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微机械陀螺冲击特性及可靠性研究被引量：6: 1; 作者何春华赵前程 +2 位作者杨振川张大成闫桂珍《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期643-648,共6页; 为了深入掌握微机械陀螺的冲击响应特性,本文进行了详细的理论推导和MATLAB仿真分析,并进行了测试验证。冲击试验结果表明,理论分析和试验结果基本一致,考虑最坏情况可知,当脉宽对应的冲击频率与陀螺固有频率越接近,并且陀螺品质因子和... 展开更多; 关键词微机械陀螺冲击可靠性响应模型冲击特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究: 2; 作者谷专元何春华 +3 位作者陈俊光赵前程张大成闫桂珍《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1637-1642,共6页; 为了快速掌握真空封装MEMS陀螺老化失效机理,陀螺进行125℃高温加速实验,并对不同时间节点下的陀螺关键性能进行参数提取。分析结果表明,由于高温老化导致MEMS陀螺内部材料放气、疲劳和应力释放,从而改变品质因子和初始检测电容,最终导... 展开更多; 关键词微机械陀螺老化真空封装失效机理; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于LabVIEW的微机械陀螺自动测试系统开发被引量：13: 3; 作者何春华崔健 +6 位作者闫俊杰林龙涛王福娟郭中洋杨振川蔡志岗闫桂珍《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期170-174,共5页; 为了快速评估微机械陀螺的性能参数,结合NI PXI 4461数据采集卡,用LabVIEW软件实现了陀螺信号处理算法和若干关键指标测试功能,包括陀螺扫频测试、闭环驱动控制测试、标度因数和零偏等相关性能测试。实验结果表明,该自动测试系统借助Lab... 展开更多; 关键词微机械陀螺性能测试闭环驱动控制 LABVIEW软件; 在线阅读下载PDF 职称材料

微加速度计冲击可靠性及防护被引量：6: 4; 作者王世涛贾玉斌 +2 位作者张斌珍黄钦文郝一龙《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1690-1694,共5页; 通过实验研究了梳齿电容微加速度计器件在大过载冲击下的失效模式,发现了失效的主要原因是由于弹性梁的断裂,并对实验现象进行了分析和讨论,指出了微加工工艺的不确定性对器件失效的影响。检验了在结构设计中对可动质量块进行限位的作用... 展开更多; 关键词微加速度计可靠性冲击缓冲材料金属橡胶; 在线阅读下载PDF 职称材料

适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感被引量：5: 5; 作者陈石清李旦 +1 位作者李修函张海霞《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期604-606,共3页; 利用MEMS微电镀工艺技术制作了一种新型的适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感,采用ANSOFT公司的HFSS优化平面螺旋电感的结构。在具有高电阻率的玻璃衬底上溅射0.5μm的铜层作为下电极;PECVD淀积厚度为1μmSiO2作为中间介质层;在介质... 展开更多; 关键词微电感 MEMS 能量耦合电镀; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法被引量：12: 6; 作者谷专元何春华 +2 位作者何燕华赵前程张大成《传感器与微系统》 CSCD 2017年第10期54-56,共3页; 为了得到微机电系统(MEMS)加速度计硅—玻璃阳极键合的键合强度,进行了剪切破坏测试,并结合材料力学相关理论,得到键合强度表征方法。通过对实验数据的分析,制定键合强度的失效判据,提出了一种评价硅玻璃键合工艺质量的有效方法,在工程... 展开更多; 关键词微机电系统(MEMS)加速度计硅玻璃阳极键合键合强度剪切力; 在线阅读下载PDF 职称材料

电容读出式非制冷红外焦平面阵列设计被引量：1: 7; 作者李博翰于晓梅《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期762-767,共6页; 设计了一种长支腿式电容读出式红外焦平面阵列结构,并分析了这种像元结构的热导率、热机械灵敏度和热时间常数,从中优化出了该模型的部分结构参数,并以此为依据对像元整体尺寸进行了设计。在该尺寸模型下,得到的像元热导率为3×10-7... 展开更多; 关键词红外焦平面阵列热机械灵敏度热时间常数噪声等效温差; 在线阅读下载PDF 职称材料

CMOS-MEMS体硅集成陀螺的系统仿真: 8; 作者王佳钱梁 +1 位作者杨振川闫桂珍《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期563-566,共4页; 体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求。通过建立CMOS-MEMS体硅陀螺的等效电学模型,实现了对CMOS-MEMS体硅陀螺的系统级仿真。通过系统仿真,陀螺的... 展开更多; 关键词陀螺电学模型 CMOS-MEMS体硅陀螺工艺误差系统仿真; 在线阅读下载PDF 职称材料

ΣΔ微加速度计中基于脉宽调制的力反馈回路被引量：2: 9; 作者陶呈瑶邓康发《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1704-1709,共6页; 针对微加速度计接口电路的Sigma-Delta(ΣΔ)数字反馈系统,提出了一种基于脉宽调制(PWM)的力反馈回路:利用模拟低通滤波器将PWM波解调成模拟输出信号,具有滤波和数模转换功能。首先建立微加速度计ΣΔ闭环反馈系统的Simulink模型并进行... 展开更多; 关键词微加速度计接口电路 ∑△ 数模转换器脉宽调制; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械陀螺冲击特性及可靠性研究被引量：6: 1; 作者何春华赵前程杨振川张大成闫桂珍; 机构北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室美的集团; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第5期643-648,共6页; 文摘为了深入掌握微机械陀螺的冲击响应特性,本文进行了详细的理论推导和MATLAB仿真分析,并进行了测试验证。冲击试验结果表明,理论分析和试验结果基本一致,考虑最坏情况可知,当脉宽对应的冲击频率与陀螺固有频率越接近,并且陀螺品质因子和冲击加速度幅值越大时,则冲击带来的影响就越大,梁越容易发生断裂失效。因此要使MEMS陀螺具有较强的抗冲击能力,必须综合优化设计陀螺的真空度和固有频率。; 关键词微机械陀螺冲击可靠性响应模型冲击特性; Keywords MEMS gyroscope shock reliability response model impactcharacteristics.; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究: 2; 作者谷专元何春华陈俊光赵前程张大成闫桂珍; 机构华南理工大学电子与信息学院工业和信息化部电子第五研究所北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1637-1642,共6页; 基金国家自然基金项目(61434003) 电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室开放基金项目(ZHD201207); 文摘为了快速掌握真空封装MEMS陀螺老化失效机理,陀螺进行125℃高温加速实验,并对不同时间节点下的陀螺关键性能进行参数提取。分析结果表明,由于高温老化导致MEMS陀螺内部材料放气、疲劳和应力释放,从而改变品质因子和初始检测电容,最终导致陀螺的零偏、角随机游走系数、零偏稳定性、标度因子等关键性能的严重退化。在工程实际中有一定的参考价值。; 关键词微机械陀螺老化真空封装失效机理; Keywords micro mechanical gyroscope aging vacuum packaging failure mechanism; 分类号 TP393 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于LabVIEW的微机械陀螺自动测试系统开发被引量：13: 3; 作者何春华崔健闫俊杰林龙涛王福娟郭中洋杨振川蔡志岗闫桂珍; 机构北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室中山大学光电材料与技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期170-174,共5页; 文摘为了快速评估微机械陀螺的性能参数,结合NI PXI 4461数据采集卡,用LabVIEW软件实现了陀螺信号处理算法和若干关键指标测试功能,包括陀螺扫频测试、闭环驱动控制测试、标度因数和零偏等相关性能测试。实验结果表明,该自动测试系统借助LabVIEW强大的信号处理功能以及灵活的在线调试大大地提高了陀螺芯片测试与筛选的效率,可以快速可靠地挑选出性能优良的陀螺芯片,对陀螺的生产加工具有重要的促进作用。; 关键词微机械陀螺性能测试闭环驱动控制 LABVIEW软件; Keywords micromachined gyroscope performance measurement closed-loop driving control LabVIEW software; 分类号 TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微加速度计冲击可靠性及防护被引量：6: 4; 作者王世涛贾玉斌张斌珍黄钦文郝一龙; 机构北京大学微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1690-1694,共5页; 基金电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级科技重点实验室开放基金资助(ZHD201004); 文摘通过实验研究了梳齿电容微加速度计器件在大过载冲击下的失效模式,发现了失效的主要原因是由于弹性梁的断裂,并对实验现象进行了分析和讨论,指出了微加工工艺的不确定性对器件失效的影响。检验了在结构设计中对可动质量块进行限位的作用,可以明显提高器件的抗冲击能力。提出了金属橡胶这一新材料在微加速度计冲击防护中的应用,并对其作用进行了实验验证,结果表明金属橡胶除了靠金属螺旋卷接触点之间的相互摩擦来耗散能量外,还可以明显增加冲击脉冲的宽度,有效的缓冲和吸收冲击能,提高器件的抗冲击能力和可靠性。; 关键词微加速度计可靠性冲击缓冲材料金属橡胶; Keywords micro accelerometer reliability shock cushion material metal rubber; 分类号 TP202 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感被引量：5: 5; 作者陈石清李旦李修函张海霞; 机构北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期604-606,共3页; 基金国家863计划资助(2006AA04Z359) 自然科学基金海外青年学者基金资助(60528009); 文摘利用MEMS微电镀工艺技术制作了一种新型的适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感,采用ANSOFT公司的HFSS优化平面螺旋电感的结构。在具有高电阻率的玻璃衬底上溅射0.5μm的铜层作为下电极;PECVD淀积厚度为1μmSiO2作为中间介质层;在介质层上结合厚胶光刻技术电镀厚为22μm的铜作为电感线圈。这套电感制作工艺流程简单、易于与IC制备工艺集成。本文制备的微机械电感在微型植入系统中具有广阔的应用前景。测量结果表明:当工作频率在1GHz左右时,微电感的电感值达到55nH,Q值最大可达到25。; 关键词微电感 MEMS 能量耦合电镀; Keywords Micro inductor MEMS Power delivery Electroplating; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法被引量：12: 6; 作者谷专元何春华何燕华赵前程张大成; 机构华南理工大学电子与信息学院工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 出处《传感器与微系统》 CSCD 2017年第10期54-56,共3页; 文摘为了得到微机电系统(MEMS)加速度计硅—玻璃阳极键合的键合强度,进行了剪切破坏测试,并结合材料力学相关理论,得到键合强度表征方法。通过对实验数据的分析,制定键合强度的失效判据,提出了一种评价硅玻璃键合工艺质量的有效方法,在工程实际中具有一定的参考价值。; 关键词微机电系统(MEMS)加速度计硅玻璃阳极键合键合强度剪切力; Keywords micro-electro-mechanical system （MEMS ） accelerometer silicon-glass anodic bonding bonding strength shear stress; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电容读出式非制冷红外焦平面阵列设计被引量：1: 7; 作者李博翰于晓梅; 机构北京大学微电子学研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期762-767,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.61036006) 国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2009AA04Z316) 国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2009CB320305); 文摘设计了一种长支腿式电容读出式红外焦平面阵列结构,并分析了这种像元结构的热导率、热机械灵敏度和热时间常数,从中优化出了该模型的部分结构参数,并以此为依据对像元整体尺寸进行了设计。在该尺寸模型下,得到的像元热导率为3×10-7 W/K,热机械灵敏度为162nm/K,热时间常数为35ms,该热时间常数满足人眼识别频率的需要。讨论了焦平面阵列能够高灵敏度工作的关键参数—噪声等效温差,分析计算显示,得到噪声等效温差为6mK。进行了仿真计算,得到的噪声等效温差为5mK,与计算结果非常吻合。实验表明,该系统的噪声等效温差足够小,可满足稳定输出信号的需要。最后,基于牺牲层工艺制备了长支腿结构焦平面阵列,验证了制备工艺的可行性。; 关键词红外焦平面阵列热机械灵敏度热时间常数噪声等效温差; Keywords infrared Focal Plane Array（FPA） thermomechanical sensitivity thermal time constant Noise Equivalent Temperature Difference（NETD）; 分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名CMOS-MEMS体硅集成陀螺的系统仿真: 8; 作者王佳钱梁杨振川闫桂珍; 机构北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期563-566,共4页; 基金自然科学基金资助(50575001); 文摘体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求。通过建立CMOS-MEMS体硅陀螺的等效电学模型,实现了对CMOS-MEMS体硅陀螺的系统级仿真。通过系统仿真,陀螺的结构部分、电路部分、集成产生的寄生效应以及工艺误差得到了有效的分析,从而能够了解它们相互之间的影响,更好的指导CMOS-MEMS体硅集成器件的设计。; 关键词陀螺电学模型 CMOS-MEMS体硅陀螺工艺误差系统仿真; Keywords equivalent circuit model of gyroscope CMOS-MEMS bulk gyroscope manufacturing variations system level simulation; 分类号 V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名ΣΔ微加速度计中基于脉宽调制的力反馈回路被引量：2: 9; 作者陶呈瑶邓康发; 机构中国科学院地质与地球物理研究所/海外高层次人才创新创业基地中国科学院大学北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第12期1704-1709,共6页; 基金国家科技重大专项项目(2008ZX05008); 文摘针对微加速度计接口电路的Sigma-Delta(ΣΔ)数字反馈系统,提出了一种基于脉宽调制(PWM)的力反馈回路:利用模拟低通滤波器将PWM波解调成模拟输出信号,具有滤波和数模转换功能。首先建立微加速度计ΣΔ闭环反馈系统的Simulink模型并进行了系统级仿真。之后采用Filter Solutions滤波器设计软件确定三阶低通巴特沃斯滤波器,并采用Pspice仿真软件进行电路级仿真。最后将制作的PCB版电路进行测试:PWM波通过力反馈回路能还原成高保真度的模拟信号,输出信号和输入信号的频率相对误差小于0.36%,等效DAC分辨率为8 bit。试验表明,此方案结构简单、成本低,能以较低电路复杂度实现高精度的模拟信号输出。; 关键词微加速度计接口电路 ∑△ 数模转换器脉宽调制; Keywords micro-accelerometer sigma-delta digital to analog converter pulse width modulator; 分类号 TP271.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微机械陀螺冲击特性及可靠性研究	何春华赵前程杨振川张大成闫桂珍	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2019	6	在线阅读下载PDF 职称材料
2	真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究	谷专元何春华陈俊光赵前程张大成闫桂珍	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2016	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于LabVIEW的微机械陀螺自动测试系统开发	何春华崔健闫俊杰林龙涛王福娟郭中洋杨振川蔡志岗闫桂珍	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2011	13	在线阅读下载PDF 职称材料
4	微加速度计冲击可靠性及防护	王世涛贾玉斌张斌珍黄钦文郝一龙	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2010	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	适用于RF MEMS能量耦合传输的高Q值电感	陈石清李旦李修函张海霞	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	5	在线阅读下载PDF 职称材料
6	MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法	谷专元何春华何燕华赵前程张大成	《传感器与微系统》 CSCD	2017	12	在线阅读下载PDF 职称材料
7	电容读出式非制冷红外焦平面阵列设计	李博翰于晓梅	《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2011	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	CMOS-MEMS体硅集成陀螺的系统仿真	王佳钱梁杨振川闫桂珍	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2008	0	在线阅读下载PDF 职称材料
9	ΣΔ微加速度计中基于脉宽调制的力反馈回路	陶呈瑶邓康发	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2013	2	在线阅读下载PDF 职称材料