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碳纳米管单片三维集成电路: 1; 作者谢雨农张志勇《固体电子学研究与进展》 2024年第6期487-502,共16页; 随着人工智能、大数据等领域的发展,对芯片算力和能效的要求越来越高。传统的硅基芯片技术面临功耗墙、存储墙和尺寸缩减等限制,亟须新的沟道材料和芯片架构来推动信息电子产业的继续向前。碳纳米管(Carbon nanotube,CNT)因其优异的电... 展开更多; 关键词碳纳米管单片三维集成电路场效应晶体管低维半导体材料电子学; 在线阅读下载PDF 职称材料

面向空间应用的铱-氧化钇灯丝研制: 2; 作者李志伟李洋 +3 位作者张光华毛舒宇郭等柱魏贤龙《真空与低温》 2025年第3期360-364,共5页; 真空电子器件在空间应用中具有关键作用,其核心电子源需满足高发射电流、抗振动冲击、抗热冲击及长寿命等严苛要求。现有热发射灯丝中,铱-氧化钇灯丝抗氧化性强,但发射性能有限。面向空间应用设计了螺旋形铱-氧化钇灯丝,显著提升了发射... 展开更多; 关键词热电子发射热阴极氧化钇空间应用商业航天; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS热阴极电离真空计电路系统的开发: 3; 作者刘晨溪郑润涵 +6 位作者李志伟赵彦晴余玉强李洋郭等柱王雨薇魏贤龙《真空与低温》 2025年第3期315-321,共7页; 热阴极电离真空计凭借其稳定可靠的性能以及优异的高真空探测能力,广泛应用于半导体、航空航天以及医药医疗等行业中。然而,传统的热阴极电离真空计至今仍存在体积大、难以并行加工与集成等瓶颈。针对上述问题,基于课题组之前加工的MEM... 展开更多; 关键词 MEMS 热阴极电离真空计稳流电路离子流测量电路; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于厚硅片的MEMS碱金属原子气室的制备研究: 4; 作者呼振宇吴森亮 +3 位作者赵彦晴丁祝顺李志伟魏贤龙《真空与低温》 2025年第3期371-376,共6页; 碱金属原子气室是原子钟、原子磁力计和原子陀螺仪等量子传感器的核心部件。利用微机电系统(MEMS)技术实现气室的片上化和微型化,是当前原子气室发展的重要方向。为实现原子气室微型化与光路长度扩展的协同优化,设计了玻璃/硅/玻璃三层... 展开更多; 关键词 CPT MEMS原子气室碱金属; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名碳纳米管单片三维集成电路: 1; 作者谢雨农张志勇; 机构中国计量大学计量测试与仪器学院北京大学电子学院纳米器件物理与化学教育部重点实验室碳基电子学研究中心; 出处《固体电子学研究与进展》 2024年第6期487-502,共16页; 基金国家自然科学青年基金资助项目(62401531)。; 文摘随着人工智能、大数据等领域的发展,对芯片算力和能效的要求越来越高。传统的硅基芯片技术面临功耗墙、存储墙和尺寸缩减等限制,亟须新的沟道材料和芯片架构来推动信息电子产业的继续向前。碳纳米管(Carbon nanotube,CNT)因其优异的电学、力学和热学性能,成为构建下一代集成电路的理想材料。本文综述了碳纳米管单片三维集成电路(Molithic three-dimmensional integrated circuit,M3D IC)的最新研究进展,包括其制备工艺、性能优势、应用场景以及面临的挑战,最后讨论了未来可能发展的几个方向。; 关键词碳纳米管单片三维集成电路场效应晶体管低维半导体材料电子学; Keywords carbon nanotube monolithic three-dimensional integrated circuits field-effect transistors electronics of low-dimensional semiconductor materials; 分类号 TQ127.11 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名面向空间应用的铱-氧化钇灯丝研制: 2; 作者李志伟李洋张光华毛舒宇郭等柱魏贤龙; 机构北京大学电子学院纳米器件物理与化学教育部重点实验室; 出处《真空与低温》 2025年第3期360-364,共5页; 基金国家自然科学基金(62350040)。; 文摘真空电子器件在空间应用中具有关键作用,其核心电子源需满足高发射电流、抗振动冲击、抗热冲击及长寿命等严苛要求。现有热发射灯丝中,铱-氧化钇灯丝抗氧化性强,但发射性能有限。面向空间应用设计了螺旋形铱-氧化钇灯丝,显著提升了发射性能,单个灯丝的发射电流超200 mA。同时,为灯丝引入了绝缘支撑结构,显著增强了抗振性能和连续工作能力。所制备的螺旋灯丝通过了鉴定级测试,并可以连续工作2300 h以上。研究表明了铱-氧化钇灯丝的卓越性能,拓展了其在航天领域的应用前景。; 关键词热电子发射热阴极氧化钇空间应用商业航天; Keywords thermionic emission hot cathode yttrium oxide space application commercial spaceflight; 分类号 TB71 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS热阴极电离真空计电路系统的开发: 3; 作者刘晨溪郑润涵李志伟赵彦晴余玉强李洋郭等柱王雨薇魏贤龙; 机构湖南大学电气与信息工程学院北京大学电子学院纳米器件物理与化学教育部重点实验室; 出处《真空与低温》 2025年第3期315-321,共7页; 基金国家自然科学基金面上项目(62471178)。; 文摘热阴极电离真空计凭借其稳定可靠的性能以及优异的高真空探测能力,广泛应用于半导体、航空航天以及医药医疗等行业中。然而,传统的热阴极电离真空计至今仍存在体积大、难以并行加工与集成等瓶颈。针对上述问题,基于课题组之前加工的MEMS热阴极电离真空规,配套开发了一套以STM32单片机为控制核心的电路系统。该电路系统能通过反激电路为热阴极电离真空规的栅极施加210 V直流偏压,并调节恒流芯片的输出电流以调节阴极的加热功率从而获得稳定的发射电流,同时处理经过离子电流测量电路I-V转换的电压信号从而获得压力数值。该套电路系统搭配课题组开发的MEMS热阴极电离真空规,仪器整体尺寸仅为ϕ5.5 cm×7.6 cm,在小型化方面展现出优势,将来可被应用于体积受限的场景中进行真空测量。在真空测试环境中,该真空计的发射电流平均值为10.1μA,RSD为0.51%;能够测量2.1×10^(-3)Pa至1.8×10^(-1)Pa的压力,线性度为3.58%。研究成果为开发实用化的宽量程MEMS热阴极电离真空计奠定了基础。; 关键词 MEMS 热阴极电离真空计稳流电路离子流测量电路; Keywords MEMS hot ionization gauge stable electronic current circuit ion current measurement circuit; 分类号 TB772 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于厚硅片的MEMS碱金属原子气室的制备研究: 4; 作者呼振宇吴森亮赵彦晴丁祝顺李志伟魏贤龙; 机构北京大学电子学院纳米器件物理与化学教育部重点实验室国测量子科技(浙江)有限公司; 出处《真空与低温》 2025年第3期371-376,共6页; 基金国家自然科学基金(62350040)。; 文摘碱金属原子气室是原子钟、原子磁力计和原子陀螺仪等量子传感器的核心部件。利用微机电系统(MEMS)技术实现气室的片上化和微型化,是当前原子气室发展的重要方向。为实现原子气室微型化与光路长度扩展的协同优化,设计了玻璃/硅/玻璃三层双腔结构,采用激光切割技术加工3 mm厚带通孔的硅片,并结合阳极键合工艺与高功率激光解吸释放剂技术,成功制备了填充7 kPa氮气缓冲气体的MEMS芯片级铷原子气室。单个原子气室尺寸为6 mm×6 mm×5 mm,光路长度为3 mm,经氦质谱检漏,键合界面漏率不高于5×10^(-10) Pa·m^(3)·s^(-1)。通过光学实验平台测试,能够测量到铷原子的吸收谱线,说明了该工艺方案的可行性。; 关键词 CPT MEMS原子气室碱金属; Keywords CPT MEMS atomic vapor cell alkali metal; 分类号 TB71 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	操作
1	碳纳米管单片三维集成电路	谢雨农张志勇	《固体电子学研究与进展》	2024	在线阅读下载PDF 职称材料
2	面向空间应用的铱-氧化钇灯丝研制	李志伟李洋张光华毛舒宇郭等柱魏贤龙	《真空与低温》	2025	在线阅读下载PDF 职称材料
3	MEMS热阴极电离真空计电路系统的开发	刘晨溪郑润涵李志伟赵彦晴余玉强李洋郭等柱王雨薇魏贤龙	《真空与低温》	2025	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于厚硅片的MEMS碱金属原子气室的制备研究	呼振宇吴森亮赵彦晴丁祝顺李志伟魏贤龙	《真空与低温》	2025	在线阅读下载PDF 职称材料