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基于硅微加工技术的新型变形反射镜
被引量：
3
1
作者
余洪斌
陈海清
+2 位作者
张大成
竺子民
李婷
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第7期825-829,共5页
给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法。变形反射镜镜面主体是由一定厚度的硅膜构成,硅膜上表面溅射有一层Ti/Au,背面有一7×7阵列的台柱与之相连,台柱下方是对应的驱动电极。当给电极施加电压时,产生的...
给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法。变形反射镜镜面主体是由一定厚度的硅膜构成,硅膜上表面溅射有一层Ti/Au,背面有一7×7阵列的台柱与之相连,台柱下方是对应的驱动电极。当给电极施加电压时,产生的静电力就会拉动台柱向下运动,从而使相应的镜面部分发生变形;通过控制通电电极的位置及电压,就可获得特定的镜面形状。在变形反射镜的加工工序中采用浅腐蚀形成键合台,采用深腐蚀加工出台柱。并采用<110>条补偿图形对台柱的凸角进行补偿,在0.2MPa气压下进行键合,最后成功研制出有效反射面积为30mm×30mm,拥有49个静电驱动单元的变形反射镜。
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关键词
变形反射镜
体微加工
静电驱动
凸角补偿
阳极键合
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职称材料
星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究
被引量：
1
2
作者
余洪斌
陈海清
+2 位作者
竺子民
张大成
李婷
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期352-355,共4页
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可...
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜。
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关键词
可变形反射镜
体微加工
静电驱动
阳极键合
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职称材料
一种新型微变形镜键合技术
被引量：
1
3
作者
余洪斌
陈海清
+3 位作者
竺子民
李俊
张大成
李婷
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第8期12-14,22,共4页
对一种新型可变形反射镜加工中的硅-玻璃阳极键合工艺进行了研究。设计了一种通过导线将压焊点引至键合区的特殊结构,使得键合过程中台柱与驱动电极保持等电势,从而有效避免了电极和结构之间的相互作用所引入的缺陷,使得最终获得的驱动...
对一种新型可变形反射镜加工中的硅-玻璃阳极键合工艺进行了研究。设计了一种通过导线将压焊点引至键合区的特殊结构,使得键合过程中台柱与驱动电极保持等电势,从而有效避免了电极和结构之间的相互作用所引入的缺陷,使得最终获得的驱动电极的有效面积接近100%。针对键合前后气体体积收缩导致的镜面凹陷问题,提出在玻璃上加工出贯穿器件的浅槽结构。实验结果表明,在380C,1atm的环境下施加-1000V电压进行阳极键合时,当浅槽深度大于200nm时,将获得较好的镜面质量。
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关键词
变形镜
键合
静电力
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职称材料
题名
基于硅微加工技术的新型变形反射镜
被引量：
3
1
作者
余洪斌
陈海清
张大成
竺子民
李婷
机构
华中科技
大学
光
电子
工程系
北京大学微电子学研究所微米纳米加工技术国家重点实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第7期825-829,共5页
基金
总装"十.五"基础研究基金项目资助课题(41321030202)
文摘
给出了一种基于硅微加工技术的新型变形反射镜的设计和加工方法。变形反射镜镜面主体是由一定厚度的硅膜构成,硅膜上表面溅射有一层Ti/Au,背面有一7×7阵列的台柱与之相连,台柱下方是对应的驱动电极。当给电极施加电压时,产生的静电力就会拉动台柱向下运动,从而使相应的镜面部分发生变形;通过控制通电电极的位置及电压,就可获得特定的镜面形状。在变形反射镜的加工工序中采用浅腐蚀形成键合台,采用深腐蚀加工出台柱。并采用<110>条补偿图形对台柱的凸角进行补偿,在0.2MPa气压下进行键合,最后成功研制出有效反射面积为30mm×30mm,拥有49个静电驱动单元的变形反射镜。
关键词
变形反射镜
体微加工
静电驱动
凸角补偿
阳极键合
Keywords
Electrostatic actuators
Etching
Fabrication
Micromachining
Optimization
Silicon
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究
被引量：
1
2
作者
余洪斌
陈海清
竺子民
张大成
李婷
机构
华中科技
大学
光
电子
工程系
北京大学
微电子学
研究所
微米
/
纳米
加工
技术
国家
重点
实验室
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期352-355,共4页
文摘
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜。
关键词
可变形反射镜
体微加工
静电驱动
阳极键合
Keywords
deformable mirror
bulk micromachining
electrostatic actuating
anodic bonding
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种新型微变形镜键合技术
被引量：
1
3
作者
余洪斌
陈海清
竺子民
李俊
张大成
李婷
机构
华中科技
大学
光
电子
工程系
北京大学
微电子学
研究所
微米
/
纳米
加工
技术
国家
重点
实验室
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第8期12-14,22,共4页
文摘
对一种新型可变形反射镜加工中的硅-玻璃阳极键合工艺进行了研究。设计了一种通过导线将压焊点引至键合区的特殊结构,使得键合过程中台柱与驱动电极保持等电势,从而有效避免了电极和结构之间的相互作用所引入的缺陷,使得最终获得的驱动电极的有效面积接近100%。针对键合前后气体体积收缩导致的镜面凹陷问题,提出在玻璃上加工出贯穿器件的浅槽结构。实验结果表明,在380C,1atm的环境下施加-1000V电压进行阳极键合时,当浅槽深度大于200nm时,将获得较好的镜面质量。
关键词
变形镜
键合
静电力
Keywords
Deformable mirror
Bonding
Electrostatic force
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于硅微加工技术的新型变形反射镜
余洪斌
陈海清
张大成
竺子民
李婷
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
3
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下载PDF
职称材料
2
星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究
余洪斌
陈海清
竺子民
张大成
李婷
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
在线阅读
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职称材料
3
一种新型微变形镜键合技术
余洪斌
陈海清
竺子民
李俊
张大成
李婷
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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