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金属表面微纳米光滑构造的新方法
1
作者
张洋
朱新利
+1 位作者
廖志敏
俞大鹏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期511-516,共6页
传统的曝光技术等平面工艺通常只能获得边缘陡峭的平面结构。通过多层曝光、灰度曝光、聚焦离子束加工等方法可以实现高度渐变的准三维结构的构造,却往往难以获得良好的光滑度。本文结合电子束曝光技术、PMMA结构平滑技术、模板剥离技术...
传统的曝光技术等平面工艺通常只能获得边缘陡峭的平面结构。通过多层曝光、灰度曝光、聚焦离子束加工等方法可以实现高度渐变的准三维结构的构造,却往往难以获得良好的光滑度。本文结合电子束曝光技术、PMMA结构平滑技术、模板剥离技术,实现了多种多样的渐变结构的构造。这种技术具有构造方法简单、表面粗糙度小、可自由定位等众多优点。
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关键词
光滑结构
金属
电子束曝光
模板剥离法
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职称材料
题名
金属表面微纳米光滑构造的新方法
1
作者
张洋
朱新利
廖志敏
俞大鹏
机构
北京大学物理学院 介观物理国家重点实验室 电子显微镜实验室
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期511-516,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(Nos.90606023,10574003,20731160012)~~
文摘
传统的曝光技术等平面工艺通常只能获得边缘陡峭的平面结构。通过多层曝光、灰度曝光、聚焦离子束加工等方法可以实现高度渐变的准三维结构的构造,却往往难以获得良好的光滑度。本文结合电子束曝光技术、PMMA结构平滑技术、模板剥离技术,实现了多种多样的渐变结构的构造。这种技术具有构造方法简单、表面粗糙度小、可自由定位等众多优点。
关键词
光滑结构
金属
电子束曝光
模板剥离法
Keywords
sloped metal pattern
electron beam lithography
template-stripping method
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
金属表面微纳米光滑构造的新方法
张洋
朱新利
廖志敏
俞大鹏
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
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