参数 a=1.36 6 0 nm,b=0 .7882 nm,c=1.6 2 53nm,β=10 6 .15°;YBa B9O16的晶胞参数 a=1.34... 利用电子衍射、X射线衍射和荧光光谱等方法研究了 L n Ba B9O16(L n=L a,Y)的结构特性 .L n Ba B9O16为单斜晶系 ,其中 L a Ba B9O16的晶胞参数 a=1.36 6 0 nm,b=0 .7882 nm,c=1.6 2 53nm,β=10 6 .15°;YBa B9O16的晶胞参数 a=1.3476 nm,b=0 .7776 nm,c=1.6 0 4 0 nm,β=10 6 .38°.荧光光谱研究表明 ,这两种化合物结构不同 ,Y3 +在 YBa B9O16结构中处于中心对称格位 ,而 L a Ba B9O16中 L a3 +的格位则无中心对称性 .Gd3 +部分取代 L a Ba B9O16∶ Eu3 +中的 L a3 +可改善 Eu3 +离子的发光性质 .L a Ba B9O16∶ Eu3 +在真空紫外区的吸收比较弱 ,这可能与硼氧比较小有关 . 展开更多
关键词 硼酸盐 电子衍射 X射线衍射 荧光光谱 稀土
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用扫描电镜制备高性能AFM针尖 被引量:3
13
作者 徐军 陈文雄 +1 位作者 尤力平 张会珍 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第4期304-305,共2页
关键词 扫描电镜 纳米材料 AFM针尖 导电性 电子束诱导沉积
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超精细纳米结构加工技术 被引量:2
14
作者 张敬民 廖志敏 +2 位作者 尤力平 叶恒强 俞大鹏 《电子显微学报》 CAS CSCD 2007年第3期167-170,共4页
利用高能会聚电子束的辐照损伤能力,在300 kV高分辨透射电镜中成功加工出小于5 nm的超精细纳米结构。加工精度在特征尺寸和空间位置上可同时达到一个纳米。加工的纳米结构具有原子尺度的边界,并可以通过高分辨像直接监视纳米结构的形成... 利用高能会聚电子束的辐照损伤能力,在300 kV高分辨透射电镜中成功加工出小于5 nm的超精细纳米结构。加工精度在特征尺寸和空间位置上可同时达到一个纳米。加工的纳米结构具有原子尺度的边界,并可以通过高分辨像直接监视纳米结构的形成过程。这种技术可以广泛应用于各种无机材料,尤其适用于无机化合物。结合自动控制,这种技术可以用于加工任意复杂的二维纳米结构。 展开更多
关键词 超精细纳米结构 高分辨透射电镜 纳米加工
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Au/SnO_2异质同轴纳米电缆 被引量:1
15
作者 单旭东 王朋伟 +2 位作者 尤力平 俞大鹏 叶恒强 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期473-477,共5页
本文报道了一种新型的Au/SnO2金属-半导体异质同轴纳米电缆结构。通过透射电镜表征,发现其轴心为沿特定方向生长的单晶Au纳米线,而壳层则为沿[100]方向生长的单晶SnO2,整体看来就如同一根单晶Au纳米线外套了一根单晶SnO2纳米管。管的两... 本文报道了一种新型的Au/SnO2金属-半导体异质同轴纳米电缆结构。通过透射电镜表征,发现其轴心为沿特定方向生长的单晶Au纳米线,而壳层则为沿[100]方向生长的单晶SnO2,整体看来就如同一根单晶Au纳米线外套了一根单晶SnO2纳米管。管的两端是封闭的,而Au轴则几乎贯穿整个管,只在端部与SnO2之间有一定间隙。本文讨论了纳米电缆可能的生长机制,而空隙应该是由于两者的热膨胀系数不同所致。 展开更多
关键词 SNO2 AU 异质结构 纳米电缆
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310℃和350℃下锆-4合金中沉淀相非晶化研究 被引量:2
16
作者 祖小涛 孙凯 +1 位作者 尤力平 王鲁闽 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期287-290,共4页
用大束流加速器和透射电子显微镜研究了Zr 4合金在310 ℃和350 ℃下的质子辐照效应。当质子能量为2 MeV,在 310 ℃和 350 ℃下质子辐照产生原子离位损伤达 5 dpa(注量率为 8.5×1013 cm-2 ·s-1),辐照前后的明场像、高分辨相和... 用大束流加速器和透射电子显微镜研究了Zr 4合金在310 ℃和350 ℃下的质子辐照效应。当质子能量为2 MeV,在 310 ℃和 350 ℃下质子辐照产生原子离位损伤达 5 dpa(注量率为 8.5×1013 cm-2 ·s-1),辐照前后的明场像、高分辨相和电子衍射花样均表明:在310 ℃辐照产生原子损伤达到 5 dpa,沉淀相 Zr(Cr,Fe)2 边缘5~10 nm的区域已经非晶化,而在350 ℃时质子辐照却没有非晶化发生。沉淀相 Zr(Cr,Fe)2的元素分布图像和浓度分布表明,铁元素向基体扩散并且聚集在非晶化边界区域。 展开更多
关键词 锆-4合金 质子辐照效应 非晶化 透射电镜 元素分布 原子离位损伤
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扩展的Schottky发射高分辨扫描电镜 被引量:3
17
作者 陈文雄 徐军 《电子显微学报》 CAS CSCD 1995年第6期449-457,共9页
本文从理论上评述了扫描电镜中作为电子源的五种发射制式,对冷场发射,热场发射,Schottky发射和扩展的Schottky发射四种制式,就虚源,能量分散,亮度,噪声等一些重要方面进行了详细的比较,指出了扩展的Schot... 本文从理论上评述了扫描电镜中作为电子源的五种发射制式,对冷场发射,热场发射,Schottky发射和扩展的Schottky发射四种制式,就虚源,能量分散,亮度,噪声等一些重要方面进行了详细的比较,指出了扩展的Schottky发射的优越性。同时给出了我们应用扩展的Schottky发射扫描电镜(AMRAY1910FE)所获得的一些高分辨形貌像。 展开更多
关键词 显微镜 场发射 Schottky发射 扫描电镜
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用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜研究不同材料和方法的导电膜蒸镀对试样形貌观察的影响 被引量:3
18
作者 徐军 陈文雄 +1 位作者 张存 张会珍 《电子显微学报》 CSCD 1995年第6期430-433,共4页
本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法,用金和钯铱合金做为蒸发源,对样品表面蒸镀导电层。然后用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过5万倍以上观察试样时... 本文通过离子溅射镀膜和高真空蒸发镀膜两种方法,用金和钯铱合金做为蒸发源,对样品表面蒸镀导电层。然后用AMRAY-1910FE场发射扫描电镜观察试样表面蒸镀层对试样形貌的影响。实验表明在放大倍数超过5万倍以上观察试样时,由于金镀层粒度太大,因此不能用来做为表面导电镀层。但用高真空蒸发镀膜,用钯铱合金做为试样表面蒸镀材料,在25万倍以下观察时,无论从膜的导电性方面或是其颗粒度方面来看都不失为一种较好的蒸镀材料。 展开更多
关键词 场发射扫描电镜 离子溅射镀膜 高真空蒸发镀膜
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扫描电镜数字图象的采集处理和分析 被引量:5
19
作者 陈文雄 《电子显微学报》 CAS CSCD 1992年第1期49-54,共6页
本文描述了对扫描电镜数字图象的采集、处理和分析的实验研究,其中主要包括多帧平均滤波,对比度增强处理,平滑滤波,边缘检测,伪彩色处理以及粒度统计分析。文中给出的例子充分说明了联机图象处理系统对于提高扫描电镜图象质量的重要意... 本文描述了对扫描电镜数字图象的采集、处理和分析的实验研究,其中主要包括多帧平均滤波,对比度增强处理,平滑滤波,边缘检测,伪彩色处理以及粒度统计分析。文中给出的例子充分说明了联机图象处理系统对于提高扫描电镜图象质量的重要意义。实验工作是利用中国科学院科学仪器厂英特公司开发研制的EMI—1型图象处理系统,在北京大学电镜实验室和KYKY—1000B扫描电镜联机而完成的。 展开更多
关键词 扫描电镜 数字图象 采集 处理
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扫描电镜数字图象的采集处理和分析 被引量:1
20
作者 陈文雄 张荣 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第3期260-260,共1页
扫描电镜模拟信号图象处理如微分,高通低通滤波,γ调制等都已成为常规配置,但是其功能相对于数字图象处理来说是很有限的,因此扫描电镜数字图处理日益受到重视。国外的研究始于70年代末,近几年来陆续报道了一些微机组成的联机图象处理... 扫描电镜模拟信号图象处理如微分,高通低通滤波,γ调制等都已成为常规配置,但是其功能相对于数字图象处理来说是很有限的,因此扫描电镜数字图处理日益受到重视。国外的研究始于70年代末,近几年来陆续报道了一些微机组成的联机图象处理系统。国内有关和扫描电镜联机的图象处理系统迄今未见报导。实现图象处理系统和扫描电镜联机的关键是一种专用的慢扫描接口。中科院科学仪器厂英特公司于1989年初研制成带慢扫描接口的联机图象处理系统EMI-1,并在北京大学电镜实验室成功地实现了和KYKY-1000B SEM的联机。我们利用这个联机系统开展了扫描电镜数字图象的采集,处理和分析的实验研究。 展开更多
关键词 扫描晚镜 数字图象 采集处理 电镜
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