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微机械陀螺振动失效机理及可靠性设计研究
被引量:
4
1
作者
何春华
赵前程
+2 位作者
杨振川
张大成
闫桂珍
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第6期809-814,共6页
高加速极限试验可快速暴露MEMS陀螺的缺陷和薄弱环节,针对复合环境应力试验的陀螺失效品,开展了详细的失效定位和机理分析,推导了引线的振动响应特性和固有模态,并提出了引线的抗振设计方法。仿真和实验结果表明,引线固有频率的理论推...
高加速极限试验可快速暴露MEMS陀螺的缺陷和薄弱环节,针对复合环境应力试验的陀螺失效品,开展了详细的失效定位和机理分析,推导了引线的振动响应特性和固有模态,并提出了引线的抗振设计方法。仿真和实验结果表明,引线固有频率的理论推导模型比较精确,通过缩短引线长度可有效提高引线的固有频率和降低振动应力,从而增强其抗振能力。优化设计后陀螺可耐受频率为0~10 kHz、总均方根为30 gn的加速度随机振动。
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关键词
微机械陀螺
振动可靠性
响应特性
抗振设计
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职称材料
题名
微机械陀螺振动失效机理及可靠性设计研究
被引量:
4
1
作者
何春华
赵前程
杨振川
张大成
闫桂珍
机构
北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家级策点实验室
美的集团
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第6期809-814,共6页
文摘
高加速极限试验可快速暴露MEMS陀螺的缺陷和薄弱环节,针对复合环境应力试验的陀螺失效品,开展了详细的失效定位和机理分析,推导了引线的振动响应特性和固有模态,并提出了引线的抗振设计方法。仿真和实验结果表明,引线固有频率的理论推导模型比较精确,通过缩短引线长度可有效提高引线的固有频率和降低振动应力,从而增强其抗振能力。优化设计后陀螺可耐受频率为0~10 kHz、总均方根为30 gn的加速度随机振动。
关键词
微机械陀螺
振动可靠性
响应特性
抗振设计
Keywords
MEMS gyroscope
vibration reliability
response characteristics
anti-vibration design
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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被引量
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1
微机械陀螺振动失效机理及可靠性设计研究
何春华
赵前程
杨振川
张大成
闫桂珍
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019
4
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